带电粒子束装置和控制方法制造方法及图纸

提供带电粒子束装置和控制方法。本发明专利技术的带电粒子束装置能够提高通过向试样照射带电粒子束进行的、与试样对应的作业的效率。该带电粒子束装置具有：照射部，其向试样照射带电粒子束；像形成部，其检测通过带电粒子束的照射而从试样产生的带电粒子，并形成基于该带电粒子的检测信号的图像；输入接受部，其接受观察条件；导出部，其根据所接受的观察条件和存储在存储部中的第一观察参数导出适于该观察条件的第二观察参数；以及控制部，其根据第二观察参数控制照射部。

【技术实现步骤摘要】
带电粒子束装置和控制方法
本专利技术涉及带电粒子束装置和控制方法。
技术介绍
向物体的截面/表面照射带电粒子束(带电粒子的射束)从而获取该截面的截面像/表面像的技术的研究和开发正在进行。与此相关，在由产生离子束的离子源、使离子束会聚的透镜系统、限制离子束的电流的电动可变多孔、载置想要利用离子束进行加工的试样的载台、对在将离子束照射到试样上时产生的二次粒子进行检测的检测器、对电动可变多孔进行控制的离子光学系统控制部、根据二次粒子对试样的加工进行控制的计算机系统构成的会聚离子束加工装置中，公知有如下的加工装置：与离子束的电流量对应地将透镜的设定、像散校正值、孔径和像的偏差量等离子束光学条件、以及多个加工内容事先存储在计算机中，根据加工内容而选择、设定光学条件并进行多个加工(参照专利文献1)。专利文献1：日本特开平10-106474号公报然而，在现有的加工装置中，每当变更加工的试样时必须调整光学条件等与试样的加工/观察相关的各种条件。其结果是，在加工装置中，有时很难提高对多个试样进行加工的作业的效率。
技术实现思路
因此，本专利技术就是鉴于上述现有技术的问题而完成的，提供能够提高通过向试样照射带电粒子束来进行的、与试样对应的作业的效率的带电粒子束装置和控制方法。本专利技术的一个方式是一种带电粒子束装置，该带电粒子束装置具有：照射部，其向试样照射带电粒子束；像形成部，其检测通过所述带电粒子束的照射而从所述试样产生的带电粒子，并形成基于该带电粒子的检测信号的图像；输入接受部，其接受观察条件；导出部，其根据所接受的所述观察条件和存储在存储部中的第一观察参数导出适于该观察条件的第二观察参数；以及控制部，其根据所述第二观察参数控制所述照射部。另外，在本专利技术的另一方式中，在带电粒子束装置中也可以使用如下结构：所述输入接受部接受使所述带电粒子束加速的加速电压、所述带电粒子束的射束电流、使所述带电粒子束会聚的物镜的动作模式即镜头模式、保持所述试样的支架的种类、所述试样的材质、载置所述试样的载台的位置即载台位置中的一部分或全部的组合作为所述观察条件，在所述存储部中存储有该组合作为所述第一观察参数。另外，在本专利技术的另一方式中，在带电粒子束装置中也可以使用如下结构：在所述存储部中存储有与所述照射部进行的所述带电粒子束的照射相关的表示射束照射条件的1个以上的射束照射参数和与所述带电粒子的检测相关的表示检测条件的1个以上的检测参数中的一部分或全部的组合作为所述第二观察参数。另外，在本专利技术的另一方式中，在带电粒子束装置中也可以使用如下结构：所述射束照射参数是使所述照射部照射所述带电粒子束时对所述照射部设定的准心(aligner)、射束移位、OL值、标记值(stigmavalue)中的一部分或全部的组合，所述检测条件是对比度值、亮度值中的任意一方或两者的组合。另外，在本专利技术的另一方式中，在带电粒子束装置中也可以使用如下结构：在所述存储部中存储有将所述第一观察参数和所述第二观察参数对应起来的数据库，所述导出部根据所接受的所述观察条件和所述第一观察参数导出包含于所述数据库中的所述第二观察参数中的、貌似与该观察条件对应的所述第二观察参数作为适于该观察条件的所述第二观察参数。另外，在本专利技术的另一方式中，在带电粒子束装置中也可以使用如下结构：所述导出部确定包含于所述数据库中的所述第一观察参数中的最接近所接受的所述观察条件的所述第一观察参数，并将与确定的该第一观察参数对应的所述第二观察参数作为貌似与该观察条件对应的所述第二观察参数导出。另外，在本专利技术的另一方式中，在带电粒子束装置中也可以使用如下结构：包含于所述数据库中的所述第一观察参数所包含的参数分别对应有优先顺序，所述导出部根据所述优先顺序和所接受的所述观察条件来确定包含于所述数据库中的所述第一观察参数中的最接近该观察条件的所述第一观察参数。另外，在本专利技术的另一方式中，在带电粒子束装置中也可以使用如下结构：所述导出部根据使所述数据库进行学习的机器学习的算法和所接受的所述观察条件，从所述数据库导出貌似与该观察条件对应的所述第二观察参数。另外，在本专利技术的另一方式中，在带电粒子束装置中也可以使用如下结构：该带电粒子束装置还具有存储所述数据库的存储部，所述导出部从所述存储部读出所述数据库。另外，在本专利技术的另一方式中，在带电粒子束装置中也可以使用如下结构：所述导出部经由网络从所述存储部获取所述数据库。另外，在本专利技术的另一方式中，在带电粒子束装置中也可以使用如下结构：所述数据库是将所述照射部过去对试样照射所述带电粒子束时的所述第一观察参数和所述第二观察参数对应起来的数据库。另外，本专利技术的另一方式是一种控制方法，其是如下带电粒子束装置的控制方法，该带电粒子束装置具有：照射部，其向试样照射带电粒子束；以及像形成部，其检测通过所述带电粒子束的照射而从所述试样产生的带电粒子，并形成基于该带电粒子的检测信号的图像，其中，该控制方法具有如下步骤：接受观察条件；由导出部根据所接受的所述观察条件和存储在存储部中的第一观察参数导出适于该观察条件的第二观察参数；以及由控制部根据导出的所述第二观察参数控制所述照射部。根据本专利技术，能够提供可提高通过向试样照射带电粒子束来进行的、与试样对应的作业的效率的带电粒子束装置和控制方法。附图说明图1是示出实施方式的带电粒子束装置1的结构的一例的图。图2是示出控制装置30的硬件结构的一例的图。图3是示出控制装置30的功能结构的一例的图。图4是示出控制装置30所进行的参数导出处理的流程的一例的流程图。图5是示出导出部363通过输入接受部33而经由操作画面从用户接受的观察条件的一例的图。图6是例示预先存储在存储部32中的保存在数据库D中的1个以上的第一观察参数和与各第一观察参数对应的第二观察参数的图。标号说明1：带电粒子束装置；10：照射部；11：会聚离子束镜筒；12：电子束镜筒；13：试样室；16：二次电子检测器；17：EDS检测器；18：EBSD检测器；30：控制装置；31：CPU；32：存储部；33：输入接受部；34：通信部；35：显示装置；36：控制部；361：照射部控制部；362：像形成部；363：导出部；367：显示控制部。具体实施方式＜实施方式＞以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。＜带电粒子束装置所进行的处理的概要＞首先，对实施方式的带电粒子束装置1所进行的处理的概要进行说明。带电粒子束装置1例如是通过向试样照射带电粒子束来观察试样表面的结构的带电粒子显微镜。该结构是该表面的化学组成、该表面的晶体结构等。另外，带电粒子束装置1也可以是通过带电粒子束的蚀刻对试样进行加工的带电粒子加工装置等向试样照射带电粒子束的其他装置。另外，带电粒子束装置1也可以是能够通过作为带电粒子束的会聚离子束和电子离子束中的任意一方或两者对试样进行加工的复合机。带电粒子束装置1从用户接受可以对带电粒子束装置1设定的多个参数中的1个以上的参数的组合(小组、参数组)作为观察条件。以下，为了便于说明，将包含于观察条件的1个以上的参数分别称作输入参数并进行说明。输入参数是由用户根据作为由带电粒子束装置1观察表面的结构的对象的试样而确定的参数。带电粒子束装置1根据所接受的观察条件将带电粒子束装置1的状态变更为与该观察本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带电粒子束装置，其具有：照射部，其向试样照射带电粒子束；像形成部，其检测通过所述带电粒子束的照射而从所述试样产生的带电粒子，并形成基于该带电粒子的检测信号的图像；输入接受部，其接受观察条件；导出部，其根据所接受的所述观察条件和存储在存储部中的第一观察参数导出适于该观察条件的第二观察参数；以及控制部，其根据所述第二观察参数控制所述照射部。

