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一种具有真空室的带电粒子显微镜，所述真空室包括：‑ 样本保持器，用于保持样本；‑ 粒子光柱，用于产生带电粒子束并沿着轴引导带电粒子束以便照射样本，所述柱在面朝所述样本保持器的末端处具有终端极片；‑ 检测器，用于检测响应于由所述射束进行的照射...
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