一种铝包套脱气管的闭气方法技术

本发明专利技术提供了一种铝包套脱气管的闭气方法，所述的闭气方法包括：采用液压装置压扁脱气管的部分管段后，将压扁管段进行切割并密封管段切断处的一端。在本发明专利技术中，将铝包套脱气管的闭气方式由用榔头把铝管敲扁改为用液压钳压扁铝管，防止因敲击振动导致脱气管连接的球形阀漏气，进而导致包套进气产生鼓包的现象，提高了生产效率并减轻了劳动强度，具有较高的安全性、稳定性及可靠性。稳定性及可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种铝包套脱气管的闭气方法


[0001]本专利技术属于溅射靶材
，涉及脱气管的闭气方法，尤其涉及一种铝包套脱气管的闭气方法。

技术介绍

[0002]大规模集成电路使用溅射靶材进行真空溅镀。用粉末冶金的方法制作溅射靶材时，粉末等静压成型时容易发生氧化现象，需将粉末装入包套内，经过脱气处理，再将包套密封，然后放入等静压炉中进行致密化；溅射靶材与背板在进行扩散焊接时，也需要先制作相应包套来防止氧化，经过脱气处理，再将包套密封，然后放入等静压炉中进行焊接。
[0003]CN102554571B公开了一种脱气管的密封方法，所述脱气管的第一端连接真空设备，第二端连接真空包套；在加热环境中进行抽真空处理后，执行所述密封方法；所述密封方法包括：将所述脱气管的第一端脱离真空设备；对所述脱气管的第一端进行热处理，所述热处理温度为900℃～1100℃；对热处理后的所述第一端进行多次夹扁处理，形成多个夹扁处；对离所述真空包套最远的夹扁处进行夹断处理。该专利技术提供的脱气管密封方法，可以解决真空包套内的真空度不能维持以及在后续的包套冷却、储运过程中出现缝隙和漏气现象的技术问题，并且具有工艺简单、操作方便，密封效果好的优点。
[0004]CN103962798B公开了一种管的密封方法，在将金属制的管部件压瘪而形成密封部分时，能够对包含密封部分的两端部的整个密封部分进行压瘪，能够仅由压瘪得到的密封部分来确保高的密封性。在压紧模下降而压紧模的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离为管部件的壁厚t的2倍亦即2t的位置，下承接金属模的承接部的底部具备延伸设置部，该延伸设置部在管部件的压瘪得到的密封部分的剖视图中比两端部更向上方延伸设置。
[0005]CN102513797B公开了一种脱气管的密封方法，所述密封方法包括：所述脱气管的第一端连接真空设备，第二端连接真空包套；在加热环境中进行抽真空处理后，执行所述密封方法；将所述脱气管的第一端脱离真空设备；对所述脱气管的第一端进行冷却处理；对冷却处理后的所述脱气管的第一端进行压扁处理，形成压扁区；对所述压扁区进行截断处理。该专利技术提供的脱气管密封方法可以解决真空包套内的真空度不能维持以及在后续的包套冷却、储运过程中出现缝隙和漏气现象等技术问题，并且具有工艺简单、操作方便、密封效果好的优点。
[0006]为实现脱气功能，包套需与真空设备进行连接，一般所采用的方法是在包套上打孔，并在打孔处焊接一根脱气管，脱气管再通过法兰与真空设备进行连接。待脱气完成后，将脱气管做闭气处理，所述闭气处理是将脱气管进行密封。而现有技术中，对脱气管的密封处理工艺涉及较少，因此，如何将脱气管进行密封处理成为目前亟待解决的问题之一。

