日本株式会社日立高新技术科学专利技术

日本株式会社日立高新技术科学共有183项专利

  • 本发明提供三维形状计测方法和三维形状计测装置。在对测定对象物照射测定介质而根据干涉信号计测三维形状的三维形状计测方法中,包括更换了物镜的情况在内,简便且准确地进行干涉信号的摄像元件的焦点位置和干涉条纹的出现位置的调整。对摄像元件的位置进...
  • 提供抑制了重量检测器的检测精度降低的热分析装置。热分析装置(100)具有:筒状的加热炉(3),其在轴O方向上延伸;重量检测器(32),其配置于加热炉的轴向的后端侧,具有在轴向上延伸且检测重量的杆(43、44);连接部(34),其连接加热...
  • 提供X射线检查装置以及X射线检查方法,能够一边维持检测能力一边削减从TDI传感器传送的数据量,并且能够实时地传送数据。具有:X射线源;试样移动机构,其使试样沿特定的方向移动;TDI传感器;以及TDI运算部,其对沿着特定的方向的多个像素4...
  • 本发明提供色谱装置和色谱装置的管理方法,能够自动通知与色谱装置相关的管理信息以防止管理不良,从而能够稳定地进行测定。色谱装置(100)具备控制部(9)和存储部(10),其中,存储部存储基于测定对象的标准试样的标准色谱图(CR)的波形(W...
  • 本发明提供复合带电粒子束装置和控制方法,能够根据会聚离子束的期望的加速电压来设定会聚离子束的射束助推器的电压的值。复合带电粒子束装置具有:离子供给部,其供给离子束;加速电压施加部,其通过向离子供给部所供给的离子束施加加速电压,而使离子束...
  • 提供薄膜试样片制作方法和带电粒子束装置,能够抑制薄膜试样片的缺损。具有如下工序:从与试样(S)的表面的法线方向(z)交叉的第2方向照射会聚离子束(FIB2)而对试样(S)进行加工,从而制作出薄膜试样片(1),并且制作出配置于试样(S)薄...
  • 提供带电粒子束装置。简便地计算引出电压的设定值。带电粒子束装置具有:气体导入室,其被导入原料气体;等离子体生成室,其与气体导入室连接;线圈,其沿着等离子体生成室的外周卷绕,被施加高频电力;引出电极,其对从等离子体生成室的出口的等离子体开...
  • 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法,不用变更载台的尺寸便能够缩小电子束镜筒与试样之间的距离,从而得到高分辨率的SEM图像,并且能够得到正对试样的观察面的SEM图像。具有如下的工序:试样片形成工序,对所述试样照射聚焦离子束而从试样切出试...
  • 薄片试样制作装置(1)具备会聚离子束照射光学系统(14)、载台(12)、载台驱动机构(13)以及计算机(22)。会聚离子束照射光学系统(14)照射会聚离子束(FIB)。载台(12)保持试样片(Q)。载台驱动机构(13)驱动载台(12)。...
  • 本发明提供液相色谱分析方法以及液相色谱分析装置,能够利用液相色谱准确、简便且短时间地对试样中所含的多个成分进行测定。在液相色谱分析方法中,利用液相色谱对测定试样中所含的多个成分进行定量,其中,该液相色谱分析方法具有:预处理工序,从多个成...
  • 提供色谱仪和色谱仪的分析方法确定装置,更容易进行与分析对象对应的适当的分析。色谱仪的分析方法确定装置具有:输入部(220),其受理作为分析对象的试样的试样名和成分名的输入;存储部(230),其与试样名和成分名对应地存储上述试样名的试样中...
  • 提供色谱仪,容易地应对色谱仪不适当地动作的情况。色谱仪(液相色谱仪(100))供给洗脱液和试样,通过分离并检测上述试样所包含的成分而对上述试样进行分析,该色谱仪(液相色谱仪(100))具有:检测部(控制部(170)),其检测上述分析中的...
  • 本发明提供色谱仪及色谱分析的定量方法,既使用基于内部标准法的检量线,又不需要在未知试样中添加标准物质的作业,在简化测定的同时抑制了定量精度的降低。色谱仪具备控制部和存储部,对规定的测定对象进行定量,存储部存储基于内部标准法的检量线数据,...
  • 本发明提供色谱装置,能够在装置侧可靠地执行色谱装置的分析步骤和条件的变更,能够简单且无错误地进行分析。色谱装置(100)依据规定的步骤和条件来进行色谱分析,其中,具有:读取部(11),在依据一个分析步骤书开始色谱分析时,该读取部(11)...
  • 本发明提供X射线透射检查装置和X射线透射检查方法,能够迅速地获取试样的各高度的截面像。该X射线透射检查装置具有:X射线源(2);二维传感器(3),其检测透射过试样(S)的X射线;试样移动机构,其能够使试样移动;运算部,其处理由二维传感器...
  • 截面观察装置对物体照射带电粒子束而使物体的截面反复露出,并且对露出的多个该截面中的至少一部分截面照射带电粒子束而取得表示该至少一部分截面中的各个截面的截面像信息,生成取得的各个截面像信息所表示的每个该截面的截面像,从而生成将所生成的各个...
  • 通过对试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片的自动加工装置具有:构造信息取得部,其取得表示加工前的试样的构造的构造信息;加工结束位置取得部,其取得指定与试样的构造对应的加工的结束位置的结束位置指定信息;图像取得部,其取得通过对在试样的被...
  • 带电粒子束装置具有:带电粒子束镜筒,其向试样照射带电粒子束;倾斜台(64A),其具有能够对试样进行保持的第1试样保持部,将第1试样保持部保持为能够绕轴线(S1)进行转动;倾斜台(64B),其具有能够对试样进行保持的第2试样保持部,将第2...
  • 本发明提供干涉信号的相位校正方法。在计测伴有周期函数的物理现象时,对不可避免地产生的相位偏移进行校正。在干涉信号的相位校正方法中,从光源对测定对象物照射测定介质,取得呈现周期函数的干涉信号,针对干涉信号在多个采样点进行采样,求出各采样点...
  • 提供管理标牌和带管理标牌的容器,能够可靠且简易地安装在容器上,并且取下也容易,能够容易地进行管理信息的确认,还能够应用于带盖的容器。安装在筒状的容器100上的管理标牌(10)具有:贯穿插入孔(10h),其呈大致平板状,供容器贯穿插入;以...