本实用新型提供了一种阻挡高纯铝液流动的遮挡装置，所述高纯铝液在引流槽内流动，所述遮挡装置的形状与引流槽的横截面形状相同，所述遮挡装置包括基体挡板和表面的涂层；所述遮挡装置的边侧设有一圈凹槽，所述凹槽的宽度小于遮挡装置的厚度，所述凹槽内设...

本发明涉及一种超高纯铜靶材的扩散焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：(1)准备超高纯铜靶材和具有螺纹的背板，并将铜粉加入到背板上的螺纹处，然后和超高纯铜靶材装配；(2)将装配好的超高纯铜靶材和背板放入包套，然后对包套进行焊接并抽真空；(...

本发明提供了一种热等静压扩散焊接的方法，所述方法包括如下步骤：(1)将靶材、背板与垫板的组合放置于金属包套中；(2)金属包套抽真空密封后，进行热等静压处理；步骤(1)所述靶材、背板与垫板的组合中，靶材位于背板与垫板之间；步骤(2)所述热...

本发明提供了一种焊接类溅射靶材中气孔的检测方法，所述检测方法包括如下步骤：红光照射下分别得到存在气孔的焊接靶材与不存在气孔的焊接靶材的图像，作为红光检测焊接靶材气孔分布的参考特征图集；记录待检测焊接靶材在红光照射下的图像，并与步骤所得参...

本发明涉及一种靶材组件中安装自攻螺套的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(1)使用与自攻螺套配套的钻头，应用攻丝机在靶材组件溅射面钻孔；(2)使用攻丝机将自攻螺套安装在步骤(1)所得钻孔中，完成自攻螺套的安装。本发明通过采用攻丝机...

本发明涉及一种超高纯铜靶材的扩散焊接方法，所述焊接装配方法包括如下步骤：(1)将装配好的超高纯铜靶材和具有螺纹的背板放入包套，并在超高纯铜靶材和包套盖板间设置垫块，然后对包套进行焊接并抽真空；(2)将抽真空后的包套进行热等静压处理，之后...

本发明涉及一种钽硅合金溅射靶材及其制备方法。所述制备方法包括：(1)将钽粉和硅粉混合；(2)装入模具并封口；(3)对封口后的模具进行冷等静压处理，得到钽硅坯料；(4)将得到的钽硅坯料进行脱气处理；(5)在1050‑1350℃下对脱气后的...

一种靶材组件形成方法，包括：提供陶瓷靶材，所述陶瓷靶材具有靶材焊接面；提供金属背板，所述金属背板具有背板焊接面；将所述靶材焊接面镀镍，形成镍镀层；在所述镍镀层表面和所述背板焊接面上放置钎料，对所述陶瓷靶材以及所述金属背板进行焊接，形成靶...

一种晶圆托盘的加工方法，将毛坯件放入数控机床中，采用全周夹具将所述毛坯件固定后，通过特别的全周夹具设置保证后续精加工后的所述毛坯件的平面度；然后将经过精加工后的所述毛坯件从所述数控机床中取出，并放入精铣加工中心，采用铣孔夹具将所述毛坯件...

本发明提供一种复合型冷却水盘，所述冷却水盘通过设置铝外壳和包裹在铝外壳内的铜层，解决了现有冷却水盘传热系数低的问题，且铜完全被包裹在铝外壳中，可确保铜金属不会漏出，应用在半导体领域中，可保障芯片制作的稳定性；本发明还提供所述冷却水盘的制...

本发明提供一种环件三坐标检具，所述检具在底座上设置有与待测环件相匹配的圆形凹腔，并沿圆形凹腔的外周设置有供三坐标测量机测针伸入的凹槽；本发明提供的所述检具通过圆形凹腔实现对环件的固定，凹槽供三坐标测量机的测针伸入，从而能够测量环件的底部...

本发明涉及一种防松动的Ta环及其设计方法，所述防松动的Ta环的端口两侧对称设置有两个柱状把手，所述柱状把手的中轴线间采用特定夹角，本发明所述防松动的Ta环的端口处的两个柱状把手的中轴线间采用上述特定夹角，使得将其安装在实装锅上后，柱状把...

一种靶材组件形成方法，包括：提供靶材，所述靶材具有靶材焊接面；提供背板，所述背板具有背板焊接面；将所述靶材焊接面镀镍，形成镍镀层；在所述镍镀层与所述背板焊接面之间放置钎料，对所述靶材以及所述背板进行焊接，形成靶材组件。由于所述钎料能够在...

本发明提供一种靶材背板表面的抛光处理方法，所述方法通过将靶材组件倒置在磁力抛光装置中，靶材背板朝上，进行磁力抛光处理，不仅抛光效率高，抛光后靶材背板表面的抛光纹路均匀无序，靶材背板不易生锈，而且能够将靶材背板上孔的孔内锈迹和毛刺去除干净...

本发明提供一种环形背板的加工成型方法，所述方法包括：将柱形锭材加热处理后进行开坯处理，使形成的圆柱形锭材满足制备要求，然后依次进行冲孔、碾环处理，形成环形背板。本发明通过将锭材进行冲孔、碾环处理，提供了一种制备环形背板的新方法，极大地降...

一种控制熔炼炉的装置及方法，控制熔炼炉的装置包括：信号发送单元，所述信号发送单元发送不同电信号；操作单元，所述操作单元接收不同电信号并转化为相应指令发射出去；信号接收单元，所述信号接收单元接收相应指令并且进行相应操作。通过信号发送单元发...

一种熔炼炉，包括：熔炼炉主体，所述熔炼炉主体具有开口；炉盖，所述炉盖用于封闭所述开口；液压传动机构，通过所述液压传动机构与所述炉盖连接，将所述液压传动机构的液压能转化为机械能，以此来控制所述炉盖的打开与闭合。所述液压传动机构控制所述炉盖...

本发明提供一种环件角度检具，所述检具通过在含有内环面的检测套上沿径向设置有多个轴向凹槽，所述轴向凹槽用于检验待测环件上的凸块角度，且可将待测环件凸块直接放入轴向凹槽中，单人操作即可实现环件角度检验，同时检具结构简单，加工容易；利用所述检...

本发明提供一种金属靶材焊接后整形方法，所述方法通过在靶材组件的靶材上方依次设置缓冲垫和垫块后再进行加压整形，其中，所述缓冲垫的硬度为30～60HA，抗张强度为50～100kg/cm

本发明提供了一种金属的焊接方法。所述方法包括以下步骤：加热焊接平台，在置于所述焊接平台上的金属上放置保护垫块，在所述保护垫块上加压，加压开始后到设定时间时停止加热并保持压力，自然冷却后停止加压，完成金属在焊接平台上的焊接。本发明提供的金...