宁波江丰电子材料股份有限公司专利技术

宁波江丰电子材料股份有限公司共有1691项专利

  • 本发明提供了一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:将铝或铝合金靶材坯料依次进行锻伸、一次热处理、锻造、二次热处理、轧制以及三次热处理,得到高纯铝或铝合金靶材;所述轧制的道次为3~5次;所述轧制的压降量随道次递减;...
  • 本发明涉及一种太阳能钼靶坯及其制备方法和用途,所述制备方法包括依次进行的高纯钼粉筛分和装模、冷等静压、烧结、热轧、退火,制备得到太阳能钼靶坯;其中,所述烧结在氢气气氛下进行,且所述烧结的目标温度为1800‑2100℃。本发明所述制备方法...
  • 本发明提供一种铜靶材及其制备方法和用途,所述铜靶材中晶粒尺寸≤10μm,所述铜靶材中晶粒取向为{110}的晶粒占比为50~70%,应用于集成电路的溅射成膜中,能够保证铜靶材在溅射过程中性能稳定,在集成电路上形成均匀的薄膜,满足7nm工艺...
  • 本发明涉及一种不锈钢刚性环的研磨方法,所述研磨方法包括:对不锈钢刚性环依次进行粗磨加工以及精磨加工,完成对所述不锈钢刚性环的研磨。本发明所述研磨方法不仅可以提高不锈钢刚性环平面度,满足平面度≤0.01mm的高质量要求,还可以增加保持环研...
  • 本发明提供一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途,所述处理方法包括采用第一刀具对钛靶材进行第一车削,得到粗处理钛靶材;采用材质为金刚石的第二刀具对所述初处理钛靶材进行第二车削,得到精处理钛靶材;对所述精处理钛靶材进行抛光处理,得到处理...
  • 本发明提供一种Ti环零件的加工方法,所述加工方法包括:对Ti原料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理、热轧处理、校平处理、第三热处理、机加工处理、第四热处理后得到所述Ti环零件。所述加工方法对Ti环零件的加工方法进...
  • 本发明提供了一种聚焦环件配件加工装置及其使用方法,所述加工装置包括CNC四轴加工中心与夹具工装;所述夹具工装安装在所述CNC四轴加工中心的加工位上;所述夹具工装包括夹持模块和夹持配件;所述夹持模块包括夹持头与夹持臂;所述夹持头的夹持端的...
  • 本发明提供一种镍靶材与铝合金背板的扩散焊接方法,所述扩散焊接方法包括:对所述镍靶材的焊接面极性螺纹加工,所述螺纹的尺寸为(0.4~0.5)*(0.1~0.2)mm;将所述镍靶材与背板进行装配,依次进行包套焊接以及热等静压焊接得到产品。所...
  • 本发明涉及一种钛靶材溅射面的处理方法,包括依次进行的砂纸处理、百洁布处理和羊毛轮处理;砂纸处理包括依次进行的320#砂纸处理和600#砂纸处理;百洁布处理包括依次进行的1200#百洁布处理和2000#百洁布处理;羊毛轮处理包括依次进行的...
  • 本发明提供了一种辉光放电质谱中钼屑的制样方法,所述制样方法包括如下步骤:将待测钼屑放置于导电基体的盲孔中,然后进行压片,完成对钼屑的制样。本发明通过在导电基体设置盲孔,利用导电基体的盲孔对钼屑进行制样,减少了样品可能造成的污染,提高了检...
  • 本发明提供了一种铝靶材的制造方法,所述制造方法包括依次进行的切割铝锭、第一锻伸、第一热处理、第二锻伸、第二热处理、压延与第三热处理;所述第二锻伸分为至少2步进行。本发明提供的铝靶材的制造方法使得铝靶材能够充分满足现行薄膜工艺的电阻率要求...
  • 本发明提供一种管靶材及其用途,所述管靶材包括管体及内孔,所述内孔两端分别设置有第一螺孔和第二螺孔,所述第一螺孔内设置有第一螺纹,所述第二螺孔内设置有第二螺纹,所述管体侧面设置有铬硅合金层;所述管靶材结构简单,易加工,将所述管靶材应用于溅...
  • 本发明提供一种CuMn合金ICP
  • 本发明提供了一种溶解铜磷合金样品的混合酸溶液及其制备方法与应用,所述混合酸溶液包括硝酸溶液与氢氟酸溶液;所述硝酸溶液的浓度为62
  • 本发明提供了一种溶解钛铝合金样品的混合酸溶液及其制备方法与应用,所述混合酸溶液包括硝酸溶液与氢氟酸溶液;所述硝酸溶液的浓度为60
  • 本实用新型涉及一种夹具,所述夹具包括底座和与之相配合的圆环;所述底座由至少2个圆心角相同的扇形块组成;所述扇形块上设有扇形凸台;所述扇形块的圆心角和扇形凸台的圆心角相同;所述至少2个扇形块上的扇形凸台的对称轴和所述底座的中心线相重合;所...
  • 本实用新型提供了一种金属样品切割机,所述金属样品切割机包括机身、平台单元与切割单元,所述平台单元与切割单元分别独立地与机身连接;所述平台单元包括平面滑轨以及与所述平面滑轨连接的滑动平台;所述平面滑轨固定在所述机身的下部;所述切割单元包括...
  • 本发明涉及一种碳碳化硅复合粉末及其制备方法和用途,所述制备方法包括如下步骤:(1)按照目标质量比例准备碳粉和碳化硅粉并混合均匀,得到碳碳化硅混合粉;(2)将步骤(1)所述碳碳化硅混合粉与粘结剂、分散剂以及水混合均匀,得到碳碳化硅料浆;(...
  • 本发明提供一种碳碳化硅靶材及其制备方法和用途,所述碳碳化硅靶材的制备方法通过将碳粉和碳化硅粉混合后经两次球磨,并在二次球磨之间进行干燥处理,后续再经装模、烧结和冷却,得到所述碳碳化硅靶材。所述制备方法的制备工艺简单,且二次球磨结合烧结工...
  • 本发明提供一种旋转靶材溅射面的车削方法,所述车削方法包括依次进行的粗车削、半精车削、精车削与抛光;所述粗车削的进刀量为0.6‑1mm;所述半精车削包括依次进行的第一半精车削与第二半精车削,所述第一半精车削的进刀量为0.3‑0.5mm,所...