本发明提供了一种样本制备方法和装置。样本制备方法包括：在显示屏幕上显示样本的第一截面的SEM图像的同时，通过扫描并照射聚焦离子束对第一截面进行蚀刻处理，从而暴露第二截面；以及在显示屏幕上显示另一截面的SEM图像的同时，在执行聚焦离子束的...

本发明提供了一种TEM样本制备方法。TEM样本制备方法包括：将薄片样本放置在样本支架上从而该薄片样本的第一侧面与聚焦离子束镜筒相对，其中该第一侧面比该薄片样本的第二侧面离薄片样本内的所期望的观察对象更近；为了形成薄膜部，对于第一侧面的与...

本发明提供了一种制备TEM观察样本的方法，该方法包括：将沉积气体提供到具有暴露的凹陷的薄片部的截面；利用电子束照射截面的包括凹陷的区域，从而形成沉积膜；利用离子束照射沉积膜，从而移除形成在截面上的沉积膜；以及利用离子束照射薄片样本，从而...