本发明提供了一种靶材焊接、冷却一体化装置及其运行方法，所述一体化装置包括焊接平台和冷却平台，所述焊接平台和冷却平台位于同一平面上；所述焊接平台上设有移动加热板，所述移动加热板的下方连接有传动组件，所述传动组件包括上下移动的传动组件和水平...

本发明涉及一种针对电子束焊接气孔的填补方法，所述填补方法先确定电子束焊接气孔所在位置处的成分组成M，测量所述电子束焊接气孔的直径D，再根据所述成分组成M和所述直径D选择焊丝，然后通过点焊将所述焊丝熔化并填补在所述电子束焊接气孔内。本发明...

本发明涉及一种靶材冷却背板及其制备方法，所述靶材冷却背板的基座将进水口和出水口的法兰连接件采用一体型设计作为所述基座的一部分，并相应地将基座中的冷却水道与进出水口之间改成斜水道，有效防止了进出水口处的泄漏问题。本发明所述制备方法将所述靶...

本发明提供一种半导体冷却加热复合装置及其制备方法和用途，所述半导体冷却加热复合装置通过在底板内部设置槽孔，使槽孔与盖板以及第一凹槽均不相接，实现了槽孔中加热与第一凹槽中冷却的隔离，大大提高了冷却效率；并且所述半导体冷却加热复合装置的制备...

本发明涉及一种钛靶材组件的车削方法，所述车削方法包括如下步骤：先将钛锭切断进行塑性变形；然后将得到的钛靶材坯料与背板进行焊接，得到钛靶材组件粗品；随后将得到的钛靶材组件粗品中的所述钛靶材坯料的溅射面依次进行粗车削和精车削，得到所述钛靶材...

本发明涉及一种靶材冷却背板的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：(1)将盖板和基座进行机加工，机加工后的基座包括冷却水道；(2)将步骤(1)机加工得到的盖板与所述冷却水道相接触，进行所述盖板与所述基座的装配处理，然后进行真空钎焊，得到靶...

本发明提供了一种铬硅合金溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)非氧化性气氛条件下混合铬粉与硅粉，得到混合粉料；(2)装模，对装模后的混合粉料进行真空热压烧结；(3)真空热压烧结结束后随炉冷却，得到所述铬硅合金溅射靶材。本发...

本实用新型提供了一种用于辉光放电质谱仪测定针状样品的铟载体，所述用于辉光放电质谱仪测定针状样品的铟载体呈现棒状，在其一端的端面上开设孔洞，并在其侧面与所述孔洞相对应的部位开设凹槽，在其另一端设有底座。在实际制样过程中，先通过底座将铟载体...

本实用新型涉及一种蚀刻内腔保护环，所述蚀刻内腔保护环包括第一空心圆管和第二空心圆管；所述第一空心圆管和第二空心圆管之间设置有过渡环；所述过渡环为空心圆环；所述第一空心圆管的直径小于所述第二空心圆管的直径；所述空心圆环的内径等于所述第一空...

本实用新型提供了一种溅射环件，所述溅射环件包括环体，所述环体具有形成端口的第一端部与第二端部，在所述第一端部上设置第一凸结体，在所述第二端部上设置第二凸结体，所述第一凸结体与所述第二凸结体均包括外形凹槽和中心螺纹孔，所述外形凹槽和所述中...

本发明提供了一种铝材中碳含量的分析方法，所述分析方法包括如下步骤：(1)依次对待测铝材进行酸洗、水洗以及丙酮清洗，烘干得到预处理铝材；(2)使用红外吸收法测定步骤(1)所得预处理铝材；所述红外吸收法所用助熔剂为纯铁助熔剂与钨锡助熔剂的组...

本发明提供一种HCM机台用靶材的成型方法，所述成型方法包括以下步骤：(1)对原料依次进行锻打、冲孔以及扩孔预成型处理，得到预处理料；(2)对步骤(1)得到的预处理料进行热处理，得到热处理料；(3)对步骤(2)得到的热处理料进行冲压成型，...

本发明提供一种高纯Al2O3颗粒的制备方法及由其制得的Al2O3颗粒和用途，所述制备方法包括：Al2O3晶体依次经第一清洗、950～1050℃煅烧、水淬和破碎，得到破碎后颗粒；所述破碎后颗粒经第二清洗和干燥，得到高纯Al2O3颗粒，所述...

本发明涉及一种超高纯钨粉的制备方法，所述制备方法包括：将纯度为99.995

本发明涉及一种溶解钨钛合金样品的混合酸，所述混合酸由体积比为1:(3

本发明提供一种破碎制作高纯低氧硅粉的装置及其方法，所述装置包括加压组件、制氮组件以及破碎组件；所述制氮组件与所述加压组件通过管路相连；所述破碎组件与所述加压组件通过循环管路相连。所述方法制备得到的硅粉的氧含量极低，可满足低氧高纯WSi的...

本发明提供一种钛铝合金靶材的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：(1)对钛铝合金靶材和背板分别进行表面预处理，所述表面预处理为喷砂镀镍处理和/或抛光处理；(2)对经过表面预处理的钛铝合金靶材进行加热，然后将焊料分布在钛铝合金靶材的焊接面...

本发明提供了一种靶材表面的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：将靶材表面进行流水清洗并擦拭，然后依次进行超声振动清洗、喷射清洗和吹扫干燥，得到清洗完成的靶材。本发明所述方法采用多级清洗工艺，对加工完成后的靶材依次进行流水清洗、超声振动清...

本发明涉及一种利用电感耦合等离子体发射光谱仪测定钼钛合金中钼含量和钛含量的方法，所述方法先将钼钛合金样品加入浓硝酸和氢氟酸的混合溶液，并在90

本实用新型涉及一种靶材气相沉积镀膜夹具，所述夹具包括：托板、卡板及支盘；所述托板设置于所述支盘的上表面；所述托板的背面和支盘的夹角为60