本发明的目的在于提供能够定量地计测在样品内进行布朗运动的粒子的尺寸分布的光计测技术。本发明的尺寸分布计测装置一边沿计测光的光轴方向扫描焦点位置，一边计测反射光强度，并按照其中最大的反射光强度计算粒子的尺寸分布(参照图9)。

本发明提供扫描型探针显微镜及其探针扫描方法。扫描型探针显微镜使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动...

提供X射线检查装置和X射线检查方法，即使是长条的片状的试样，也能一边进行强度校正一边连续进行检查。具备：X射线源；试样移动机构；X射线检测部，其具有线传感器，该线传感器利用像素检测透过了试样的X射线；图像存储部，其存储X射线强度；强度校...

本发明提供带电粒子束装置及其控制方法、以及复合带电粒子束装置，在切换了物镜的加速模式与减速模式或变更了构成物镜的增强器电极的施加电压的情况下，能够得到与切换或变更前同等的无畸变的尺寸准确的试样表面的扫描像。带电粒子束装置具备：带电粒子源...

本发明提供会聚离子束装置及会聚离子束装置的控制方法，能够将射束控制到所希望的轨道。会聚离子束装置具备：离子源，其产生离子；第一静电透镜，其使离子加速并将其会聚，形成离子束；射束增强器电极，其使离子束进一步加速；一个或多个电极，它们设置在...

本发明提供一种液相色谱装置。该液相色谱装置在测定时，自动地判定是否调整装置，进而调整也自动进行，因此能够减轻用户的负担，并且避免了不必要的调整，从而能够提高作业效率。液相色谱装置(100)具备控制部(9)，利用同一柱(4)在规定的测定条...

本发明提供一种分析装置，该分析装置自动地管理和报告标准试样的使用期限，使标准试样的管理变得容易。分析装置(100)使用标准试样(200)分析未知试样，具有读取部(12)和控制部(9)，读取部(12)读取附加在标准试样上的使用期限信息(2...

提供粒子束照射装置，进行基于多个检测器的观察时，能缩短多个检测器的亮度调整的时间。粒子束照射装置具有照射粒子束的照射部、检测第1粒子的第1检测部、检测第2粒子的第2检测部、像形成部和控制部，像形成部进行如下处理：形成基于第1检测部检测到...

本发明提供带电粒子束照射装置和控制方法，能够缩短观察多层试样中包含的多个观察对象层各自的物质或构造所需的时间。带电粒子束照射装置具备：会聚离子束镜筒，其对多层试样照射会聚离子束；电子束镜筒，其对多层试样照射电子束；电子检测器，其检测从多...

本发明提供一种液体金属离子源和聚焦离子束装置，能够长期间稳定地释放离子束。该液体金属离子源(50)具备：贮存室(10)，其对形成液体金属的离子材料(M)进行保持；针状电极(20)，其表面由从贮存室供给的离子材料覆盖；引出电极(22)，其...

本发明提供自动取样器的控制装置及自动测定系统，能在示出实际的试样保持位置的保持位置信息上容易地设定和变更试样的测定状态，且能容易地掌握测定状态。自动取样器的控制装置用于自动取样器，具有控制部和存储部，该自动取样器具备：试样保持部，其排列...

提供如下的会聚离子束装置：能够针对会聚离子束的多个照射位置，分别自动且高精度地与共心高度对齐。会聚离子束装置具有电子束镜筒、会聚离子束镜筒、以及能够以倾斜轴为中心倾斜且能够沿高度方向移动的试样载台，其中，会聚离子束装置还具有：坐标取得单...

提供会聚离子束装置。在实际照射会聚离子束之前，至少能够掌握射束以怎样的朝向照射固定试样的试样台。会聚离子束装置具有：会聚离子束镜筒(20)，其用于对试样(200)照射会聚离子束(20A)；试样台(51)，其载置试样；以及试样载台，其载置...

本发明提供一种带电粒子束装置，能够使自动微采样高速化。带电粒子束装置是从试样自动地制作试样片的带电粒子束装置，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置着所述试样移动；试样片移设单元，其保持并运送从所述试样分离及摘出...

提供试样保持架和带电粒子束装置，能够抑制装置结构变得复杂，并且能够容易地变更试样的位置和姿态。试样保持架(19)具有基础部(41)、试样搭载部(42)、旋转引导部(43)、冷却载台(46)、连接部件(47)、第1支承部和固定引导部(48...

本发明提供带电粒子束装置，能够使自动MS稳定化。带电粒子束装置是从试样中自动地制作试样片的带电粒子束装置，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样载台，其载置试样而移动；试样片移设单元，其保持从试样中分离并摘出的试样片而进行...

本发明提供一种热分析装置。通过将试样的伴随温度变化的颜色信息的变化与热行为进行对照，能够更准确地掌握试样的热变化。热分析装置(100)具备加热炉(3)，并测定该加热炉内的试样(S

提供带电粒子束装置和控制方法，使加工自动化。带电粒子束装置具有：图像一致度判定部，其判定如下的一致度是否为规定的值以上，该一致度表示通过扫描型电子显微镜观察试样的截面而得到的SEM图像即加工截面图像和预先登记的加工截面图像即判定基准图像...

本发明提供掩模缺陷修正装置和掩模缺陷修正方法，不用使掩模在掩模缺陷修正装置与检查装置之间一边暴露在大气中一边移动，便能够进行精度高的缺陷修正。掩模缺陷修正装置使得一边向掩模的缺陷供给气体，一边照射由补正部补正后的照射量的带电粒子束，从而...

提供色谱仪的数据处理装置、数据处理方法以及色谱仪，降低假想曲线计算处理时的运算处理负荷和噪声的影响。根据由色谱仪计测出的标绘数据来进行数据处理的色谱仪的数据处理装置具有：假想曲线计算数据生成部，其求出数量比计测出的标绘数据少的假想曲线计...