技术实现思路

[0007]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种铝包套脱气管的闭气方
法，在本专利技术中，将铝包套脱气管的闭气方式由用榔头把铝管敲扁改为用液压钳压扁铝管，防止因敲击振动导致脱气管连接的球形阀漏气，进而导致包套进气产生鼓包的现象，提高了生产效率并减轻了劳动强度，具有较高的安全性、稳定性及可靠性。
[0008]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0009]本专利技术提供了一种铝包套脱气管的闭气方法，所述的闭气方法包括：
[0010]采用液压装置压扁脱气管的部分管段后，将压扁管段进行切割并密封管段切断处的一端。
[0011]在本专利技术中，将铝包套脱气管的闭气方式由用榔头把铝管敲扁改为用液压钳压扁铝管，防止因敲击振动导致脱气管连接的球形阀漏气，进而导致包套进气产生鼓包的现象，提高了生产效率并减轻了劳动强度，具有较高的安全性、稳定性及可靠性。
[0012]作为本专利技术一种优选的技术方案，所述的液压装置为液压钳。
[0013]需要说明的是，本专利技术对液压装置的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，液压装置在本专利技术中的作用是轻松压扁铝管，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的液压装置均可用于本专利技术中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对液压装置的尺寸、形状和材质进行适应性调整。
[0014]作为本专利技术一种优选的技术方案，所述的切割过程采用大力钳。
[0015]需要说明的是，本专利技术对切割装置的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，切割装置在本专利技术中的作用是切割压扁铝管形成各管段，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的切割装置均可用于本专利技术中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对切割装置的尺寸、形状和材质进行适应性调整。
[0016]作为本专利技术一种优选的技术方案，所述脱气管的材质为铝。
[0017]需要说明的是，本专利技术对脱气管的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，脱气管在本专利技术中的作用是连接包套，且为包套的密封做准备，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的脱气管均可用于本专利技术中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对脱气管的尺寸、形状和材质进行适应性调整。
[0018]作为本专利技术一种优选的技术方案，所述脱气管的一端连接真空设备，另一端连接包套。
[0019]作为本专利技术一种优选的技术方案，所述包套的材质为铝。
[0020]作为本专利技术一种优选的技术方案，所述脱气管被压扁的段数包括至少一段。
[0021]优选地，所述脱气管被压扁的段数为4～6段，例如可以是4段、5段、6段，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0022]作为本专利技术一种优选的技术方案，所述脱气管每个压扁处中心之间的距离为8～18mm，例如可以是8mm、9mm、10mm、11mm、12mm、13mm、14mm、 15mm、16mm、17mm、18mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0023]作为本专利技术一种优选的技术方案，所述脱气管每个压扁处厚度为1～2mm，例如可以是1.1mm、1.2mm、1.3mm、1.4mm、1.5mm、1.6mm、1.7mm、1.8mm、 1.9mm、2.0mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0024]作为本专利技术一种优选的技术方案，所述脱气管切断处一端的密封方式为焊接。
[0025]需要说明的是，本专利技术对密封方式不作具体要求和特殊限定，密封方式采用焊接，
是因为在本专利技术中的使得脱气管切断处的一端形成密封环境，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的密封方式均可用于本专利技术中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对密封方式进行适应性调整。
[0026]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
[0027]在本专利技术中，将铝包套脱气管的闭气方式由用榔头把铝管敲扁改为用液压钳压扁铝管，防止因敲击振动导致脱气管连接的球形阀漏气，进而导致包套进气产生鼓包的现象，提高了生产效率并减轻了劳动强度，具有较高的安全性、稳定性及可靠性。
具体实施方式
[0028]需要说明的是，在本专利技术的描本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铝包套脱气管的闭气方法，其特征在于，所述的闭气方法包括：采用液压装置压扁脱气管的部分管段后，将压扁管段进行切割并密封管段切断处的一端。2.根据权利要求1所述的闭气方法，其特征在于，所述的液压装置为液压钳。3.根据权利要求1或2所述的闭气方法，其特征在于，所述的切割过程采用大力钳。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的闭气方法，其特征在于，所述脱气管的材质为铝。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的闭气方法，其特征在于，所述脱气管的一端连接真空设备，另一端连接包套。6.根据权利要求1
‑
5任一项所述的闭气方...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，寿奉粮，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：