提供一种离子束装置，能够减轻对试样造成的损伤，并且在短时间内切换观察和加工。本发明所涉及的离子束装置切换照射将H3+离子包含得最多的离子束的动作模式和照射将比H3+重的离子包含得最多的离子束的动作模式。

本发明提供元素分析装置和元素分析方法，通过使用具有本发明的单流路的试样导入装置的分析装置，能够简单地进行预处理，通过降低基于共存成分的影响的干涉，能够迅速地进行高精度的分析。该分析装置将填充了能够选择性地捕捉测定对象的目标成分的树脂的柱...

本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测中，通过使用负的干涉信号确保干涉信号的光量，从而对计测对象物能够进行适当的计测。该三维形状计测方法使用传感器获取与对计测对象物照射的来自...

本发明提供试样沟槽填埋方法，即使是在深度方向上具有深的高纵横比的沟槽的试样片，也能够均匀地填埋到沟槽内部而不会产生空洞。该试样沟槽填埋方法的特征在于，至少具有如下工序：切出工序，从具有从一面向深度方向延伸的沟槽的试样切出包含该沟槽在内的...

本发明提供带电粒子束装置以及试样加工方法，其能够对减小了试样的厚度的整个微小试样片均匀地照射带电粒子束并且能够明确地掌握加工时的加工终点。该带电粒子束装置朝向试样照射带电粒子束，制成微小试样片，其特征在于，该带电粒子束装置具有：带电粒子...

本发明提供带电粒子束装置，其能够迅速地进行试样的配置和更换。该带电粒子束装置具有：带电粒子束镜筒，其向试样照射带电粒子束；试样载台，其包含具有基座部(5d)和相对于基座部(5d)绕旋转轴线(R1)旋转的旋转移动部的旋转载台(5A)，使试...

本发明提供试样保持器具、部件安装用器具以及带电粒子束装置，其能够在确保用于在多个不同的带电粒子束装置之间移置试样的通用性的同时防止装置结构所需的费用增加。带电粒子束装置(10)具有：支架(13)，其可拆下地固定保持试样(S)的试样保持器...

本发明的目的在于提供带电粒子束装置，其能够防止起因于人为的错误等而导致试样与电子束镜筒接触。该带电粒子束装置(10)具有试样室(11)、试样载台(31)、向试样S照射电子束的电子束镜筒(13)以及照射会聚离子束的会聚离子束镜筒(14)。...

本发明的提供带电粒子束装置，其能够容易执行使入射到试样的电子束减速的电极与试样的适当且高精度的位置对齐。该带电粒子束装置(10)具有试样室(110)、试样载台(31)、向试样S照射电子束的电子束镜筒(13)、以及照射会聚离子束的会聚离子...

本发明提供便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质。本发明的便携式信息终端能够在期望的位置进行第一操作项目的操作。该便携式信息终端是与通过向试样照射带电粒子束来对试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端，其具有显示控制部，该...

本发明提供扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法，其能够提高试样表面的凸凹形状的测定效率。该扫描型探针显微镜具有：悬臂，在其前端具有探针；驱动部，其从所述探针与试样表面接触的状态起以超过所述悬臂的响应速度的速度进行使所述试样向从所述探针分...

本发明提供塑料标准物质及其制造方法，其能够用1个或几个大小(质量)的粒子实现导入到分析装置中所需的试样的量，并且每个粒子的质量的偏差小，而且能够简单且高精度地进行分析操作。在塑料基材(2)中分散有1种以上的化学物质(4)且用于化学物质的...

本发明提供会聚离子束装置，其能够高精度地进行发射尖锥的末端的调整而不会使FIB光学系统的会聚特性、对准特性降低。该会聚离子束装置具有：真空容器；配置在所述真空容器内、末端被尖锐化的发射尖锥；气体电场电离离子源；会聚透镜；第一偏转器；第一...

本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移...

本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移...

本发明的目的在于，在X射线检查装置中，对于有厚度的被检查物，也不会恶化空间分辨率就能够进行基于时间延迟积分的检测。本发明的X射线检查装置(100)具备：X射线源(1)，产生X射线；输送部(3)，输送试料(S)；检测部，具备检测由X射线源...

提供带电粒子束装置和控制方法。本发明的带电粒子束装置能够提高通过向试样照射带电粒子束进行的、与试样对应的作业的效率。该带电粒子束装置具有：照射部，其向试样照射带电粒子束；像形成部，其检测通过带电粒子束的照射而从试样产生的带电粒子，并形成...

提供复合射束装置，其在利用集束离子束对试样进行截面加工之后利用其他射束对截面进行精加工时，能够抑制来自电子束镜筒的电场或磁场的泄漏所造成的影响或充电所造成的影响的。复合射束装置(100)具有：电子束镜筒(10)，其用于对试样(200)照...

本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干...

提供X射线透射检查装置，其能够容易地进行基于标准试样的调整。该X射线透射检查装置具有：X射线源(2)，其对试样S1照射X射线；试样移动机构，其在来自X射线源的X射线的照射中使试样向特定方向连续移动；X射线检测器(4)，其相对于试样设置于...