自动加工装置制造方法及图纸

通过对试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片的自动加工装置具有：构造信息取得部，其取得表示加工前的试样的构造的构造信息；加工结束位置取得部，其取得指定与试样的构造对应的加工的结束位置的结束位置指定信息；图像取得部，其取得通过对在试样的被照射了带电粒子束的位置处出现的加工面进行拍摄而得到的加工面图像；以及判定部，其根据由构造信息取得部取得的构造信息与由图像取得部取得的加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了结束位置。

Automatic processing device

The automatic processing device for making sample pieces from the sample by irradiating the charged particle beam on the sample includes: a structure information acquisition unit, which obtains the structure information of the sample before processing; a processing end position acquisition unit, which obtains the specified end position information of the end position of the processing corresponding to the structure of the sample; an image acquisition unit, which obtains the specified end position information of the processing corresponding to the structure of the sample by According to the comparison between the structure information obtained by the structure information acquisition unit and the processing surface image obtained by the image acquisition unit, the determination unit determines whether the processing position based on the charged particle beam reaches the end position.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】自动加工装置
本专利技术涉及自动加工装置。
技术介绍
以往，公知有如下的装置：将通过对试样照射由电子或离子构成的带电粒子束而制作出的试样片取出，并将试样片加工成适合由扫描电子显微镜和透射电子显微镜等进行观察、分析及计测等各种工序的形状(例如，参照专利文献1、2)。例如在利用带电粒子束对存储器件等具有由相同构造物重复排列而成的构造的试样进行加工的情况下，例如有时留下任意构造物来制作TEM分析用试样(TEM试样)。在这样相对于细长的构造物的长边方向制作试样的情况或沿着成列的构造物的列制作试样的情况下，对带电粒子束的扫描方向进行校正以便能够相对于构造物或列水平地进行加工。这并不限于TEM试样制作，在制作截面的情况下也完全相同。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-170941号公报专利文献2：日本特开2013-200987号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题例如在留下任意一个构造物来制作TEM分析用试样(TEM试样)的情况下，带电粒子束装置的操作者对由带电粒本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动加工装置，其通过对试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片，其中，/n该自动加工装置具有：/n构造信息取得部，其取得表示加工前的试样的构造的构造信息；/n加工结束位置取得部，其取得指定与所述试样的构造对应的加工的结束位置的结束位置指定信息；/n图像取得部，其取得加工面图像，该加工面图像是通过对在所述试样的被照射了带电粒子束的位置处出现的加工面进行拍摄而得到的；以及/n判定部，其根据由所述构造信息取得部取得的所述构造信息与由所述图像取得部取得的所述加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170327 JP 2017-0609021.一种自动加工装置，其通过对试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片，其中，
该自动加工装置具有：
构造信息取得部，其取得表示加工前的试样的构造的构造信息；
加工结束位置取得部，其取得指定与所述试样的构造对应的加工的结束位置的结束位置指定信息；
图像取得部，其取得加工面图像，该加工面图像是通过对在所述试样的被照射了带电粒子束的位置处出现的加工面进行拍摄而得到的；以及
判定部，其根据由所述构造信息取得部取得的所述构造信息与由所述图像取得部取得的所述加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。


2.根据权利要求1所述的自动加工装置，其中，
所述构造信息是对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像，
所述判定部根据对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像与所述加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。


3.根据权利要求2所述的自动加工装置，其中，
所述试样具有重复构造，
所述构造信息是对加工前的所述试样的所述重复构造进行拍...

【专利技术属性】
技术研发人员：酉川翔太，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本;JP