日本株式会社日立高新技术科学专利技术

日本株式会社日立高新技术科学共有183项专利

  • 提供顺序型ICP发光分光分析装置和测定波长校正方法,不需要分光器的温度校正机构和机械地移动检测器的机构等。该顺序型ICP发光分光分析装置将波长不同的多个氩发光线作为基准波长而持续进行测定的结果取得基准波长的伴随时间经过的波长峰值位置的位...
  • 本发明涉及电感耦合等离子体发生装置和电感耦合等离子体分析装置。提供能够不使用冷却水而以高的冷却能力冷却高频感应线圈的电感耦合等离子体发生装置和使用其的电感耦合等离子体分析。电感耦合等离子体发生装置(10)由等离子体焰炬(13)、高频感应...
  • 本发明提供带电粒子束装置,其自动重复这样的动作:取出通过利用离子束的试样的加工而形成的试样片并使其移设到试样片保持器。该带电粒子束装置具有计算机,该计算机使用由吸收电流图像形成的模板、和从二次电子图像取得的针的前端坐标,以使针接近试样片...
  • 本发明提供试样运送机构和真空装置。该试样运送机构可以在小的空间内容易进行试样运送棒的收纳动作。该试样运送机构(10)具有:试样运送棒(11),其在试样室和预备试样室(4a)内沿着预定方向运送试样;支撑体,其支撑试样运送棒(11);壳体(...
  • 本发明提供集束离子束装置,其搭载有能够使从更高亮度的气体电场电离离子源释放的离子沿着离子光学系统的光轴长时间稳定持续释放,且能够长时间形成集束离子束的气体电场电离离子源集。在搭载有具有释放离子的发射极的气体电场电离离子源的集束离子束装置...
  • 本发明提供X射线产生源和具有其的荧光X射线分析装置。该X射线产生源能够通过简易结构抑制X射线产生位置与用于限定X射线照射区域的机构的位置偏移,其具备对试样(S)照射一次X射线(X1)的X射线管球(2)、收纳X射线管球的壳体(3)、限制一...
  • 本发明涉及荧光X射线分析装置以及其测定位置调整方法。在荧光X射线分析装置以及其测定位置调整方法中,防止引导的光映入到决定样品的测定位置时的观察视野内。具备:样品台(2),能够设置样品S;样品移动机构(3),能够移动样品台;X射线源(4)...
  • 荧光X射线分析装置以及其样品显示方法
    本发明涉及荧光X射线分析装置以及其样品显示方法。具备:样品台(2),能够设置样品S;样品移动机构,能够移动样品台(2);X射线源,对样品照射一次X射线;检测器,检测从样品产生的荧光X射线;摄像部,对样品台上的样品进行摄像;显示器部(7)...
  • 本发明提供自动试样片制作装置,其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机,该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和...
  • 本发明提供一种三维微动装置,其利用在相比于移动体的微动相对不动的基体部或粗动部上固定的移动量检测单元直接检测固定有悬臂等移动体的固定部件的三维位置,由此能够简易且正确地测定固定部件以至移动体的位置。该三维微动装置(200A)具备:移动体...
  • 本发明涉及荧光X射线分析装置。提供一种能够简便地进行与测定通常的样品的情况相同的条件下的校正测定的荧光X射线分析装置。所述荧光X射线分析装置具备:X射线源;用于对将来自该X射线源的X射线作为一次X射线照射到样品的区域进行限制的照射区域限...
  • 本发明提供X射线分析用试样板以及荧光X射线分析装置,在荧光X射线分析中能够提高试样测定的作业性并且能够抑制差错的发生。该X射线分析用试样板(1),其固定有利用荧光X射线分析装置进行分析时的试样(S),该X射线分析用试样板具备试样和支承试...
  • 本发明提供ICP发光分光分析装置,其通过与所测定的波长相应的适当的会聚透镜位置将原子发光线的损耗限制到最小限。ICP发光分光分析装置(1)大致由感应耦合等离子产生部(10)、会聚部(20)、分光器(30)和控制部(50)构成。会聚部(2...
  • 公开了一种ICP发光分光分析装置。提供一种预先对光电倍增管施加电压以能够迅速地转移至主分析的ICP发光分光分析装置。ICP发光分光分析装置(1)由感应耦合等离子体发生部(10)、聚光部(20)、分光器(30)、检测器(40)以及控制部(...
  • 公开了一种ICP发光分光分析装置。提供了一种使用二维检测部且能够与出射光的成像形状相应地变更二维检测部所使用的像素来获得准确的强度的ICP发光分光分析装置。ICP发光分光分析装置(1)由感应耦合等离子体发生部(10)、聚光部(20)、分...
  • 本发明提供悬臂的振动特性测定方法以及悬臂的振动特性测定装置,不依据Q曲线的测定条件就能够高精度地测定扫描型探针显微镜的悬臂的振动特性即Q值。该悬臂的振动特性测定方法测定对扫描型探针显微镜(200)的悬臂(1)施加谐振频率f1(Hz)的振...
  • 本发明提供X射线透过检查装置,其能够降低装置的停机时间并能够实现X射线检测器的长寿命化。该X射线透过检查装置具备:X射线源(2),其相对于试样S照射X射线X;检测器(3),其相对于试样设置于X射线源的相反侧,并使用了对透过试样的X射线进...
  • 本发明提供X射线分析装置,在宽大的试样工作台中能够提高用于进行精密定位的操作性,其具备:试样台;X射线源,对试样照射一次X射线;检测器,检测从试样产生的二次X射线;位置调整机构,调整试样台与一次X射线的相对位置;观察机构,对试样台上的试...
  • 本发明涉及X射线分析装置。提供能以直接观察容易判别样品的高度位置相对于初级X射线的焦点位置是远还是近的判别而易于位置调整的X射线分析装置。具备:样品台,能设置样品;X射线源,对样品照射初级X射线;检测器,检测从被照射初级X射线的样品产生...
  • 公开了一种ICP发光分光分析装置。提供一种能够通过多个聚光部来除去存在于原子发光线周围的背景以谋求S/B比的提高的ICP发光分光分析装置。ICP发光分光分析装置(1)由感应耦合等离子体发生部(10)、聚光部(20)、分光器(30)以及控...