三维微动装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种三维微动装置，其利用在相比于移动体的微动相对不动的基体部或粗动部上固定的移动量检测单元直接检测固定有悬臂等移动体的固定部件的三维位置，由此能够简易且正确地测定固定部件以至移动体的位置。该三维微动装置(200A)具备：移动体(1)；固定部件(101)，所述移动体固定在该固定部件上；三维微动部(111)，所述固定部件固定在该三维微动部上，该三维微动部能够隔着该固定部件使移动体三维地微动；基体部(13)，三维微动部固定在该基体部上；以及移动量检测单元(130)，其固定于基体部来检测固定部件的移动量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有驱动工作台的机构的扫描型探针显微镜等三维微动装置。
技术介绍
扫描型探针显微镜使安装于悬臂前端的探针与试样表面接近或接触，测定试样的表面形状。作为扫描型探针显微镜的测定模式公知有:(1)使探针与试样之间的原子间力保持恒定以测定试样的表面形状的接触模式；(2)利用压电元件等使悬臂在共振频率附近进行强制振动，在使探针接近于试样时，利用探针的振幅经由两者之间的间歇性接触而衰减的情况来测定试样的形状的方法(以下，相应称为“动力模式(DFM测定模式)”)；(3)利用压电元件等使悬臂在共振频率附近进行强制振动，在使探针接近于试样时，利用探针的共振状态根据两者之间作用的力而发生变化的情况以测定试样的形状以及物性的方法(以下，相应称为“非接触模式(NC-AFM测定模式)”)。另外，扫描型探针显微镜具备由在xy(平面)方向上分别扫描试样的两个(2轴)微动机构(压电元件等)和在z (高度)方向上扫描试样的1个(1轴)微动机构(压电元件等)构成的微动部，例如在配置于微动部上的工作台的表面上载置试样。因为施加于压电元件的电压与压电元件的移位以某程度构成比例，所以可根据施加于压电元本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维微动装置，具备：移动体；固定部件，所述移动体固定在该固定部件上；三维微动部，所述固定部件固定在该三维微动部上，该三维微动部能够隔着该固定部件使所述移动体三维地微动；基体部，所述三维微动部固定在该基体部上；以及移动量检测单元，其固定于所述基体部，检测所述固定部件的移动量。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：繁野雅次，渡边和俊，渡边将史，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本;JP