【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材加工，具体涉及一种靶材预清洗的方法。
技术介绍
1、目前，靶材产品的种类繁多、形态各异，在靶材表面还通常设有沉孔、通孔、螺纹孔、长短槽、水道槽等，由于不同靶材的构造特性均不相同，加工完成后靶材表面的脏污程度较高，直接送进无尘室进行下一道工序会污染环境及自动清洗液，因此，通常需要先进行预清洗处理。
2、在预清洗处理的过程中，如果采用简单的表面擦拭，产品沟槽等细节处清洁不到位，如采用自动清洗技术，清洗机效果差异也会导致靶材表面的沟槽部分清洗不彻底从而降低靶材的洁净度的问题，同时还存在操作不便、不能全面普及的缺陷。
3、cn 110670083a提供了一种靶材的清洗方法，所述靶材的清洗方法包括如下步骤：(1)靶材表面涂覆清洁剂，然后进行刷洗；(2)超声波清洗刷洗后的靶材；(3)使用惰性气体吹干超声波清洗后靶材表面的水分，然后进行真空干燥处理，得到清洗完成的靶材。
4、cn 110670083a提供了一种靶材的清洗方法，所述靶材的清洗方法包括如下步骤：(1)靶材表面涂覆清洁剂，然后进行刷洗；(2)超声波清洗刷洗后的靶材；(3)使用惰性气体吹干超声波清洗后靶材表面的水分，然后进行真空干燥处理，得到清洗完成的靶材。
5、以上清洗方法对靶材的清洗均采用了钢刷刷洗的方式，容易对靶材表面造成损伤，同时在靶材沟槽处无法实现完全的清洁。
6、cn 112452946a公开了一种靶材的清洗方法，干冰喷枪组与清洁台相对移动，使干冰喷枪全面覆盖靶材清洁。通过本专利技术的清洗设备使
7、因此，针对现有技术的不足，亟需提供一种能够针对靶材特点进行预清洗且保证清洗效果的方法。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种靶材预清洗的方法，针对成品靶材的孔槽结构选取适用的预清洗工具及步骤，有利于后道清洗工序的顺利进行。
2、为达到此专利技术目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、本专利技术提供了一种靶材预清洗的方法，所述方法包括如下步骤：
4、(1)根据成品靶材的孔槽结构选取适用尺寸的清洁棉棒与净化布，然后依次对成品靶材的背板面、孔槽结构以及溅射面进行清洁处理；
5、(2)对步骤(1)所述清洁处理后的清洁棉棒与净化布的表面进行洁净度判定：达到目标洁净度，进行后道清洗工序；不达到目标洁净度，重复进行步骤(1)所述清洁处理至达到目标洁净度。
6、本专利技术提供的靶材预清洗的方法，针对成品靶材的孔槽结构选取适用的预清洗工具，其中，清洁棉棒的棉棒头牢固不易脱落，吸粉吸液效果明显，且棉棒型号多，适用于各种类型特点孔槽，无需反复擦拭，清洁效率高且效果好；然后按照背板面、孔槽结构以及溅射面的顺序进行清洁处理，从而实现了成品靶材全方位的清洁，满足了成品靶材的洁净度要求。
7、优选地，步骤(1)所述孔槽结构包括通孔、螺纹孔、沉孔、机械化学抛光零部件产品孔以及o型密封圈凹槽。
8、优选地，所述通孔、螺纹孔以及沉孔采用型号为722的清洁棉棒进行清洁处理。
9、优选地，所述机械化学抛光零部件产品孔采用型号为757b的清洁棉棒进行清洁处理。
10、优选地，所述o型密封圈凹槽采用型号为708的清洁棉棒进行清洁处理。
11、优选地，步骤(1)所述孔槽结构中的死角区域采用型号为750的清洁棉棒进行清洁处理。
12、本专利技术中针对所述孔槽结构中的不同类型孔槽，采用适用型号适用尺寸的清洁棉棒进行清洁处理，可以有效去除孔槽内的脏污，避免后续脏污污染自动清洗液及设备，同时避免孔槽内脏污经过液体冲刷残留在孔槽中。
13、优选地，步骤(1)所述背板面与溅射面采用净化布进行清洁处理。
14、优选地，步骤(1)所述成品靶材所用清洁液包括ipa液。
15、优选地，步骤(1)所述成品靶材为铝靶材，所用清洁液还包括纯水。
16、优选地，对所述铝靶材的溅射面进行清洁处理时，采用净化布沿车刀纹方向擦拭。
17、对所述铝靶材的溅射面进行清洁处理时，由于铝材料较软，沿车刀纹方向擦拭可以降低擦伤的几率。
18、优选地，步骤(1)所述成品靶材为背板螺纹孔安装丝套的靶材，所述靶材在半成品阶段的孔槽结构加工后，还包括采用水枪对所述孔槽结构进行预清洁处理的步骤。
19、优选地，所述水枪为高压水枪。
20、针对特殊加工工艺靶材如背板螺纹孔安装丝套的靶材，在半成品阶段孔槽结构加工好后，采用高压水枪对孔槽结构进行清洗，高压水枪的压力能将孔槽结构内部的脏污及安装丝套嵌在里面的碎屑冲洗出去，后续对成品靶材进行清洁处理时效率更高，避免了抽真空时孔槽结构内的碎屑掉出导致产品返包污染环境的问题。
21、优选地，步骤(2)所述目标洁净度为目测所述清洁处理后的清洁棉棒与净化布的表面无脏污。
22、作为本专利技术所述的方法的优选技术方案，所述方法包括如下步骤：
