X射线透射检查装置和X射线透射检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供X射线透射检查装置和X射线透射检查方法，能够迅速地获取试样的各高度的截面像。该X射线透射检查装置具有：X射线源(2)；二维传感器(3)，其检测透射过试样(S)的X射线；试样移动机构，其能够使试样移动；运算部，其处理由二维传感器检测出的X射线的图像；以及显示部，其能够显示截面像，二维传感器能够一次读出通过所有的像素检测到的图像，在将移动速度设为V1、将二维传感器的帧速率设为F、将二维传感器的像素间距设为A、将从X射线源到二维传感器的距离设为LS时，运算部进行沿着移动方向对每隔(LS×V1)/(L×F×A)的像素的图像进行持续相加的加法处理，从而生成与X射线源相距L的位置处的试样的截面像。

X-ray transmission inspection device and method

【技术实现步骤摘要】
X射线透射检查装置和X射线透射检查方法
本专利技术涉及能够检测试样中的金属异物等的X射线透射检查装置和X射线透射检查方法。
技术介绍
通常，为了检测试样中的金属异物等，使用通过对试样照射X射线而获取的X射线透射像进行检查的X射线透射检查。例如，在专利文献1中，记载了能够使用时间延迟积分(TDI)方式的传感器来测定试样的透射X射线的透射X射线分析装置以及方法。该透射X射线分析装置检测在规定的扫描方向上相对移动的试样的透射X射线像，并且该透射X射线分析装置具有：TDI传感器，其是具有呈二维状排列的多个摄像元件的时间延迟积分方式的TDI传感器，并且在扫描方向上排列多级在与扫描方向垂直的方向上排列有摄像元件的线传感器，将累积在一个线传感器中的电荷向相邻的下一个线传感器传送，其中，该摄像元件读出对源自透射X射线像的图像进行光电转换而产生的电荷；遮蔽单元，其配置在TDI传感器与试样之间，在扫描方向上进退而遮蔽与成为TDI传感器的一部分的规定级数的线传感器对应地入射的图像的一部分；以及遮蔽单元位置控制单元，其可调整地控制遮蔽单元的位置，以使得本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X射线透射检查装置，其特征在于，/n该X射线透射检查装置具有：/nX射线源，其对试样照射X射线；/n二维传感器，其相对于所述试样设置在与所述X射线源相反的一侧，检测透射了所述试样的所述X射线；/n试样移动机构，其能够使所述试样在与所述二维传感器的检测面平行的固定的移动方向上以恒定的移动速度进行移动；/n运算部，其对由所述二维传感器检测出的所述X射线的图像进行处理；以及/n显示部，其能够显示基于由所述运算部处理后的所述图像的截面像，/n所述二维传感器具有呈格子状排列的作为摄像元件的多个像素，能够以恒定的帧速率一次读出通过所有的所述像素检测到的所述图像，/n在将所述移动速度设为V1、将所述...

【技术特征摘要】
20180803 JP 2018-1464811.一种X射线透射检查装置，其特征在于，
该X射线透射检查装置具有：
X射线源，其对试样照射X射线；
二维传感器，其相对于所述试样设置在与所述X射线源相反的一侧，检测透射了所述试样的所述X射线；
试样移动机构，其能够使所述试样在与所述二维传感器的检测面平行的固定的移动方向上以恒定的移动速度进行移动；
运算部，其对由所述二维传感器检测出的所述X射线的图像进行处理；以及
显示部，其能够显示基于由所述运算部处理后的所述图像的截面像，
所述二维传感器具有呈格子状排列的作为摄像元件的多个像素，能够以恒定的帧速率一次读出通过所有的所述像素检测到的所述图像，
在将所述移动速度设为V1、将所述帧速率设为F、将所述二维传感器的像素间距设为A、将从所述X射线源到所述二维传感器的距离设为LS时，所述运算部进行沿着所述移动方向对每隔(LS×V1)/(L×F×A)的所述像素的所述图像进行持续相加的加法处理，从而生成与所述X射线源相距L的位置处的所述试样的截面像。


2.根据权利要求1所述的X射线透射检查装置，其特征在于，
在所述运算部生成与所述X射线源相距L1的位置处的所述试样的截面像和与所述X射线源相距L2的位置处的所述试样的截面像，并使所述显示部进行显示时，进行使与所述X射线源相距L1的位置处的所述试样的截面像的显示尺寸为L1/L2倍的校正处理而进行显示。


3.根据权利要求1或2所述的X射线透射检查装置，其特征在于，
该X射线透射检查装置具有试样旋转机构，该试样旋转机构能够变更所述试样相对于所述X射线源的朝向，
所述运算部生成通过所述试样旋转机构而改变所述试样...

【专利技术属性】
技术研发人员：的场吉毅，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本;JP