一种长寿命靶材组件制造技术

本发明专利技术涉及一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的最高点和最低点的垂直距离为5.75‑6mm；所述靶材表面的硬度为20‑30HV。本发明专利技术中，通过调整靶材表面的高度差及硬度，保证溅射强度，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。

A long life target component

【技术实现步骤摘要】
一种长寿命靶材组件
本专利技术涉及靶材领域，具体涉及一种长寿命靶材组件。
技术介绍
目前，现有的半导体溅射用ILC1013系列靶材的溅射寿命已经到了一个极限，为提高靶材的使用寿命，节省多次更换靶材的重复性。现有的技术都是通过磁场强度，把靶材表面设计成曲面来延长寿命，如CN103320757A公开了一种靶材，包括靶材本体及基体，所述基体的至少一面设有所述靶材本体，所述靶材本体是由高纯度靶材合金粉末通过等离子弧喷涂机喷涂熔焊在所述基体上。所述基体与所述靶材本体的结合面为呈内凹的圆弧面。所述基体为矩形体或圆形。所述靶材的制造方法步骤如下：(1)准备合金粉体；(2)准备基体；(3)等离子转移弧喷涂成型；(4)、清理被喷涂层表面，按照步骤(3)的要求再次喷涂处理，直至获得要求厚度的靶材。本专利技术有益效果在于：一是生产的靶材无气孔残留；二是生产设备简单、投资小；三是靶材可以修复再利用。而且1013系列表面并非一整个平面，这种设计不但增大了人工成本，且一旦不能完全匹配，最终造成溅射参数不能满足要求，会导致薄膜均匀度不良。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种长寿命靶材组件，其特征在于，所述靶材表面的最高点和最低点的垂直距离为5.75-6mm；所述靶材表面的硬度为20-30HV。/n

【技术特征摘要】
1.一种长寿命靶材组件，其特征在于，所述靶材表面的最高点和最低点的垂直距离为5.75-6mm；所述靶材表面的硬度为20-30HV。


2.如权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述靶材的最大厚度为28-30mm。


3.如权利要求1或2所述的靶材组件，其特征在于，所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板。


4.如权利要求1-3任一项所述的靶材组件，其特征在于，所述靶材呈凹形结构。


5.如权利要求1-4任一项所述的靶材组件，其特征在于，所述靶材包括用于溅射的溅射面；
优选地，所述溅射面包括第一平面、第二平面和斜面。


6.如权利要求5所述的靶材组件，其特征在于，所述斜面与水平面的夹角≤10°。


7.如权利要求5或6所述的靶材组件，其特征在于，所述斜面位于所述第一平面和第二平面之间；

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，李宁，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33