23、(1)根据成品靶材的孔槽结构选取适用尺寸的清洁棉棒与净化布，然后依次对成品靶材的背板面、孔槽结构以及溅射面进行清洁处理；
24、所述孔槽结构包括通孔、螺纹孔、沉孔、机械化学抛光零部件产品孔以及o型密封圈凹槽；所述通孔、螺纹孔以及沉孔采用型号为722的清洁棉棒进行清洁处理；所述机械化学抛光零部件产品孔采用型号为757b的清洁棉棒进行清洁处理；所述o型密封圈凹槽采用型号为708的清洁棉棒进行清洁处理；所述孔槽结构中的死角区域采用型号为750的清洁棉棒进行清洁处理；所述背板面与溅射面采用净化布进行清洁处理；
25、所述成品靶材所用清洁液包括ipa液；所述成品靶材为铝靶材，所用清洁液还包括纯水；对所述铝靶材的溅射面进行清洁处理时，采用净化布沿车刀纹方向擦拭；所述成品靶材为背板螺纹孔安装丝套的靶材，所述靶材在半成品阶段的孔槽结构加工后，还包括采用高压水枪对所述孔槽结构进行预清洁处理的步骤；
26、(2)对步骤(1)所述清洁处理后的清洁棉棒与净化布的表面进行洁净度判定：达到目标洁净度，进行后道清洗工序；不达到目标洁净度，重复进行步骤(1)所述清洁处理至达到目标洁净度；所述目标洁净度为目测所述清洁处理后的清洁棉棒与净化布的表面无脏污。
27、相对于现有技术，本专利技术具有以下有益效果：
28、本专利技术提供的靶材预清洗的方法，针对成品靶材的孔槽结构选取适用的预清洗工具，其中，清洁棉棒的棉棒头牢固不易脱落，吸粉吸液效果明显，且棉棒型号多，适用于各种类型特点孔槽，无需反复擦拭，清洁效率高且效果好；然后按照背板面、孔槽结构以及溅射面的顺序进行清洁处理，从而实现了成品靶材全方位的清洁，满足了成品靶材的洁净度要求。
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1.一种靶材预清洗的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述孔槽结构包括通孔、螺纹孔、沉孔、机械化学抛光零部件产品孔以及O型密封圈凹槽。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述通孔、螺纹孔以及沉孔采用型号为722的清洁棉棒进行清洁处理；
4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述孔槽结构中的死角区域采用型号为750的清洁棉棒进行清洁处理；
5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述成品靶材所用清洁液包括IPA液。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述成品靶材为铝靶材，所用清洁液还包括纯水。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，对所述铝靶材的溅射面进行清洁处理时，采用净化布沿车刀纹方向擦拭。
8.根据权利要求1-5任一项所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述成品靶材为背板螺纹孔安装丝套的靶材，所述靶材在半成品阶段的孔槽结构加工后，还包括采用水枪对所述孔槽结构进行预清洁
9.根据权利要求1-8任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述目标洁净度为目测所述清洁处理后的清洁棉棒与净化布的表面无脏污。
10.根据权利要求1-9任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种靶材预清洗的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述孔槽结构包括通孔、螺纹孔、沉孔、机械化学抛光零部件产品孔以及o型密封圈凹槽。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述通孔、螺纹孔以及沉孔采用型号为722的清洁棉棒进行清洁处理；
4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述孔槽结构中的死角区域采用型号为750的清洁棉棒进行清洁处理；
5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述成品靶材所用清洁液包括ipa液。
6.根据权利要求5所述的方法，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，于江花，时晓旭，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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