提供X射线检查装置和X射线检查方法，即使是长条的片状的试样，也能一边进行强度校正一边连续进行检查。具备：X射线源；试样移动机构；X射线检测部，其具有线传感器，该线传感器利用像素检测透过了试样的X射线；图像存储部，其存储X射线强度；强度校正部，其进行由图像存储部存储的X射线强度的校正；缺陷检测部，其检测试样中有无缺陷，强度校正部将在试样中开始X射线的检测时的最初的检测开始区域中检测到的X射线强度，或将在开始X射线的检测前事先在试样中检测到的X射线强度作为基准强度，根据比较在检测开始区域之后检测到的X射线强度和基准强度而得到的校正系数，对在检测开始区域之后的区域中检测到的像素的X射线强度进行校正。正。正。
【技术实现步骤摘要】
X射线检查装置和X射线检查方法
[0001]本专利技术涉及能够检测试样中的异物等的X射线检查装置和X射线检查方法。
技术介绍
[0002]通常，为了检测片状的长条的试样(检查物)中的微小的金属等异物等而采用X射线透射检查，该X射线透射检查通过传送带或辊对辊方式等在X射线源与X射线检测器之间输送试样，并根据对试样照射X射线而取得的X射线透射像来判定异物的有无。
[0003]在这样的X射线透射检查中所采用的X射线检查装置中，由于连续地进行检查作业，因此，在装置的检查能力方面要求时间上的稳定性。然而，通常，X射线源的X射线强度和X射线检测器的灵敏度会伴随着时间经过而变动。此外，X射线检测器的元件由于X射线照射而检测强度劣化，此外，在X射线检测器的元件间也产生强度劣化的变动的偏差。此外，已知X射线源的X射线强度也随着温度上升而同样地变动。因此，存在这样的问题：在刚进行数据校正处理之后，全部元件本是相同的输出随着时间而输出偏移，整体的值降低、或者产生元件间的输出偏差，导致检查装置的检测能力降低。因此，需要屡次中断检查作业来进行校正操作。
[0004]在上述X射线检测器中所使用的线传感器和TDI(Time Delay Integration；时间延迟积分)传感器由于装置环境的变动(温度变动或荧光体的亮度变动等)而会对检测精度产生影响。为了确保该检测精度，需要定期地进行像素的X射线的强度校正。
[0005]例如，以往，在专利文献1中记载了如下方法：具有判断X射线是否被试样屏蔽的单元，通过使用没有试样的区间，从而在不中断检查作业的情况下进行校正操作。
[0006]此外，在专利文献2中，记载了如下方法：对于收纳产品的独立包装部和边界部交替地进行配置的试样，使用边界部的信号，在不中断检查作业的情况下进行校正。
[0007]在先技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1：日本特开2001-4560号公报
[0010]专利文献2：日本特开2014-134457号公报
[0011]在所述现有技术中存在以下课题。即，在通过辊对辊方式等来检查片状的试样的情况下，在设定期地在检查中途进行校正操作时，只能以到强度校正的间隔为止的长度稳定地进行检查，因此难以连续地进行数km～数十km的长条片的X射线异物检查。此外，强度校正必须在没有试样的状态下实施，而在片状的试样中，总是处于在X射线源与X射线检测器之间存在试样的状态，因此难以进行校正。
[0012]在上述现有的专利文献1、2中，虽然记载了在没有试样的区间中进行强度校正的方法以及使用边界部(不需要检查部分)的信号来进行强度校正的方法，但是在无法充分地取得没有试样的区间和边界部(较短)的情况下，存在无法正确地进行校正的情况。特别是，在上述长条的片状的试样的情况下，由于试样被不间断地连续地供给，因此难以应用专利文献1、2的技术。
技术实现思路
[0013]本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供X射线检查装置以及X射线检查方法，即使是辊对辊方式等那样的长条的片状的试样，也能够一边进行强度校正一边连续地进行检查。
[0014]为了解决所述课题，本专利技术采用以下结构。即，本专利技术的X射线检查装置的特征在于，具备：X射线源，其对试样照射X射线；试样移动机构，在照射来自所述X射线源的所述X射线时，该试样移动机构使所述试样向特定的方向移动；X射线检测部，其具有线传感器，该线传感器相对于所述试样设置在与所述X射线源相反的一侧，沿着与所述特定的方向垂直的方向排列有多个像素，利用所述像素检测透过了所述试样的所述X射线；图像存储部，其存储利用所述像素检测到的X射线强度；强度校正部，其进行由所述图像存储部存储的所述X射线强度的校正；以及缺陷检测部，其根据所述X射线强度来检测所述试样中有没有缺陷，所述强度校正部将在所述试样中开始所述X射线的检测时的最初的检测开始区域中检测到的所述X射线强度，或者将在开始所述X射线的检测之前事先在所述试样中检测到的所述X射线强度作为基准强度，根据通过比较在所述检测开始区域之后检测到的所述X射线强度和所述基准强度而得到的校正系数，对在所述检测开始区域之后的区域中检测到的所述像素的所述X射线强度进行校正。
