本发明涉及一种靶材的加工工艺，所述靶材为G8.5钼靶材；所述工艺包括：依次进行精铣焊接面‑半精铣溅射面‑精铣溅射面‑精铣外形‑精铣R角。本发明中，通过合理安排加工工艺、选择自制刀具、设置合理加工参数、冷却方式，使得加工G8.5钼靶平面度...

本发明涉及一种钛铝合金靶材的机加工方法及其产品和用途，所述机加工方法采用的刀具为CCGX09T304AL‑H10，车削液采用体积浓度为5‑10％的乳化液的水溶液，其能明显减少刀片与钛铝合金原材料之间的摩擦，从而降低产品表面温度，进而达到...

本实用新型提供了一种通用型氦泄漏检测夹具，所述的氦泄漏检测夹具包括支撑杆，支撑杆的一端固定抽气短管，另一端设置可沿支撑杆移动的紧固组件；所述的抽气短管包括抽气端和紧固端，所述的抽气端管口外接抽真空装置，待测产品置于紧固端和紧固组件之间，...

本发明涉及一种利用三坐标测量机检测轮廓线的方法，所述检测轮廓线的方法包括如下步骤：(1)固定三坐标测量机的一个坐标为定值，测定待检测轮廓线上若干点在另外两个坐标下的坐标值；利用制图软件确定标准品轮廓线的上限轮廓线和下限轮廓线上若干点分别...

本发明涉及一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的最高点和最低点的垂直距离为5.75‑6mm；所述靶材表面的硬度为20‑30HV。本发明中，通过调整靶材表面的高度差及硬度，保证溅射强度，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。

本发明涉及一种延长靶材寿命的处理方法，所述方法包括：将靶材依次进行抛光处理、滚花处理及喷砂处理。本发明中，通过对靶材表面的滚花及喷砂处理等，解决了靶材在镀膜过程的溅射异常(表皮脱落，尖端放电，金字塔脱落等)，从而延长靶材的使用寿命。

本发明提供了一种环件连接部的翻新方法，所述翻新方法包括如下步骤：(1)环件机加工过程中去除异常连接部，得到焊接面；(2)测量步骤(1)所得焊接面的直径，然后根据所测数据选择连接部；(3)将步骤(2)所选连接部焊接至焊接面，完成对环件连接...

本发明提供一种区分高纯铝与铝合金的方法，所述方法通过采用电导率仪对高纯铝和铝合金进行区分，无需测量高纯铝或铝合金中的铝含量，即可鉴别出高纯铝，较现有区分高纯铝和铝合金的光谱方法，制样简单，操作流程简便，且检测周期短，能够较好地解决现有技...

本发明涉及一种碳和碳化硅陶瓷溅射靶材及其制备方法。所述制备方法包括：(1)将碳粉、碳化硅粉和粘结剂按照比例混合，并进行筛分处理；(2)将步骤(1)筛分后的混合粉末装入模具并用工具夯实；(3)对步骤(2)夯实后的模具在1850‑2200℃...

本发明提供了一种晶圆托盘的机械加工方法，所述的机械加工方法包括：对晶圆托盘的外侧环面进行精加工之前，沿外侧环面套箍紧固环。本发明在加工晶圆托盘外侧环面时沿外侧环面套箍紧固环，将外侧环面箍住防止其变形，从而保证产品尺寸符合同心度和圆度的要求。

本发明提供一种钛粉的制备方法，所述方法通过对预处理后的钛棒进行无坩埚电极感应熔化气体雾化，不仅工艺流程简单，可采用工业生产产生的高纯钛锭料头作原料，而且能够制得高纯低氧的钛粉；利用该方法制得的钛粉氧含量≤1000ppm，纯度≥99.99...

本发明提供一种钨钛混粉方法，所述方法通过将钨粉分多批投入钛粉中进行至少多次混粉过程，使钨粉和钛粉混合均匀，尤其针对W‑10％Ti以下的钨钛的靶材，解决了钨钛靶材中的花斑问题，提高了钨钛靶材的合格率，具有较高的工业应用价值。

本发明提供了一种合金溅射靶材及其制备方法和用途。所述方法包括以下步骤：(1)将组成合金的各组分混合，得到混合粉末；(2)将混合粉末与放入包套中，对所述包套进行真空脱气，得到真空脱气后的包套；(3)对真空脱气后的包套进行等静压烧结，去除包...

本发明涉及一种超高纯铜铸锭缺陷消除方法，所述方法包括：将超高纯铜铸锭进行热等静压处理；其中，所述超高纯铜铸锭采用真空感应方法熔炼。通过本发明提供的方法可以消除高纯铜铸锭中的缺陷，从而有助于改善溅射速率以及膜厚的均匀性，进而保证超高纯铜靶...

本发明提供一种镀膜材料的成型方法，包括步骤：提供镀膜材料；对所述镀膜材料进行挤压处理；经过挤压处理后，对所述镀膜材料进行拉拔处理；经过拉拔处理后，对所述镀膜材料进行切段。本发明直接对镀膜材料进行挤压、拉拔以及切段的成型处理，降低了镀膜材...

本发明公开了一种金属靶材真空磁控溅射镀镍及焊接方法。本发明的金属靶材真空磁控溅射镀镍方法，包括如下步骤：1)对待镀镍的金属靶材的焊接面进行预处理；2)对经步骤1)预处理的焊接面进行清洗、干燥处理；3)采用真空磁控溅射镀膜工艺对步骤2)处...

一种靶材的检测方法，包括：提供靶材样品；提供检测腐蚀液和参照腐蚀液；将所述靶材样品溶解在所述检测腐蚀液内，所述金属靶材内部的金属部分将全部溶解，但是内部的非金属颗粒不溶于所述检测腐蚀液；采用液体微颗粒技术实现对液体中微颗粒的粒度以及数量...

一种靶材的制作方法，包括：提供铜铝合金料锭；对所述料锭进行至少两次第一锻打工艺；在每次第一锻打处理后，均对所述料锭进行第一热处理工艺；对锻打和热处理后的所述料锭进行压延；对压延后的所述料锭进行热加工工艺。多次锻打工艺与热处理工艺使所述料...

本发明涉及一种C‑SiC溅射靶材的焊接方法，所述方法包括如下步骤：(1)对C‑SiC靶材和背板进行遮蔽处理，然后在遮蔽后C‑SiC靶材和背板的焊接表面放置焊料并升温，升温完成后对C‑SiC和背板的焊接面进行浸润处理，得到处理后C‑SiC...

本发明提供了一种钽靶材与铜背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)矫正钽靶材翘曲度，使靶材的平面度≤0.2mm；(2)钽靶材与铜背板的焊接面分别独立的进行表面喷砂处理；(3)分别独立地对钽靶材与铜背板喷砂处理后的焊接面进行镀镍处...