本实用新型提供了一种用于工件清洗的装夹组件，所述装夹组件包括K型夹块和导轨，所述K型夹块置于导轨上沿导轨移动；所述K型夹块的侧面设有V型凹槽，所述V型凹槽的开口端朝向外侧，所述V型凹槽前后贯通K型夹块，所述V型凹槽的侧面与工件接触，每个...

本发明涉及一种靶材二维码的激光标刻方法，包括如下步骤：(1)选择靶材表面上二维码的标印位置，根据所述靶材的颜色A，选用第一激光束标刻形成具有颜色B的底色区域；(2)在步骤(1)所述底色区域上，选用第二激光束标刻形成具有颜色C的排码区域，...

本发明涉及一种碳化硅碳靶材组件焊接结合率的检测方法，所述检测方法包括：将碳化硅碳靶材组件置于液槽中，之后采用超声探头向所述碳化硅碳靶材组件的背板表面发射超声波并接收回波的强度，将所得回波的强度图转化为黑白色度图，计算所述黑白色度图中对应...

本发明提供了一种减少铜靶材预溅射时间的方法，所述方法包括以下步骤：对铜靶材的溅射面依次进行机械加工、一次抛光和二次抛光，所述二次抛光后进行预溅射；所述二次抛光为研磨抛光；所述研磨抛光所用的研磨液包括氧化铝研磨液和/或SiO2研磨液；所述...

本发明提供了一种铝包套脱气管的闭气方法，所述的闭气方法包括：采用液压装置压扁脱气管的部分管段后，将压扁管段进行切割并密封管段切断处的一端。在本发明中，将铝包套脱气管的闭气方式由用榔头把铝管敲扁改为用液压钳压扁铝管，防止因敲击振动导致脱气...

本发明提供了一种铌靶材与铜背板的钎焊方法，包括：在铌靶材的焊接面依次进行喷砂预处理和化学镀镍，随后采用钎料分别浸润铌靶材与铜背板，再对浸润处理后的铌靶材的焊接面与铜背板进行焊接。本发明实现了铌靶材与铜背板的焊接，仅在铌靶材表面进行喷砂和...

本发明提供了一种环件凸台的检具及其检测方法与用途，所述的环件凸台的检具包括底座和模具、所述的模具包括上模组件和下模组件，所述的下模组件固定于底座表面，将环件凸台置于所述上模组件内，再将上模组件与下模组件扣合，当上模组件完全覆盖下模组件，...

本实用新型提供一种制备辉光放电检测样品的模具，所述模具包括顶座和底座，顶座和底座相互契合，顶座四角处设置有第一螺孔，底座四角处设置有第二螺孔，第一螺孔和第二螺孔相互契合，顶座中部设置有通孔；所述模具制备样品过程简单，解决粉末压制发生溢料...

本发明提供了一种半导体溅射环防护件及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：将坯料进行冲压成型，得到带有凹槽的圆柱形结构件；将圆柱形结构件的凹槽进行铣削，然后在底面上铣削出圆孔，形成贯穿结构件；将贯穿结构件的外表面进行滚花，得到半导体溅射...

本发明提供了一种铝合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括：按照靶材的元素比例进行金属单质粉末的混合，将混合后的粉末装入包套中进行冷压成型；然后将包套进行焊接、脱气；将脱气后的包套进行一次热等静压处理，得到成型靶坯；将成型靶坯进行真空热处...

本发明提供了一种多边形靶材及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：将靶材的焊接面车削螺纹，并在背板的焊接面上车削焊接凹槽；将处理后的靶材和背板装配后进行热等静压焊接，得到焊接组件；在焊接组件的背板背面车削凹槽，然后依次对焊接组件进行外圆...

本发明提供了一种靶材组件及使用方法，所述的靶材组件包括由下至上依次固定连接的上板、下板和靶材，所述上板和/或下板上设置有循环水道。在本发明中，下板设置了循环水道为产品溅射时降温提供了保证，又减轻了产品自重，螺纹孔为使用时的定位安装孔，结...

本发明提供了一种钨靶材组件及其表面加工方法，所述加工方法包括如下步骤：对钨靶材的溅射面依次进行粗磨和精磨，然后对精磨后的钨靶材溅射面进行抛光；所述加工方法将两种打磨工艺相结合，避免了使用刀具进行车削时引起的卡屑、崩角等问题，提高了加工的...

本实用新型提供一种磁控溅射部件，所述磁控溅射部件表面设置有花纹区域；所述花纹区域内花纹的粗糙度Ra为6～10μm；在所述花纹区域表面设置有熔射层；所述熔射层的厚度小于所述花纹的深度。所述磁控溅射部件花纹区域与熔射层结合牢固，且磁控溅射部...

本实用新型提供了一种靶材环件校正装置，所述校正装置包括校正基座、校正夹具和施压组件，所述校正夹具竖直放置于校正基座上；待校正靶材环件由第一固定组件固定于校正夹具的一侧表面，所述靶材环件和校正夹具的中心轴重合，所述靶材环件外壁上设有凸起；...

本发明提供一种降低铝靶材晶粒度的方法，所述方法包括以下步骤：对坯料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第三锻伸处理、第二热处理、第一压延处理、第二压延处理以及第三热处理后得到半成品铝靶材；对所述半成品铝靶材与背板装配后依次进...

本实用新型提供了一种组装型方板刻字防错检具，所述组装型方板刻字防错检具为具有镂空结构的方框；所述镂空结构与待测方板的外形相适应；所述方框的表面设置有刻字防错区。采用本实用新型提供的检具用于防止组装型方板刻字边错误现象，提升了生产效率和产...

本实用新型涉及一种靶材夹具，所述靶材夹具包括基体和设置于基体上的卡齿；所述基体由至少3个圆心角相同的扇形块组成；所述卡齿由与所述扇形块相配合的弧形段组成；所述扇形块上设置有与所述弧形段相配合的凹槽；所述弧形段的下端面设置有凸起，所述凸起...

本实用新型提供了一种蜗壳式水冷盘，所述蜗壳式水冷盘包括水冷盘主体以及与水冷盘主体配套的盖板，所述水冷盘主体与盖板分别独立地为蜗壳状；所述水冷盘主体包括蜗壳入口与蜗壳主体；所述蜗壳入口处设置有水道入口与水道出口；所述蜗壳主体内设置有盘绕设...

本发明提供了一种锗靶钎焊焊接方法以及焊接结构，所述锗靶钎焊焊接方法包括：对锗靶和背板进行加热，在锗靶和背板的焊接面上均放置焊料并熔化，熔化后依次对焊接面进行刷磨处理和超声浸润处理，超声浸润处理后，在锗靶的焊接面上放置引线，并与背板的焊接...