本发明提供了一种硅靶材的机械加工方法，所述硅靶材的机械加工方法包括如下步骤：(1)按照目标靶材的形状，对硅靶材进行第一次磨削处理，得到粗加工硅靶材；(2)对步骤(1)所得粗加工硅靶材进行第二次磨削处理，得到表面光滑的硅靶材；步骤(1)所...

本实用新型提供了一种金属靶材焊接结构，所述金属靶材焊接结构包括靶材与背板；所述背板的焊接面设置有定位凹槽，所述定位凹槽内设置有焊料槽；所述靶材的焊接面与侧面分别独立地设置有镍层，所述靶材的侧面镍层高度不超过定位凹槽的深度。本实用新型通过...

本发明提供一种改善铝靶材边缘开裂的方法，所述方法为将铝靶材加工中的静压处理替换为锻伸处理。所述方法可以有效解决铝靶材加工过程中的边缘裂纹问题，提高了产品质量同时，增加了铝靶材加工的合格率。增加了铝靶材加工的合格率。

本实用新型提供了一种靶材组件尺寸检测夹具，所述检测夹具的主体结构为设有凹槽的平板，所述凹槽由中部圆形凹槽以及分别设置于所述中部圆形凹槽径向两端的两个延伸槽构成，所述中部圆形凹槽与延伸槽重合的部分直接连通，构成一个凹槽整体；所述靶材组件中...

本发明提供一种晶圆防护罩的制备方法，所述制备方法包括：将铝坯料铣削成环状，并进行预车削处理；在200～250℃下进行热处理去除内部应力；进行精密车削处理以及钻孔处理；在所述晶圆防护罩侧壁底部钻孔得到侧孔和/或腰型槽；对所述晶圆防护罩进行...

本发明提供一种简易冷却臂的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：对盖板以及主板分别独立地依次进行机加工、抛光、第一清洗以及干燥后，进行装配并焊接，得到冷却臂粗品；对所述冷却臂粗品进行检测后，对所述冷却臂粗品进水口以及出水口进行研磨；对所述...

本发明提供一种辉光放电质谱仲钨酸铵粉末的制样方法以及测试方法，所述方法包括：在高纯铟片表面开设凹槽，对所述铟片进行清洗后，使用清洗后的药匙将仲钨酸铵粉末转移至所述凹槽中，使用压力机进行压实后得到待测样品。所述制样方法可以充分避免杂质的引...

本发明提供一种改善钛防着板变形的方法，所述方法包括：对防着板坯料依次进行第一热退火处理，粗铣处理，第二热退火处理，精铣处理以及抛光处理。所述方法可以减小加工过程中钛防着板的变形问题，提高钛防着板的平面度。提高钛防着板的平面度。

本实用新型涉及一种金属管折弯装置，所述金属管折弯装置包括固定件、折弯件、转动件、第一定位件和第二定位件；所述固定件和转动件配合安装；所述固定件为U型槽结构；所述固定件的U型槽的侧面设置有用于第一定位件安装的第一定位孔；所述转动件为U型槽...

本实用新型提供了一种具有防脱落结构的靶材组件，所述具有防脱落结构的靶材组件包括层叠设置的靶材与背板；所述靶材的溅射面边缘设置有第一防脱落区；所述背板的侧面设置有第二防脱落区；所述背板的上表面边缘设置有第三防脱落区与密封槽，所述第三防脱落...

本发明提供了一种靶材粗糙度的监测方法，所述监测方法包括如下步骤：(1)圆形靶材的溅射面均分为至少4个扇形区域；(2)分别对每个扇形区域的熔射区域进行测量，记录每个扇形区域的Ra与Rz值；(3)步骤(2)测量数值与预设值进行对比，当至少1...

本发明提供了一种管状靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：准备不锈钢内管和不锈钢外管，对所述不锈钢内管的外表面进行车螺纹加工，对所述不锈钢外管的内表面进行喷砂处理；将得到的加工后的不锈钢内管和不锈钢外管同轴焊接于第一不锈钢盖板上，...

本实用新型提供一种半导体自动抛光夹具，所述自动抛光夹具包括底座以及垂直于所述底座设置的至少三个固定组件，所述固定组件包括固定块以及支撑柱，所述固定块与所述支撑柱滑动连接，所述固定组件通过支撑柱与所述底座滑动连接。所述自动抛光夹具具有高兼...

本发明提供一种大尺寸面板钼靶的制备方法，所述制备方法包括：对靶材以及背板进行粗铣处理以及精铣处理；将所述靶材以及背板进行钎焊；所述钎焊后依次进行校正处理、烘干、抛光以及喷砂处理。所述制备方法可以提高钼靶与本背板的结合率，提高产品的合格率...

本发明提供了一种HCM机台用靶材电子束焊接成型的方法，所述方法包括：将原材料机加工形成锅型的靶材主体，所述靶材主体开口处的端面加工成斜面，并将法兰的一个端面也加工成斜面；将靶材主体和法兰的斜面接触装配后固定到工装夹具内；启动电子束焊接设...

本发明提供了一种Quantum系列靶材的机械加工方法，所述Quantum系列靶材的机械加工方法包括如下步骤：(1)采用立铣刀对Quantum系列靶材的侧面进行切削处理，得到第一靶材；(2)采用数控机床对步骤(1)得到的第一靶材的斜面进行...

本实用新型提供了一种光刻机反应腔的内衬，所述光刻机反应腔的内衬包括层叠设置的圆筒状本体与圆环状底座；所述圆筒状本体的侧壁设置有晶圆片传送口；所述圆环状底座的侧壁围绕圆周设置有至少1排贯通孔。所述内衬的结构合理且尺寸适配，加快了光刻机反应...

本发明提供了一种具有内部环形通道的冷却盘体及其制备方法，所述冷却盘体包括主板和盖板，所述主板上均匀设有环形凹槽，所述盖板与主板配套使用，覆盖于主板上的环形凹槽一侧，所述环形凹槽构成冷却盘体的内部环形通道；所述冷却盘体整体呈蜗壳状，包括蜗...

本发明提供一种钨靶材与铜背板的扩散焊接方法，所述扩散焊接方法包括以下步骤：对钨靶材焊接面依次进行精磨以及PVD镀膜，非焊接面进行抛光处理；对铜背板的焊接面进行PVD镀膜；将所述钨靶材、所述焊接面以及中间层进行装配，并依次进行包套焊接以及...

本发明提供一种对高纯钛进行微粒计数的制样方法，所述制样方法包括预处理高纯钛；混合预处理后的高纯钛与腐蚀溶液，进行分散，得到待测溶液；所述腐蚀溶液包括混合酸；所述混合酸包括硝酸和氢氟酸；所述腐蚀溶液中还包括纯水；所述腐蚀溶液中混合酸和纯水...