【技术实现步骤摘要】
X射线透射检查装置
本专利技术涉及能够检测试样中的微小异物等并容易进行检查的校准(calibration)等调整的X射线透射检查装置。
技术介绍
一般情况下,为了检测试样中的微小金属等的异物等,使用通过对试样照射X射线而获取的X射线透射像进行检查的X射线透射检查。例如,近年来,在汽车、混合动力汽车或电动车等所采用的锂离子二次电池中,作为正极的电极在Al膜的两面形成有锰酸锂膜或钴酸锂膜。因此,当混入Fe或SUS等数十μm以上的异物时,可能发生短路而产生电池的烧毁或性能降低,在制造时,通过X射线透射检查来检测异物是否混入并将其去除。作为这种检测试样中的异物等的X射线透射检查装置,公知实施在线(in-line)检查时,对置配置X射线源和线传感器等X射线检测器以使得夹持向一个方向移动的试样。例如,在专利文献1中提出了通过利用TDI传感器而高灵敏度地检测微小异物的X射线异物检查装置。在该X射线异物检查装置中,使试样的移动速度和TDI传感器的电荷移动速度同步地进行异物的检测。专利文献1:日本特开2004-257884号公报在上述现有技术中残留有以下课题。即,在现有的X射线透射 ...
【技术保护点】
一种X射线透射检查装置,其特征在于,该X射线透射检查装置具有:X射线源,其对试样照射X射线;试样移动机构,其在来自所述X射线源的X射线的照射中使所述试样向特定方向连续移动;X射线检测器,其相对于所述试样设置在与所述X射线源相反的一侧,检测透射过所述试样的所述X射线;标准试样移动机构,其能够使设置于不同于所述试样的位置的标准试样移动;以及配置变更机构,其能够使所述X射线源和所述X射线检测器与所述试样和所述标准试样相对移动,能够将所述X射线源和所述X射线检测器从与所述试样对置的配置状态变更到与通过所述标准试样移动机构移动的所述标准试样对置的配置状态。
【技术特征摘要】
2016.08.24 JP 2016-1634371.一种X射线透射检查装置,其特征在于,该X射线透射检查装置具有:X射线源,其对试样照射X射线;试样移动机构,其在来自所述X射线源的X射线的照射中使所述试样向特定方向连续移动;X射线检测器,其相对于所述试样设置在与所述X射线源相反的一侧,检测透射过所述试样的所述X射线;标准试样移动机构,其能够使设置于不同于所述试样的位置的标准试样移动;以及配置变更机构,其能够使所述X射线源和所述X射线检测器与所述试样和所述标准试样相对移动,能够将所述X射线源和所述X射线检测器从与所述试样对置的配置状态变更到与通过所述标准试样移动机构移动的所述标准试样对置的配置状态。2.根据权利要求1所述的X射线透射检查装置,其特征在于,该X射线透射检查装置设置有多个由彼此对置的所述X射线源和所述X射线检测器构成的检查部,所述配置变更机构能够使多个所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:高原稔幸,
申请(专利权)人:日本株式会社日立高新技术科学,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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