本发明提供一种铝铜合金蒸发料的塑性加工方法，所述塑性加工方法包括依次进行的挤压处理与拉拔处理；所述挤压处理包括单道次挤压；所述单道次挤压的截面变形量为90％

本发明涉及一种超高纯铜靶材及其晶粒取向控制方法，所述晶粒取向控制方法将超高纯铜铸件依次进行热锻处理、一次热处理、冷锻处理、二次热处理、静压处理以及轧制，得到超高纯铜靶材。本发明所述晶粒取向控制方法将热锻和冷锻相结合，并在冷锻之后加入静压...

本发明涉及一种条形靶材组件的厚度评价方法，所述厚度评价方法包括：在条形靶材组件的溅射面测试位点采用超声测厚仪进行厚度测量，各条测试位点的厚度值≥预设值，则所述条形靶材组件合格；所述测试位点分布在沿条形靶材与靶材长边平行的直线上，所述直线...

本发明提供了一种晶圆托盘的背面结构及其加工方法，所述晶圆托盘的背面结构包括至少两圈同心环形凹槽，所述环形凹槽与晶圆托盘的中心重合，所述环形凹槽的纵向截面中底边的宽度大于顶边的宽度；所述晶圆托盘的中心和每圈环形凹槽的外侧均设有孔，每圈环形...

本发明提供一种铝硅合金溅射靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)装填并夯实铝硅合金粉末，得到第一生坯；(2)将步骤(1)所得第一生坯进行真空脱气处理，得到第二生坯；(3)将步骤(2)所得第二生坯在400

本发明涉及一种靶材组件的厚度评价方法，所述厚度评价方法包括：在靶材组件的溅射面选取17

本发明提供一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法，所述靶材组件包括层叠设置的靶材与背板；所述靶材的端面具有第一分段式花纹结构；所述靶材的端面与侧面的连接处R角具有第二分段式花纹结构；所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构分别独...

本发明涉及一种高纯银蒸发料的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将高纯银锭和挤压模具经预热后进行挤压作业，得到直径为8‑10mm的中间料；(2)将中间料进行拉拔处理，得到直径为3‑6mm的所述高纯银蒸发料。本发明提供的制备方法，通...

本发明提供一种铬镍合金溅射靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)混合铬粉与镍粉，得到铬镍粉末；(2)装填并压实步骤(1)所得铬镍粉末，得到铬镍生坯；(3)将步骤(2)所得铬镍生坯进行850‑1200℃的真空热压烧结处理...

本发明提供及一种钛靶材与铝背板的装配方法，所述方法包括以下步骤：(1)对钛靶材以及铝背板进行预处理；(2)对表面处理后的所述钛靶材以及铝背板进行装配并焊接；(3)对所述铝背板开设散热水道；(4)对装配后的钛靶材以及铝背板表面进行表面处理...

本发明提供一种靶材组件焊接前的处理方法，所述处理方法包括：靶材和背板分别依次进行一次浸润、二次浸润和三次浸润；所述二次浸润后靶材和背板冷却至室温；通过分步浸润的方式，C‑SiC靶材与铜背板焊接后，大幅度提高了靶材组件的焊接结合率；本发明...

本发明提供了一种钽靶材及其溅射面的处理方法，所述处理方法包括先后进行的车削与抛光；所述车削为采用刀片沿钽靶材的直径方向从边缘向中心进刀；所述车削包括先后进行的粗车削与精车削，且粗车削与精车削的过程中吃刀量保持恒定；所述精车削包括8‑12...

本实用新型提供一种铜靶材组件焊接结构及包含其的铜靶材组件，所述结构包括背板以及铜靶材，通过在背板和铜靶材上分别设置相适配的凹槽和凸台，并在凹槽面上设置端面螺纹，控制凸台与凹槽的配合间隙，能够进一步增加焊接面积，提高焊接结合率，针对焊接困...

本发明提供一种钨硅靶材及其溅射面的抛光方法，所述抛光方法包括往返进行的第一水磨抛光、第二水磨抛光与第三水磨抛光；所述往返的次数为15

本发明涉及一种铝硅合金靶坯的制备方法，所述制备方法包括：将铝硅合金粉末放入模具中进行烧结；所述烧结包括依次进行的第一升温、第一保温、第二升温、第二保温、第三升温、第三保温、第四升温、第四保温、第五升温、第五保温和保温保压；所述第一保温的...

本实用新型提供了一种薄壁件的淬火夹具，所述薄壁件的淬火夹具包括上夹板与下夹板；所述上夹板包括壳体以及设置于壳体内的冷却管道；所述上夹板的夹持面设置有网状通槽，网状通槽的交叉点设置有通孔；所述下夹板包括壳体以及设置于壳体内的冷却管道；所述...

本发明涉及一种高纯钒靶坯的制备方法及利用其制得的高纯钒靶材，所述制备方法包括：将钒铸锭依次进行锻造、退火、轧制以及再次退火，得到高纯钒靶坯；其中，所述再次退火的温度为450‑550℃。所述制备方法利用锻造、退火、轧制以及再次退火的协同耦...

本发明提供一种铝靶材的加工方法，所述加工方法包括：对焊接后的铝靶材以及铝背板加工O‑Ring槽，并对喷砂区域进行喷砂处理。所述加工方法可解决铝靶材O‑Ring槽真空漏气和喷砂Arcing的问题。

本发明涉及一种钛材料的热处理工艺，所述热处理工艺包括如下步骤：(1)对钛材料依次进行第一预热、第一锻打、第一冷却、第一保温和第二冷却，得到中间料；(2)将步骤(1)得到的所述中间料依次进行第二预热、第二锻打、第三冷却、第二保温、热轧、第...

本发明涉及一种钒钨合金靶坯的制备方法，所述钒钨靶坯中以质量百分含量计包括：11‑19％W，余量为钒；所述制备方法包括如下步骤：(1)将钒粉和钨粉按配方进行混合，之后装入模具中；(2)放入炉中并抽真空，之后进行热压烧结，得到所述钒钨合金靶...