使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测方法技术
A three-dimensional shape measuring method using a scanning white interference microscope
The invention provides a three-dimensional shape measuring method, which uses a scanning white interference microscope. When we use the three dimensional shape measurement of the scanning white interference microscope, we can also calculate the surface of the object (specimen) with larger inclination angle. The three-dimensional shape measuring method is as follows: the envelope of interference signal acquisition from irradiation light source for measuring the object light, according to the envelope of the half width of the acquisition is observed apparent on the coherence length of the observed coherence length of LC ', according to the observation of coherent length of LC' to measure the tilt angle the surface of the object measured.
【技术实现步骤摘要】
使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测方法
本专利技术涉及通过使用了白色光源的干涉计测来进行三维形状计测的方法。
技术介绍
扫描型白色干涉显微镜是通过对试样照射白色光并将所获得的干涉信号转换为高度信息来进行三维计测的装置，根据所获得的干涉信号进行各种计算从而进行表面形状、高度、高地平面的差异、膜厚、表面粗糙度、同种材料/异种材料等的判定。例如，在专利文献1中记载了如下的方法：通过使扫描型白色干涉显微镜的参照面镜倾斜求出计测对象物的倾斜角。在专利文献2中记载了如下的方法：在存在薄膜的情况下，通过使用模板对扫描型白色干涉显微镜所获得的干涉图案彼此重叠而歪曲的现象进行峰分离(peakseparation)。专利文献1：国际公开第2014/185133号专利文献2：日本特开2011-221027号公报在使用了扫描型白色干涉显微镜的三维计测中，在比根据光线光学所赋予的物镜的数值孔径NA(numericalaperture)确定的角度靠内侧的计测中，表观上的相干长度未显著地变化。因此，至此，对这样的条件下的相干长度不必特别注意。但是，在超过数值孔径NA的高倾斜面计测中，所测...
【技术保护点】
一种三维形状计测方法，其是使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测方法，其中：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据所述包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据所述观测相干长度lc’对所述计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。
【技术特征摘要】
2016.09.06 JP 2016-1739951.一种三维形状计测方法，其是使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测方法，其中：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据所述包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据所述观测相干长度lc’对所述计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。2.根据权利要求1所述的三维形状计测方法，其中，所述观测相干长度lc’是由所述扫描型白色干涉显微镜的所述光源和波长滤光器确定的基本相干长度lc与作为所述基本相干长度lc根据所述倾斜角度延长的值的延长Δz之和。3.根据权利要求2所述的三维形状计测方法，其中，根据所述延长Δz和所述倾斜角度来计算所述计测对象...
【专利技术属性】
技术研发人员：小野田有吾，佐藤荣广，长谷川晶一，柳川香织，石桥清隆，加藤辉雄，中谷林太郎，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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