[0015]在该X射线检查装置中，强度校正部将在试样S中的开始检测X射线时的最初的检测开始区域中检测到的X射线强度、或者在开始X射线的检测之前事先在试样中检测到的X射线强度作为基准强度，根据通过比较在检测开始区域之后检测到的X射线强度和基准强度而得到的校正系数，对在检测开始区域之后的区域中检测到的像素的X射线强度进行校正，因此，即使是长条的片状试样，也能够一边进行强度校正一边连续地进行检查。即，将尚未产生X射线检测部的温度变动等影响的检测开始区域的X射线强度、或者事先在试样中检测到的X射线强度设定为基准强度，根据该基准强度对之后得到的X射线强度进行校正，由此，在进行校正操作时，无需没有试样的区间和边界部，即使是长条的试样，也能够实时地连续长时间地进行检查。
[0016]第2专利技术的X射线检查装置的特征在于，在第1专利技术的基础上，当所述缺陷检测部检测到所述缺陷时，所述强度校正部根据如下的所述校正系数来进行在所述缺陷检测区域中检测到的所述X射线强度的校正，其中，所述校正系数是通过比较在所述试样的被检测到所述缺陷的区域即缺陷检测区域中检测到的所述X射线强度和在紧在所述缺陷检测区域之前的区域即缺陷临近区域中检测到的所述X射线强度而得到的。
[0017]即，在该X射线检查装置中，在缺陷检测部检测到缺陷时，强度校正部根据校正系数来进行在缺陷检测区域中检测到的强度的校正，所述校正系数是通过比较在试样的被检测到缺陷的区域即缺陷检测区域中检测到的X射线强度和在紧在缺陷检测区域之前的区域即缺陷临近区域中检测到的X射线强度而得到的，因此，能够避开异物等缺陷的部分，利用适当的校正系数来进行校正。当使用在缺陷的部分检测到的强度计算校正系数时，由于缺陷的缘故而导致X射线强度的变动过大，在缺陷检测区域中计算出的校正系数不恰当，因此，通过使用在临近缺陷检测区域的区域、即没有缺陷的缺陷临近区域中检测到的X射线强度来计算校正系数，从而对于缺陷检测区域，也能够适当地进行校正。
[0018]第3专利技术的X射线检查装置的特征在于，在第1或第2专利技术的基础上，所述缺陷检测
部根据所述校正系数的变动来判定所述缺陷的有无。
[0019]即，在该X射线检查装置中，由于缺陷检测部根据校正系数的变动来判定缺陷的有无，因此，由于存在异物等缺陷而使得校正系数突然大幅度地变动一定值以上，因此，能够容易地判定异物等缺陷的有无。
[0020]第4专利技术的X射线检查装置的特征在于，在第1至第3专利技术的任一专利技术的基础上，所述X射线检测部具备线传感器运算部，该线传感器运算部对沿着所述特定的方向的多个所述像素中的电荷的蓄积和传送进行控制，所述线传感器运算部将多个所述像素分成多个块，对每个所述块进行所述传送，所述强度校正部根据对每个所述块计算出的所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种X射线检查装置，其特征在于，所述X射线检查装置具备：X射线源，其对试样照射X射线；试样移动机构，在照射来自所述X射线源的所述X射线时，该试样移动机构使所述试样向特定的方向移动；X射线检测部，其具有线传感器，该线传感器相对于所述试样设置在与所述X射线源相反的一侧，沿着与所述特定的方向垂直的方向排列有多个像素，利用所述像素检测透过了所述试样的所述X射线；图像存储部，其存储利用所述像素检测到的X射线强度；强度校正部，其进行由所述图像存储部存储的所述X射线强度的校正；以及缺陷检测部，其根据所述X射线强度来检测所述试样中有没有缺陷，所述强度校正部将在所述试样中开始所述X射线的检测时的最初的检测开始区域中检测到的所述X射线强度、或者将在开始所述X射线的检测之前事先在所述试样中检测到的所述X射线强度作为基准强度，根据通过比较在所述检测开始区域之后检测到的所述X射线强度和所述基准强度而得到的校正系数，对在所述检测开始区域之后的区域中检测到的所述像素的所述X射线强度进行校正。2.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，当所述缺陷检测部检测到所述缺陷时，所述强度校正部根据如下的所述校正系数来进行在所述缺陷检测区域中检测到的所述X射线强度的校正，其中，所述校正系数是通过比较在所述试样的被检测到所述缺陷的区域即缺陷检测区域中检测到的所述X射线强度和在紧在所述缺陷检测区域之前的区域即缺陷临近区域中检测到的所述X射线强度而得到的。3.根据权利要求1或2所述的X射线检查装置，其特征在于，所述缺陷检测部根据所述校正系数的变动来判定所述缺陷的有无。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的X射线检查装置，其特征在于，所述X射线检测部具备线传感器运算部，该线传感器运算部对沿着所述特定的方向的多个所述像素中的电荷的蓄积和传送进行控制，所述线传感器运算部将多个所述像素分成多个块，对每个所述块进行所述传送，所述强度校正部根据对每个所述块计算出的所述X射线强度的平均值来进行所对应的所述块内的所述像素的所述校正。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的X射线检查装置，其特征在于，所述X射线检测部具备时间延迟积分传感器，该时间延迟积分传感器沿着所述特定的方向具有多列所述线传感器而使所述像素排列成矩阵状，该时间延迟积分传感器利用所述像素检测透过了所述试样的所述X射线。6.一种X射线检查方法，其特征在于，所述X射线检查方...
【专利技术属性】
技术研发人员：竹田明弘，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：
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