微分干涉相衬显微镜制造技术

微分干涉相衬显微镜的特征在于利用简易的光学玻璃三平面环路干涉系统实现微分干涉相衬，具有加工和装配方便等特点，可广泛用于医学、生物学、金相、半导体和玻璃工艺等方面对物体进行微分干涉相衬显微观察．（*该技术在2005年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本专利技术是一种显微镜，它利用微分干涉相衬技术对物体实现显微观察，可广泛应用于医学、生物学、金相学、半导体工艺和玻璃工艺等方面。实现显微微分干涉相衬观察，目前使用众多的是诺曼斯基(Nom -rski)稜镜方法，但其关键元件诺曼斯基稜镜的设计、加工和装配的难度都比较大，晶体材料要求高，故导致该种微分干涉相衬显微镜价格贵。本专利技术的目的是提供一种用自然光干涉且结构简便的微分干涉相衬显微镜。实现微分干涉相衬显微观察的基本条件是一、要求干涉系统横问剪切量和显微物镜的分辨本领相适应，等于或略小于显微物镜的分辨本领;二、两束相干光之间有一定的光程差。本专利技术的技术解决方案为在显微物镜和目镜之间插入一个普通光学玻璃制成的三平面环路干涉系统-由两块全反射平面和一块半透半反的平面适当配置而成。使靠该三平面环路干涉系统的一个全反射面相对于半透半反平面的移动来改变光程差和横向剪切量，以满足微分干涉相衬显微观察的要求。本专利技术实现微分干涉相衬较之诺曼斯基稜镜的优点是设计方便材料为普通光学玻璃，平面面形要求也不高，加工和装配简易，因比价格低廉，易于推广应用。附图说明图一是本专利技术的微分干涉相衬显微本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于有机物或无机物显微观察的微分干涉相衬显微镜，含有光源（１）、聚光镜（２）、光栏（３）、照明透镜（４）、载物台（５）、显微物镜（７）、目镜（１４）和实现微分干涉相衬的部件，其特征在于所说的微分干涉相衬部件是由两个全反射平面（９）、（１１）和一个半透半反平面（１０）组成的三平面环路干涉系统，光线进入该三平面环路干涉系统之前经过一场镜（８），以保证准平行光输入，在三平面环路干涉系统的输出光路上加一转象物镜（１２），将标本象成在目镜（１４）的观察平面（１３）上。

【技术特征摘要】
1.一种用于有机物或无机物显微观察的微分干涉相衬显微镜，含有光源(1)、聚光镜(2)、光栏(3)、照明透镜(4)、载物台(5)、显微物镜(7)、目镜(14)和实现微分干涉相衬的部件，其特征在于所说的微分干涉相衬部件是由两个全反射平面(9)、(11)和一个半透半反平面(10)组成的三平面环路干涉系统，光线进入该三平面环路干涉系统之前经过一场镜(8)，以保证准平行光输入，在三平面环路干涉系统的输出光路上加一转象物镜(12)，将标本象成在目镜(14)的观察平面(13)上。2.一种按照权利要求1所说的微分干涉相衬显微镜，其特征在于输入三平面环路干涉系统的光对于半透半反平面(10)的入射角以15°～30°为宜。3.一种按照权利要求1所说的微分干涉相衬显微镜，其特征在于有一个使平面(9)或平面(11)相对于半透半反平面(10)平动的机构(16)...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐毓光，王之江，戎中华，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]