具有可交换极片延伸元件的带电粒子显微镜制造技术

一种具有真空室的带电粒子显微镜，所述真空室包括：‑ 样本保持器，用于保持样本；‑ 粒子光柱，用于产生带电粒子束并沿着轴引导带电粒子束以便照射样本，所述柱在面朝所述样本保持器的末端处具有终端极片；‑ 检测器，用于检测响应于由所述射束进行的照射而从该样本放射的辐射通量，其中，‑ 在所述极片与所述样本保持器之间的空间中以磁性方式将可交换柱延伸元件安装在所述极片上。

【技术实现步骤摘要】
具有可交换极片延伸元件的带电粒子显微镜本专利技术涉及具有真空室的带电粒子显微镜，所述真空室包括：-样本保持器，用于保持样本；-粒子光柱，用于产生带电粒子束并沿着轴引导带电粒子束以便照射样本，所述柱在面朝所述样本保持器的末端处具有终端极片；-检测器，用于检测响应于由所述射束进行的照射从该样本放射的辐射通量；本专利技术还涉及使用这样的带电粒子显微镜的方法。带电粒子显微术为用于对微观对象成像、尤其是以电子显微术的形式的公知且越来越重要的技术。在历史上，电子显微镜的基本类已经历演变为数个公知装置种类（诸如透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）以及扫描透射电子显微镜（STEM））、以及还演变为各种子种类，诸如所谓的“双射束”工具（例如，FIB-SEM），所述“双射束”工具附加地采用“加工的”聚焦离子束（FIB）从而例如允许诸如离子束铣削或离子束诱导沉积（IBID）之类的支持活动。更具体来说：-在SEM中，通过扫描电子束照射样本使来自样本的“辅助”辐射的放射沉淀，例如以二次电子、背散射电子、X射线和阴极发光（红外、可见和/或紫外光子）的形式；然后检测该放射辐射的一个或多个分量并将其用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有真空室的带电粒子显微镜，所述真空室包括：‑ 样本保持器，用于保持样本；‑ 粒子光柱，用于产生带电粒子束并沿着轴引导带电粒子束以便照射样本，所述柱在面朝所述样本保持器的末端处具有终端极片；‑ 检测器，用于检测响应于由所述射束进行的照射从该样本放射的辐射通量，其特征在于：‑ 在所述极片与所述样本保持器之间的空间中以磁性方式将可交换柱延伸元件安装在所述极片上。

【技术特征摘要】
2016.08.25 EP 16185627.31.一种具有真空室的带电粒子显微镜，所述真空室包括：-样本保持器，用于保持样本；-粒子光柱，用于产生带电粒子束并沿着轴引导带电粒子束以便照射样本，所述柱在面朝所述样本保持器的末端处具有终端极片；-检测器，用于检测响应于由所述射束进行的照射从该样本放射的辐射通量，其特征在于：-在所述极片与所述样本保持器之间的空间中以磁性方式将可交换柱延伸元件安装在所述极片上。2.根据权利要求1所述的显微镜，其中：-所述极片的接收面被提供有第一机械对齐特征；-所述延伸元件的配套面被提供有第二机械对齐特征；-所述第一和第二机械对齐特征与彼此衔接以便促使将延伸元件保持在极片上的预定义的位置中。3.根据权利要求2所述的显微镜，其中，所述预定义位置基本上以所述轴为中心。4.根据权利要求2或3所述的显微镜，其中：-所述接收面被提供有第一组有用物互连；-所述配套面被提供有对应的第二组有用物互连；-当所述机械对齐特征衔接时，所述第一和第二组有用物互连与彼此耦合，以便允许在极片与延伸元件之间转移有用物。5.根据权利要求1-4中的任一项所述的显微镜，其中，所述极片与所述延伸元件之间的接口形成真空密封。6.根据权利要求1-5中的任一项所述的显微镜，其中，所述延伸元件：-包括不是永磁性的材料；-通过从极片放射的磁场在所述极片上保持就位。7.根据权利要求1-6中的任一项所述的显微镜，其中，所述延伸元件包括能够被激活以实现所述磁性安装的电磁构件。8.根据权利要求1-7中的任一项所述的显微镜，还包括：-原位库，用于存储各种各样的不同延伸元件；-交换器机构，用于：·将延伸元件从所述极片卸除并将该延伸元件存储在所述库中；·从所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：B塞达，L图马，P赫拉文卡，M恩科斯基，R瓦斯纳，J特罗杰克，M马亚佐兹，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：美国,US