一种夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种夹具，所述夹具包括底座和与之相配合的圆环；所述底座由至少2个圆心角相同的扇形块组成；所述扇形块上设有扇形凸台；所述扇形块的圆心角和扇形凸台的圆心角相同；所述至少2个扇形块上的扇形凸台的对称轴和所述底座的中心线相重合；所述扇形凸台的高度小于所述圆环的高度；所述扇形凸台的直径为小于所述底座的直径；所述圆环的内径大于所述扇形凸台的直径。本实用新型专利技术提供的夹具，通过增设新的部件，保证了非整圆结构的部件完成车床夹持，保证产品圆度和同心度要求。

【技术实现步骤摘要】
一种夹具
本技术涉及车床夹具领域，具体涉及一种夹具。
技术介绍
半导体芯片蚀刻工艺中晶圆片表面蚀刻胶受高能粒子轰击-飞溅-转移-粘附的全过程，最终会逐渐累积到腔体部件表面，且逐渐加厚；受整个腔体结构设计影响，蚀刻内外两腔体表面附着的溅射蚀刻胶材料实际工艺过程中更大概率落到蚀刻内腔的表面。而靶材在溅射使用前通常要进行粗加工及精加工，CN109420787A公开了一种铜靶材加工方法，包括：提供铜靶材、铝合金盘刀和金刚石盘刀；利用铝合金盘刀对铜靶材的表面进行粗加工，再利用金刚石盘刀对铜靶材的表面进行精加工。通过利用铝合金盘刀加工铜靶材的表面，能够快速的去除作为毛坯件的铜靶材表面上的加工余量，使铜靶材毛坯获得接近最终用于溅镀的铜靶材的形状，且不会损坏铝合金盘刀，此过程能够提升铜靶材加工效率；通过利用金刚石盘刀加工铜靶材的表面，能够进一步对铜靶材的表面进行加工，使表面更加光洁，且避免铜靶材发生变形，从而满足溅镀要求。相较于现有技术，在提升铜靶材在加工效率的同时，避免铜靶材发生变形，提升铜靶材加工合格率。CN107570964A公开了一种靶材的加工方法，包括：提供靶坯，包括溅射面、与溅射面相对的焊接面，以及位于溅射面和焊接面之间的侧面；对靶坯溅射面进行平面加工工艺；对靶坯侧面进行侧面加工工艺；其中，所述平面加工工艺和所述侧面加工工艺均包括多次切削。其在进行平面加工工艺和侧面加工工艺时，所述平面加工工艺和所述侧面加工工艺均包括多次切削。增加了切削的刀数，使进给量和每一刀的吃刀量相应减小，和采用较少切削刀数的方案相比，本技术可以减小加工过程中刀具对靶材的切削力，从而减小靶材内部内应力的释放，以减小靶材的变形程度；且切削力的减小还可以减小靶材加工时的振动量，进而提高靶材的加工质量。然而在现有技术中的夹具在使用过程中无法保证产品的圆度和同心度的要求。
技术实现思路
鉴于现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种夹具，保证非整圆结构的部件完成车床夹持，保证产品圆度和同心度要求。为达此目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供了一种夹具，所述夹具包括底座和与之相配合的圆环；所述底座由至少2个圆心角相同的扇形块组成；所述扇形块上设有扇形凸台；所述扇形块的圆心角和扇形凸台的圆心角相同；所述至少2个扇形块上的扇形凸台的对称轴和所述底座的中心线相重合；所述扇形凸台的高度小于所述圆环的高度；所述扇形凸台的直径为小于所述底座的直径；所述圆环的内径大于所述扇形凸台的直径。本技术提供的夹具，通过增设新的部件，保证了非整圆结构的部件完成车床夹持，保证产品圆度和同心度要求。本技术中，所述底座上的扇形块可以和底座一体成型，亦可以先在底板上设置凸台然后经切割而成。所述扇形块上均设置有扇形凸台且一一对应，所述扇形块和扇形凸台的顶点位于一条直线上，所述扇形块的对称轴为多个扇形块之间的对称轴，而非扇形块自身的对称轴。本技术中，所述底座由至少2个圆心角相同的扇形块组成，例如可以是2个、3个、4个、5个、6个、7个、8个、9个或10个等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。作为本技术优选的技术方案，所述扇形凸台的高度为28-29mm，例如可以是28.1mm、28.2mm、28.3mm、28.4mm、28.5mm、28.6mm、28.7mm、28.8mm、28.9mm或29mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。作为本技术优选的技术方案，所述扇形凸台的直径为420-425mm，例如可以是420mm、420.5mm、421mm、421.5mm、422mm、422.5mm、423mm、423.5mm、424mm、424.5mm或425mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。