易于位置调节的电子显微镜用电子枪及包括其的电子显微镜制造技术

本发明专利技术涉及一种易于位置调节的电子枪及包括其的电子显微镜，电子枪改善了真空结构，以便在电子枪的灯丝块(filament block)或电子尖端的中心轴与阳极及聚焦透镜的中心轴机械地错位时，即使不具备用于保持真空的波纹管，也能够使得电子枪的灯丝块或电子尖端移动，为了使得电子束的中心轴与阳极板或二次阳极对齐，阳极板与维纳尔圆柱电极相面对，二次阳极与场发射电子源及一次阳极并排配置，即使不设置包围并密封电子束产生部的波纹管，也能够移动双重O环密封部或磁性流体密封部上的上面平板，从而不仅电子束排列容易，而且结构简化、组装以及分解容易，使用能够再次使用的橡胶O环，并且与不锈钢相比，在保持超高真空方面上没有差别，将相对磁导率值大的软钢用作腔室，从而即使不设置高导磁合金或坡莫合金等包围电子束产生部的追加的构成，也能够防止杂散磁场流入，从而不仅制造容易，而且因没有采用复杂的构成而具有经济性。

An electronic microscope that is easy to adjust to the electron microscope and its electronic microscope

The present invention relates to an electronic gun is easy to adjust the position and its including electron microscopy, electron gun to improve the vacuum structure, so that the filament block in the electron gun (filament block) center and the anode and a focusing lens or electronic tip of the central axis mechanical misalignment, which do not have to keep the vacuum the corrugated pipe, also can make the filament block or electronic tip of mobile electronic gun, in order to make the electron beam central axis and the anode plate or two anode alignment, anode plate and cylindrical electrode Weiner faces two anode and field emission electron source and an anode side by side configuration, if not set the corrugated surrounded and generating unit the sealing of the electron beam tube, can also move the double O ring seal or magnetic fluid seal above the flat board part, which not only electron beam arrangement and simplified structure, easy assembly and The solution is easily, can use rubber O ring again, and compared with stainless steel, there is no difference in maintaining ultra high vacuum, the relative permeability value of mild steel is used as a supplementary form to the chamber, if not set high magnetic alloy or permalloy etc. by electron beam generating part, which can prevent stray the magnetic field flows, which not only easy to manufacture, but also because without the use of complex structure with economy.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】易于位置调节的电子显微镜用电子枪及包括其的电子显微镜
本专利技术涉及一种电子显微镜和电子枪，更为详细地，涉及一种易于位置调节的电子枪及包括其的电子显微镜，电子枪对真空结构进行了改良，以便在电子枪的灯丝块(filamentblock)或电子尖端的中心轴与阳极及聚焦透镜的中心轴机械地错位时，即使不具备用于保持真空的金属材料的波纹管，也能够以结构简单并且组装及分解容易的形式使得电子枪的灯丝块或电子尖端移动。
技术介绍
扫描电子显微镜(SEM,ScanningElectronMicroscope)以二维的形式将电子束扫描到样品，检测出从样品发射的二次电子后，使其成像。所述扫描电子显微镜是与光学显微镜相类似的构成，光学显微镜包括光源、会聚透镜和物镜，使用从样品表面反射的光来成像。相当于光学显微镜的光源的电子枪起到使得电子产生并加速的作用，并且供给用作电子束的形态的电子群。原子内的电子通过与原子核的电力作用而在特定能量轨道具有一定的能量，所以只要不从外部提供能量，几乎不会发生电子脱离原子而被发射的事情，但是若提供能量垒(功函数；workfunction)以上的能量，则脱离到外面。换句话说，若用高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种易于位置调节的电子显微镜用电子枪，所述电子枪包括：管状侧面部，其设置有第一真空排气管；平板上面部，其与所述管状侧面部的上部边缘面以介入有双重O型环的形式相接触，在平板上面部的中心设置有朝向管状空间内部的电子束产生部；第一下面部，其作为与所述管状侧面部的下部内面相接触的内部平板，在与所述电子束产生部的电子发射方向相面对的位置设置有电子束通过用孔；管状侧面延长部，其经过所述管状侧面部和所述第一下面部相接触的位置并延长，同时设置有第二真空排气管；第二下面部，其作为与所述管状侧面延长部的下部内面相接触的内部平板，在与所述第一下面部的电子束通过用孔相面对的位置设置有电子束通过用孔，所述管状侧面部、所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.20 KR 10-2015-0145944;2015.12.01 KR 10-2011.一种易于位置调节的电子显微镜用电子枪，所述电子枪包括：管状侧面部，其设置有第一真空排气管；平板上面部，其与所述管状侧面部的上部边缘面以介入有双重O型环的形式相接触，在平板上面部的中心设置有朝向管状空间内部的电子束产生部；第一下面部，其作为与所述管状侧面部的下部内面相接触的内部平板，在与所述电子束产生部的电子发射方向相面对的位置设置有电子束通过用孔；管状侧面延长部，其经过所述管状侧面部和所述第一下面部相接触的位置并延长，同时设置有第二真空排气管；第二下面部，其作为与所述管状侧面延长部的下部内面相接触的内部平板，在与所述第一下面部的电子束通过用孔相面对的位置设置有电子束通过用孔，所述管状侧面部、所述平板上面部及所述第一下面部形成第一真空室，所述第一下面部、所述管状侧面延长部及所述第二下面部形成第二真空室，所述双重O型环包括第一O型环和第二O型环，第一O型环接触于所述边缘面的里侧，第二O型环接触于所述边缘面的外侧，并且设置有对所述第一O型环和所述第二O型环之间的空间进行连接的多个第三真空排气管。2.一种易于位置调节的电子显微镜用电子枪，所述电子枪包括：管状侧面部，其在第一真空排气管和上部边缘面设置有磁场产生部；平板上面部，其与所述管状侧面部的上部边缘面以介入有环状磁性流体密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵福来，朴寅用，
申请(专利权)人：韩国标准科学研究院，
类型：发明
国别省市：韩国,KR