本发明涉及一种Ti‑Al合金靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将钛粉和铝粉在保护气氛下混合，得到混粉；(2)将步骤(1)得到的混粉置于包套中依次进行第一脱气处理、第一热等静压处理、第二脱气处理及第二热等静压处理，之后将所述...

本发明涉及一种铁钴钽合金粉的制备方法、铁钴钽合金粉及用途，所述铁钴钽合金粉的制备方法包括：先按照目标原子比例准备铁料、钴料和钽料并混合；然后在1650‑1750℃下熔化完全；随后在惰性气体作用下进行雾化，得到所述铁钴钽合金粉。所述制备方...

本实用新型涉及一种靶材降温电动升降装置，所述升降装置包括升降部和槽体；所述升降部包括驱动装置和升降平台；所述升降部设置于槽体的侧面；所述升降平台位于槽体的上方；所述升降平台的面积小于槽体水平开口的面积。通过该装置可以提高料架寿命，减少人...

本发明涉及一种钽铝合金溅射靶材及其制备方法，所述制备方法包括将具有目标质量比例的钽铝合金粉末装入模具并封口，然后依次进行脱气处理、热等静压处理、机加工，得到钽铝合金溅射靶材。所述制备方法采用热等静压工艺，不仅可以减少外界对靶材的氧化作用...

本发明提供了一种溶解铬钽钛合金的混合酸及其制备方法与应用，所述混合酸为由盐酸与氢氟酸组成的混合酸；所述盐酸的质量分数为36‑40wt％，氢氟酸的质量分数为30‑36wt％。所述制备方法包括如下步骤：按照体积比(0.8‑1.2):(0.8...

本发明涉及一种铜磷蒸发料的处理工艺，所述处理工艺包括对所述铜磷蒸发料依次进行的第一酸洗、热等静压扩散处理、研磨、第二酸洗、清洗及干燥，得到处理后的铜磷蒸发料；其中，所述研磨至少进行3次。本发明提供的处理工艺通过在处理工艺中特定的位置引入...

本发明涉及一种镍铬合金溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括：先对镍铬合金铸锭进行致密化处理，再依次进行锻造、退火、轧制、终端退火、机加工，得到镍铬合金溅射靶材。所述制备方法针对熔炼铸造得到的镍铬合金铸锭的内部缺陷问题，在热塑性变形加工之...

本实用新型涉及一种靶材辅助抛光装置，所述装置包括：手柄和端头圆盘；所述端头圆盘的形状为圆台；所述圆台直径小的一面和所述手柄相连接；所述手柄的形状为柱状。本实用新型提供的装置简单小巧，实用性强，成本低，抛光效率高，安全性高，抛光后表面质量...

本发明涉及一种半导体靶材组件及其制备工艺，所述制备工艺包括：将铸造得到靶材坯体依次进行第一压延、第一热处理、第二压延、第二热处理、第三压延及第三热处理得到靶坯，之后将所述靶坯和背板焊接，经粗加工及精加工，得到所述半导体圆靶材组件。本发明...

本发明涉及一种WTi靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括：将WTi靶材、铝背板及盖板进行组装，之后置入包套中依次进行脱气处理及焊接；其中，所述WTi靶材的焊接面设置有槽；所述铝背板的焊接面进行碱处理；所述组装为铝背板和盖板以WTi靶材为...

本发明涉及一种WTi靶材和铜背板的焊接方法，所述焊接方法包括：将WTi靶材、铜背板及盖板进行组装，之后置入包套中依次进行脱气处理及焊接；其中，所述WTi靶材的焊接面设置有槽；所述铜背板的焊接面依次进行酸处理和碱处理；所述组装为铜背板和盖...

本发明公开了一种超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的电解抛光工艺。本发明的超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的电解抛光工艺，包括如下步骤：1)对超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材待分析面进行研磨；2)对经步骤1)研磨后的待分析面采用电解抛光液进行电...

本发明提供了一种晶圆保持环花纹凸台宽度的测量方法及测量系统，所述的检测方法包括：图像采集装置对晶圆保持环的花纹凸台进行拍照并将采集到的图像信息传输至测量软件系统，抓取图像信息中的花纹凸台特征点，通过测量软件系统计算得到特征点之间的距离数...

本发明提供一种钴靶焊接品超声波检测的方法，所述钴靶焊接品超声波检测的方法先将钴靶焊接品表面抛光处理后再对其进行水浸式超声波探伤检测，针对钴靶进行表面处理后能够降低其表面粗糙度，减少其对超声波探伤检测的影响，提高检测的效果；并进一步匹配步...

本发明提供一种利用超声波检测焊接型钼靶焊缝的方法，所述利用超声波检测焊接型钼靶焊缝的方法先将焊接型钼靶表面抛光处理后再对焊缝进行水浸式超声波探伤检测，针对钼靶进行表面处理后能够降低其表面粗糙度，减少其对超声波探伤检测的影响，提高检测的效...

本发明涉及一种测定高纯铝或高纯铝合金中体积氢含量的方法，所述方法包括：先将高纯铝或高纯铝合金的待测样品分为待测样品A和待测样品B；再将处理后的待测样品A放入定氢仪中进行表面氢的测定，将处理后的待测样品B放入定氢仪中进行表面氢和体积氢的测...

本发明提供一种铜靶材组件中焊层缺陷率检测的方法，所述铜靶材组件中焊层缺陷率检测的方法先将铜靶材组件表面抛光处理后再进行水浸式超声波探伤检测，降低了铜靶表面的粗糙度，减少了表面粗糙对超声波探伤检测的影响，同时根据超声波探伤检测图计算得到缺...

本发明涉及一种铬铝合金溅射靶材及其制备方法，所述制备方法包括将具有目标原子比例的铬铝合金粉末装入模具并封口，然后依次进行脱气处理、热等静压处理、机加工，得到铬铝合金溅射靶材。所述制备方法采用热等静压工艺，不仅可以减少外界对靶材的氧化作用...

本发明涉及一种铜靶材组件的除锈打磨方法，所述除锈打磨方法包括：利用打磨介质对所述铜靶材组件的锈面依次进行锈面打磨和纹路打磨；打磨后所述锈面的粗糙度Ra≤0.8μm；所述纹路打磨从锈面的中心点处开始打磨。通过本发明提供的除锈打磨方法通过利...

本发明提供了一种靶材焊接后的加压整形方法，所述的方法包括：在对焊接后的靶材进行加压整形的过程中，随靶材温度的下降，对靶材施加的整形压力逐级递减。采用了压力逐渐递减且截面积同时逐级递减的加压方式，优先确保靶材平面度要求，再针对应力集中的中...