作为本技术优选的技术方案，所述底座的直径和所述扇形凸台直径的差值为18-19mm，例如可以是18mm、18.1mm、18.2mm、18.3mm、18.4mm、18.5mm、18.6mm、18.7mm、18.8mm、18.9mm或19mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。作为本技术优选的技术方案，所述圆环的内径428-430mm，例如可以是428mm、428.2mm、428.4mm、428.6mm、428.8mm、429mm、429.2mm、429.4mm、429.6mm、429.8mm或430mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。作为本技术优选的技术方案，所述圆环的高度为70-80mm，例如可以是70mm、70.1mm、70.2mm、70.3mm、70.4mm、70.5mm、70.6mm、70.7mm、70.8mm、70.9mm或80mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。作为本技术优选的技术方案，所述底座由3-5个圆心角相同的扇形块组成。本技术中，所述底座和所述圆环的锁紧通过底座中的扇形块沿径向外撑实现。本技术中，所述底座的背部即不设扇形凸台的面设置有安装块，该安装块和车床上夹具的安装位置相配合。与现有技术方案相比，本技术具有以下有益效果：本技术提供的夹具，通过增设新的部件，保证了非整圆结构的部件完成车床夹持，保证产品圆度和同心度要求。附图说明图1是本技术实施例1中夹具的示意图；图2是本技术实施例1中夹具的底座示意图；图3是本技术实施例1中夹具的圆环示意图。图中：1-圆环，2-工件，3-底座下面对本技术进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本技术的简易例子，并不代表或限制本技术的权利保护范围，本技术的保护范围以权利要求书为准。具体实施方式为更好地说明本技术，便于理解本技术的技术方案，本技术的典型但非限制性的实施例如下：实施例1本实施例提供一种夹具，如图1所示，所述夹具包括底座3(图2所示)和与之相配合的圆环1(图3所示)；所述底座3由3个圆心角相同的扇形块组成；所述扇形块上设有扇形凸台；所述扇形块的圆心角和扇形凸台的圆心角相同；所述至少2个扇形块上的扇形凸台的对称轴和所述底座3的中心线相重合；所述扇形凸台的高度小于所述圆环1的高度；所述扇形凸台的直径为小于所述底座3的直径；所述圆环1的内径大于所述扇形凸台的直径。所述扇形凸台的高度为28.5mm。所述扇形凸台的直径为423mm。所述底座3的直径和所述扇形凸台直径的差值为18.5mm。所述圆环1的内径429mm。所述圆环1的高度为75mm。实施例2本实施例提供一种夹具，所述夹具包括底座3和与之相配合的圆环1；所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种夹具，其特征在于，所述夹具包括底座和与之相配合的圆环；/n所述底座由至少2个圆心角相同的扇形块组成；/n所述扇形块上设有扇形凸台；/n所述扇形块的圆心角和扇形凸台的圆心角相同；/n所述至少2个扇形块上的扇形凸台的对称轴和所述底座的中心线相重合；/n所述扇形凸台的高度小于所述圆环的高度；/n所述扇形凸台的直径为小于所述底座的直径；/n所述圆环的内径大于所述扇形凸台的直径。/n

【技术特征摘要】
1.一种夹具，其特征在于，所述夹具包括底座和与之相配合的圆环；
所述底座由至少2个圆心角相同的扇形块组成；
所述扇形块上设有扇形凸台；
所述扇形块的圆心角和扇形凸台的圆心角相同；
所述至少2个扇形块上的扇形凸台的对称轴和所述底座的中心线相重合；
所述扇形凸台的高度小于所述圆环的高度；
所述扇形凸台的直径为小于所述底座的直径；
所述圆环的内径大于所述扇形凸台的直径。


2.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述扇形凸台的高度为28-29mm。
...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，周建军，潘益聪，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33