【技术特征摘要】
2016.12.22 JP 2016-2494651.一种带电粒子束装置，其具有：照射部，其向试样照射带电粒子束；像形成部，其检测通过所述带电粒子束的照射而从所述试样产生的带电粒子，并形成基于该带电粒子的检测信号的图像；输入接受部，其接受观察条件；导出部，其根据所接受的所述观察条件和存储在存储部中的第一观察参数导出适于该观察条件的第二观察参数；以及控制部，其根据所述第二观察参数控制所述照射部。2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其中，所述输入接受部接受使所述带电粒子束加速的加速电压、所述带电粒子束的射束电流、使所述带电粒子束会聚的物镜的动作模式即镜头模式、保持所述试样的支架的种类、所述试样的材质、载置所述试样的载台的位置即载台位置中的一部分或全部的组合作为所述观察条件，在所述存储部中存储有该组合作为所述第一观察参数。3.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其中，在所述存储部中存储有与所述照射部进行的所述带电粒子束的照射相关的表示射束照射条件的1个以上的射束照射参数和与所述带电粒子的检测相关的表示检测条件的1个以上的检测参数中的一部分或全部的组合作为所述第二观察参数。4.根据权利要求3所述的带电粒子束装置，其中，所述射束照射参数是使所述照射部照射所述带电粒子束时对所述照射部设定的准心、射束移位、OL值、标记值中的一部分或全部的组合，所述检测条件是对比度值、亮度值中的任意一方或两者的组合。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的带电粒子束装置，其中，在所述存储部中存储有将所述第一观察参数和所述第二观察参数对应起来的数据库，所述导出部根据所接受的所述观察条件和所述第一观察参数导出包含于所述数据库中的所述第二观察参数中的、貌似与该观察条件对应的所述第二观察参数作为...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木秀和，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本,JP