本发明涉及一种铬钛合金处理方法及其在金相组织显示中的用途。所述方法包括以下步骤：(1)将铬钛合金表面进行机械打磨；(2)将机械打磨后的铬钛合金浸入电解抛光液，进行电解腐蚀，形成腐蚀面，所述电解抛光液包括高氯酸。所述方法通过机械打磨，除去...

本发明提供了一种磁控溅射环件及其配合孔的加工方法，所述的磁控溅射环件包括环件本体，所述环件本体的外侧环面上设置有至少一个配合孔，所述配合孔内固定有突出于环件本体外侧环面的连接结。使用四轴加工中心对环件本体配合孔进行加工，由于现有加工方案...

本发明涉及一种保持环，所述保持环包括第一环和第二环；所述第一环和第二环的粘结部进行喷砂处理；喷砂处理后所述第一环粘结部的粗糙度Ra为4‑8μm；喷砂处理后所述第二环粘结部的粗糙度Ra为4‑8μm。本发明中，通过保持环中粘结部位的喷砂处理...

本发明涉及一种盘型水道盖板、其制备方法和冷却水盘，所述制备方法包括将盖板坯料通过螺纹锁定进行固定，再加工得到盘型水道盖板。本发明所述制备方法针对盘型水道盖板具有产品形状各异、厚度较薄的特点，通过螺丝锁定的方法将盖板坯料牢牢地固定，有效防...

本发明涉及一种辉光放电质谱仪中钽部件的处理方法，所述方法包括：将钽部件依次进行酸洗、漂洗及干燥。本发明中，通过对辉光放电质谱仪中的钽部件通过酸洗、漂洗及干燥之间的协同处理，显著的提高了辉光放电质谱仪的检测效率和数据有效性，使得钽部件每次...

本发明涉及一种铁钴钽合金溅射靶材及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：(1)将具有目标原子比例的铁钴钽合金粉末装入模具并封口，进行振实处理；(2)将振实后的模具进行脱气处理；(3)将脱气后的模具在750‑900℃下进行热等静压处理，得...

本发明提供了一种用于辉光放电质谱分析的金属粉末制样方法，所述制样方法包括：将待测金属粉末置于导电基体上，共同放入模具中，然后进行加热加压，金属粉末镶嵌到导电基体中，完成制样。本发明所述方法通过加热加压将金属粉末镶嵌到导电基体中，金属粉末...

本发明提供了一种NiV合金靶材及其成型的方法与用途，所述方法通过采用预热和保温的方式实现NiV合金靶材的热轧成型，相较于原有冷轧成型方式减少了NiV加工过程中开裂事故，提高了生产效率，且能够得到均匀细小的微观组织，制得的NiV合金靶材能...

本发明涉及一种高纯铝靶材的焊接方法，所述方法包括；将高纯铝靶材和背板进行钎焊接，焊接完成后进行冷却；其中，所述高纯铝靶材的焊接面设置有凹槽；所述凹槽内设置有焊料槽；所述背板包括重复利用的背板。本发明中，通过对靶材焊接面特殊的设计及焊接方...

本发明涉及一种超高纯铝的表面处理方法，所述方法包括：将所述超高纯铝依次进行第一漂洗、酸洗、第二漂洗及干燥。本发明中提供的方法通过对处理方法中各步骤合理的设计，利用各步骤间的协同耦合效果，实现了辉光放电质谱的检测准确性的提高，同时使得检测...

本发明公开了一种高纯溅射用靶材电子束焊接工装及焊接工艺。本发明的高纯溅射用靶材电子束焊接工装，包括机台和挡板，所述机台和所述挡板之间设置有至少两个固定板；所述机台与所述固定板之间、相邻两个所述固定板之间、所述固定板与所述挡板之间形成空间...

本申请涉及靶材焊接技术领域，尤其是涉及一种检测组件、检测装置以及检测系统。一种检测组件，用于检测溅射靶材与背板的焊接结合率，包括移动机构和探头，探头能够吸附于移动机构上，且移动机构用于带动探头在待检测件上方移动。本申请中探头吸附于移动机...

本实用新型涉及一种溅射钽环，所述溅射钽环的直径为385.07‑385.57mm，所述溅射钽环上设置有端口，所述端口处的两个端面为平行设置，所述端面与所述溅射钽环的侧面的夹角为70‑80°，本实用新型所述溅射钽环的端口采用上述斜口设计，其...

本发明提供了一种钽材料EBSD样品的表面处理方法，包括：依次使用400#砂纸与1000#砂纸对钽材料的测试面进行第一次机械抛光处理与第二次机械抛光处理，得到经初步处理的钽材料；对所得经初步处理的钽材料进行第三次抛光处理；使用第一混合酸液...

本发明涉及一种半导体晶圆的冷却元件及其制备方法，所述冷却元件包括铜盖板和铜基座，所述铜基座包括冷却通道。本发明选用导热系数较高的铜代替铝合金，作为冷却元件的主材料，具有良好的散热效果，散热效率超过2.5℃/s。本发明所述制备方法采用真空...

本发明涉及一种延长环件寿命的处理方法，所述环件的外表面设置有螺帽；所述方法包括：对所述环件的内表面、外表面及端口进行滚花处理；对所述螺帽依次进行滚花和喷砂处理。本发明中，通过对环件进行滚花和喷砂处理，利用二者之间的增效促进效果，解决了环...

本发明提供了一种半导体溅射腔保护罩加工方法及半导体溅射腔保护罩，所述的加工方法包括：柱状结构的原料坯体依次经粗加工和精加工后得到保护罩，所述的保护罩为一端封口的中空结构罩体，包括环形薄壁以及位于环形薄壁一侧开口处的端盖；在对原料坯体粗加...

本发明涉及一种陶瓷旋转靶材的焊接方法，所述方法包括：(1)对陶瓷旋转靶材依次进行预热和浸润处理，之后冷却得到处理靶材；(2)对背管依次进行预处理和浸润作业，之后得到处理背管；(3)将步骤(1)得到的处理靶材和步骤(2)得到的处理背管进行...

本发明涉及一种钛钨方形靶材组件的校正方法，所述校正方法包括：将温度为100‑120℃的钛钨方形靶材组件加压至凹陷2‑2.2mm，然后冷却至室温再撤去压力。本发明所述校正方法，针对钛钨方形靶材组件的力学性能特点，依靠保持的温度和凹陷的程度...

本实用新型提供了一种磁力检测装置，所述装置包括源磁体、载物台、高斯计和定位组件，所述高斯计包括霍尔探头和测量仪器，所述霍尔探头与测量仪器相连；所述源磁体设置于载物台下方，所述霍尔探头设置于载物台上方，所述霍尔探头与源磁体磁极面的中心位置...