本实用新型提供了一种靶材环件安装结构，所述安装结构包括环件本体、环件本体配件、内配合组件、外配合组件、固定件和溅射设备配件，所述溅射设备配件环绕设置于环件本体的外侧，其上设有通孔；内配合组件一端与环件本体配件接触，另一端呈凹陷结构，外配...

本发明提供了一种铝钪合金靶材的扩散焊接方法，所述扩散焊接方法包括：将背板的焊接面进行车削螺纹处理，然后将铝钪合金靶材和背板装配后放入包套内；将包套封口后进行脱气处理；将脱气后的包套进行热等静压焊接，冷却后得到焊接后的靶材组件。本发明所述...

本发明提供了一种铝钪合金靶材的钎焊方法，所述钎焊方法包括以下步骤：将铝钪合金靶材和背板进行加热，再将钎料置于铝钪合金靶材和背板的焊接面上，待钎料熔化后对焊接面进行超声波浸润；浸润完成后，在背板焊接面上放置金属丝，再将铝钪合金靶材扣合到背...

本发明提供一种化学机械研磨抛光垫整修器及其制备方法，所述抛光垫整修器包括基底以及连接于所述基底表面的至少一个修整磨粒，所述修整磨粒为所述基底材料直接加工得到。所述抛光垫整修器硬度高、耐磨、耐腐蚀，且研磨面凸起的磨粒可以通过加工工艺有效控...

本发明提供一种半导体用硅靶材的制作方法，所述制作方法包括：对所述硅靶材的焊接面进行镀镍处理以及焊接铜丝处理；将所述靶材置于加热平台，0.4～0.5MPa加压条件下使焊料充分浸润焊接面；将所述硅靶材与背板扣合进行钎焊，冷却后完成制作。所述...

本发明提供一种用于晶圆防护的移动罩及其制备方法，所述移动罩包括底部以及外延部，所述底部与外延部通过侧壁相连，所述底部内侧设置有第一台阶以及第二台阶，所述第二台阶外侧设置有第三台阶以及第四台阶，所述第二台阶外侧设置有固定孔，所述第二台阶、...

本发明涉及一种钼钛合金靶坯的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将钼粉进行在保护气氛下第一保温处理，之后和钛粉进行混合，得到混粉；(2)将步骤(1)得到的混粉依次进行冷等静压处理、包套处理、脱气处理、热等静压及第二保温处理，得到所...

本发明提供一种半成品靶材背板的管理方法，所述方法包括：对所述半成品靶材背板的导电率进行测试，并与检移票的成分进行比较；比较正确后将产品编号刻于所述半成品靶材背板；对所述半成品靶材背板依次进行清洗、干燥以及包装。所述管理方法可以避免生产过...

本发明提供一种化学机械研磨抛光垫整修器及其制备方法，所述抛光垫整修器包括基座，所述基座设置有至少一个凹槽，所述凹槽内部设置有研磨区块，所述研磨区块外表面设置有凸起磨粒，所述区块的厚度不小于所述凹槽的深度。所述整修器通过研磨区块和基座的组...

本实用新型提供了一种防止反溅射物剥落的靶材组件，所述防止反溅射物剥落的靶材组件包括背板与靶材，所述背板的中心处向上突起形成凸台，所述凸台的上表面与所述靶材的焊接面相连接，所述凸台的纵截面呈现上粗下细的梯形，所述凸台的侧面与所述背板的边缘...

本发明提供了一种靶材组件及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：将靶材和背板结合后进行机加工，得到初级靶材组件；将初级靶材组件中靶材的溅射面边缘和部分靶材侧面区域进行滚花处理，对靶材侧面的剩余区域和部分背板区域进行喷砂处理，得到靶材组件...

本实用新型提供了一种用于环形件氧化的阴极结构，所述阴极结构包括阴极板和辅助阴极，所述阴极板有两个，平行设置于环形件的两端，所述阴极板与相应的环形件端面的距离相等，所述辅助阴极贯穿设置于环形件腔体内，不与环形件内壁接触，所述辅助阴极的中心...

本发明提供一种钽靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)装填并压实钽粉，经过冷等静压处理，得到钽生坯；(2)将步骤(1)所得钽生坯进行第一脱气处理，经过700‑1300℃的第一热等静压处理，得到第一钽坯料；(3)将步骤(2)所...

本实用新型提供一种包装夹具，所述包装夹具包括环形体部，以及与所述环形体部径向外侧相连的环形周部；所述环形周部的一端与所述环形体部相连；所述环形体部的外径以及环形周部的外径与待包装件中圆形凹槽直径相匹配；所述上圆形端面的宽度为环形体部外径...

本发明提供了一种AlSc溅射靶材EBSD样品的制样方法，所述制样方法包括如下步骤：(1)线切割AlSc溅射靶材，得到溅射靶材块；(2)对步骤(1)所得溅射靶材块的表面进行至少3次机械研磨，得到机械研磨块；(3)步骤(2)所得机械研磨块进...

本实用新型提供了一种靶材钎焊辅助装置，所述辅助装置包括基座和圆柱形组件，所述基座的边缘处设有圆弧形凹槽，所述圆柱形组件嵌入圆弧形凹槽内；所述辅助装置固定于背板边缘的台阶处，所述圆柱形组件与背板的侧面相切，相切形成的切线位于靶材与背板之间...

本实用新型涉及一种环件中的凸起构件及包括其的钽环，所述凸起构件的顶部设有凹槽；所述凹槽的中心线处设有凸台；所述凸台的中心线处设置有螺纹孔；所述凸台的高度大于所述凹槽的深度；所述凸台的高度与所述凹槽的深度的差值≥3mm。本实用新型中，通过...

本发明涉及一种钨镍粉末的辉光放电质谱检测方法，所述检测方法包括如下步骤：(1)将钨镍粉末置于铟片的样品坑内填平并加压，得到待测样品；(2)将步骤(1)得到的待测样品放入辉光放电质谱仪内的样品室中并用样品夹具固定，经离子源抽真空并被推入放...

本发明提供一种检测SiAl合金成分的方法，所述方法包括加热混合酸，再与SiAl合金混合，得到混合溶液，放置于电感耦合等离子体发射光谱仪中进行检测；所述混合酸包括体积比为(1.8～2.2):1的氢氟酸与硝酸；所述氢氟酸的浓度为38～42w...

本发明提供一种辉光放电质谱中五氧化三钛晶体颗粒的制样方法及测试方法，所述制样方法包括如下步骤：(1)铟片依次经酸洗、第一水洗、第一乙醇洗和第一干燥，得到处理后铟片；(2)五氧化三钛晶体颗粒依次经第二乙醇洗、第二水洗、第三乙醇洗和第二干燥...