本发明涉及一种铬靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括：在背板的焊接面依次进行设置铝镍层和设置螺纹，之后将背板和铬靶材进行热等静压焊接；所述铝镍层中铝元素和镍元素的摩尔比为1:(0.3

本实用新型提供了一种等静压成型用包套，所述等静压成型用包套包括包套盒与设置在所述包套盒开口处的盖板，所述包套盒的外径与所述盖板的直径相同，所述包套盒的侧壁设置有1个孔洞。本实用新型提供的等静压成型用包套仅需一次焊接，提升了焊接质量与生产...

本发明提供一种镍蒸发料的制备方法，所述制备方法包括依次进行的第一锻伸处理、第二锻伸处理、车削处理、第三锻伸处理、清洗处理以及研磨处理。所述制备方法减少了镍蒸发料的内部缺陷，同时提高镍蒸发料制备得到的镀膜的性能以及均匀性。以及均匀性。

本发明提供了一种铜靶材及其晶粒与硬度控制方法，所述晶粒与硬度控制方法是将铜铸件依次进行热锻处理、一次热处理、冷锻处理、二次热处理、一次静压处理、三次热处理及二次静压处理得到了铜靶材。所述晶粒与硬度控制方法将热锻和冷锻相结合，尤其改进了一...

本发明提供一种带水道的无氧铜背板的制备方法，所述制备方法包括：对坯料进行第一热退火处理，第一产品整形后进行粗铣处理得到底板；对坯料进行第二热退火处理，第二产品整形后进行第一精铣处理得到盖板；将所述底板以及所述盖板装配后进行焊接；第二精铣...

本实用新型提供一种Conmag靶材，所述Conmag靶材通过在圆环部的内环处采用弧形转角过渡，较现有技术采用尖角过渡而言，大大降低了反溅射层与阴极金属界面过渡处的应力集中系数，极大降低了反溅射层剥离的风险并避免了尖端放电的风险。了尖端放...

本发明提供一种大尺寸面板铝靶的制备方法，所述制备方法包括：对铝坯料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理以及精铣处理，得到铝靶；将所述铝靶与背板进行钎焊处理，并依次进行抛光处理以及喷砂处理，得到所述大尺寸面板铝靶。所...

本发明涉及一种钽

本发明提供一种铜蒸发料的制备方法，所述制备方法包括依次进行的第一锻伸处理、第二锻伸处理、车削处理、第三锻伸处理、热等静压处理以及研磨处理。所述制备方法减少了铜蒸发料的内部缺陷，增强防锈性能，同时提高铜蒸发料制备得到的镀膜的性能以及均匀性...

本发明提供一种高纯铝靶材的制备方法，所述制备方法包括对坯料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理、压延处理、第三热处理、喷砂处理以及镀镍处理。所述制备方法解决了铝靶材在内部组织以及焊接面表面结构对焊接效果的不良影响，...

本发明提供一种铜靶材及其制备方法，所述制备方法包括依次进行的切料、第一锻伸、第一热处理、第二锻伸、第二热处理、冷锻、第三热处理、压制、第四热处理与抛光；所述第一热处理与第二热处理的温度分别为290

本发明提供了一种抗变形无氧铜背板及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将铜锭预热后进行至少2次锻造，且锻造比为1

本实用新型提供了一种防止背板变形磨损的结构，所述结构包括靶材组件、连接环和缓冲件，所述靶材组件包括焊接固定的靶材和背板，所述连接环与背板焊接面的边缘连接，且两者之间留有空隙；所述背板的焊接面边缘设有凹槽，所述凹槽呈两级阶梯状，包括一级凹...

本实用新型涉及一种安装环件的辅助治具，所述安装环件的辅助治具包括中心环、顶持件和卡件；所述顶持件为凸型结构包括凸端和底端，所述凸端的顶部和所述中心环的侧面连接，所述底端的底面与环件内侧面相接触；所述卡件为U型结构，所述U型结构的长端的外...

本实用新型涉及一种钽环凸起的防护罩，所述钽环凸起的防护罩表面设置有花纹；所述钽环凸起的防护罩包括空心半球部和所述空心半球部底面相连接的空心圆柱部；所述空心半球部和所述空心圆柱部的中心线相重合；所述空心半球部的空心包括依次设置的第一空心和...

本实用新型涉及一种晶圆制备用密封盘体，为空心圆环结构，表面设置5

本实用新型提供了一种靶材组件的改进结构，所述改进结构包括焊接固定的靶材和背板，所述靶材的厚度相比改进前靶材的厚度增加30～60％，所述靶材的侧面形成倒角，靶材溅射面的尺寸小于靶材焊接面的尺寸，所述靶材溅射面的边缘区域和靠近溅射面一侧的部...

本实用新型提供了一种用于铝及铝合金熔体净化的过滤箱，包括箱体，在所述箱体中设有底部相连通的进液腔和出液腔，所述过滤箱的进口设置在所述进液腔的上部，所述过滤箱的出口设置在所述出液腔的上部，在所述出液腔内安装第一过滤板，在所述出液腔的底部设...

本实用新型提供一种磁控溅射环的焊接结构，所述焊接结构通过设置能够相互铆接的第一凹槽和第一凸起，以及第二凹槽和第二凸起，不仅提高了焊接面积，而且在焊接过程中提供牢固的铆接结构，有效解决了焊接后车削过程中开环的问题，采用本实用新型的焊接结构...

本实用新型提供了一种用于靶材钻孔的复合夹具，所述复合夹具包括基板以及固定于所述基板之上的自定心三爪、液压压块、内圈支撑柱和外圈支撑柱；所述自定心三爪包括环形圆台以及径向固定于所述环形圆台上的支撑臂；所述支撑臂远离所述环形圆台的末端设置有...