一种防松动的Ta环及其设计方法技术

本发明专利技术涉及一种防松动的Ta环及其设计方法，所述防松动的Ta环的端口两侧对称设置有两个柱状把手，所述柱状把手的中轴线间采用特定夹角，本发明专利技术所述防松动的Ta环的端口处的两个柱状把手的中轴线间采用上述特定夹角，使得将其安装在实装锅上后，柱状把手内的圆柱的外壁与所述陶瓷圈的内壁之间贴合，所述陶瓷圈的外壁与所述实装锅上通孔的腔体贴合，从而使得安装后的Ta环不会产生松动，避免使用过程中造成设备偏压异常报警。

An anti loose TA ring and its design method

【技术实现步骤摘要】
一种防松动的Ta环及其设计方法
本专利技术属于半导体
，涉及一种防松动的Ta环及其设计方法。
技术介绍
物理气相沉积是半导体芯片生产过程中最关键的工艺之一，其目的是把金属或金属的化合物以薄膜的形式沉积到硅片或其他的基板上，并随后通过光刻与腐蚀等工艺的配合，最终形成半导体芯片中复杂的配线结构；物理气相沉积是通过溅射机台来完成的，而Ta环是上述工艺中一个非常重要的耗材；而目前采用的Ta环在安装在实装锅上后，端口两侧的柱状把手无法完全固定，存在晃动现象，造成设备偏压异常报警。CN101920435A公开了一种溅射钽环的制备工艺，所述工艺包括以下步骤：首先制备环件用钽条，卷圆后将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，切断焊口，进行端头滚花，然后在环件表面加工焊接槽口，酸洗，将凸台焊接在上述环件表面的焊接槽口上，再次酸洗，在固定区域内喷砂，最后利用超声波进行清洗，得到所述溅射钽环；此方案给出了溅射钽环的制备方法，但未给出如何避免Ta环安装在实装锅上后端口处柱状把手晃动的方法。CN102990234A公开了一种溅射钽环件凸台和环体的焊接方法，所述方法首先将凸台和环件分别酸洗，然后采用激光点焊的方法将所有凸台固定在环件上，用酸液进行表面处理，最后将固定好凸台的环件装夹在三爪卡盘上，通过W轴的旋转依次完成多个凸台的焊接，此方案给出了柱状把手的焊接方法，但并未给出如何避免Ta环在安装在实装锅上后避免端口处柱状把手晃动的方法。因此，开发一种能使得所述Ta环安装后，其端口处的柱状把手不会发生晃动的Ta环及其设计方法仍具有重要意义。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种防松动的Ta环及其设计方法，所述防松动的Ta环的端口两侧对称设置有两个柱状把手，所述柱状把手的中轴线间的夹角限定在特定的范围之内，本专利技术所述防松动的Ta环的端口处的两个柱状把手的中轴线间的夹角在上述范围内，使得将其安装在实装锅上后，柱状把手内的圆柱的外壁与所述陶瓷圈的内壁之间贴合，且陶瓷圈的外壁与所述实装锅上与所述柱状把手对应位置处的通孔的内壁贴合，从而使得Ta环在安装后不会产生松动，避免使用过程中造成设备偏压异常报警。为达到此专利技术目的，本专利技术采用以下技术方案：第一方面，本专利技术提供了一种防松动的Ta环，所述Ta环的端口两侧对称设置有两个柱状把手，所述两个柱状把手的中轴线之间的夹角：其中，θ为所述两个柱状把手的中轴线之间的夹角，单位为度，α值为所述实装锅上与所述两个柱状把手对应位置处的两个通孔间夹角角度，d为实装锅上与所述柱状把手对应位置处的通孔的直径，a为陶瓷圈的厚度，b为柱形把手内的圆柱的直径，D为所述防松动的Ta环的直径。此处D指的是所述防松动的Ta环的环体外径。此处α值以两个通孔的中轴线间的夹角为准。传统的Ta环在安装在实装锅上时，位于所述Ta环端口两侧的两个柱状把手无法完全固定，存在晃动的现象，柱状把手包含底座和设置在底座上的圆柱，所述圆柱的一周设置有圆环，在所述圆柱的外壁和所述圆环的内壁间形成圆环形间隙，安装过程中，将陶瓷圈套在所述圆柱的外侧；传统采用的Ta环在安装后，所述陶瓷圈的内壁和所述圆柱的外壁不接触，所述陶瓷圈的外壁与所述实装锅上的通孔的内壁间也存在间隙，使得安装后，Ta环易发生晃动，易造成设备偏压异常报警。本专利技术所述防松动的Ta环上设置有端口，所述端口两侧对称设置有两个柱状把手，所述两个柱状把手的中轴线间的夹角由Ta环安装过程中采用的陶瓷圈的厚度及实装锅上与所述柱状把手对应位置处的通孔的直径及柱状把手内圆柱的尺寸共同确定；采用上述特定夹角，能使得在将所述防松动的Ta环安装在实装锅上后，所述陶瓷圈的内壁与所述柱状把手的圆柱外壁相贴合，同时实装锅上通孔的内壁与所述陶瓷圈的外壁相贴合，形成对陶瓷圈的夹紧，从而使得Ta环在安装后不会发生松动，从而避免设备偏压异常报警现象的发生。以300mmTa环为例，传统的300mmTa环的端口两侧的柱状把手的中轴线的夹角为18°，将其安装后，其端口两侧的柱状把手的圆柱的外壁与所述陶瓷圈的内壁不接触，陶瓷圈的外壁与所述实装锅的通孔内壁间也存在间隙，使得Ta环在安装后会发生晃动，从而易造成设备偏压异常报警；而采用本专利技术所述防松动的300mmTa环，其端口两侧对称设置的两个柱状把手间的夹角为18.3°，将其安装后，陶瓷环被柱状把手和实装锅通孔内壁夹紧，使得安装后的Ta环不会发生晃动，从而避免了设备偏压异常报警。优选地，所述Ta环的直径为385.07～385.57mm，例如385.1mm、385.2mm、385.3mm、385.4mm或385.5mm等。优选地，所述柱状把手包括底座和设置在所述底座上的圆柱，所述圆柱的一周设置有圆环。本专利技术所述底座、圆柱和圆环为一体式结构。优选地，所述Ta环包括柱状把手和环体，所述柱状把手设置在所述环体的外壁上。优选地，所述圆柱的外壁与所述圆环的内壁间的距离为4.25mm-4.51mm，例如4.3mm、4.35mm、4.4mm、4.45mm或4.5mm等。优选地，所述圆柱与所述圆环的中轴线重合。优选地，所述圆柱的直径为8.76mm-9.02mm，例如8.8mm、8.9mm或9.0mm等。优选地，所述圆环的内壁的直径为17.52mm-17.78mm，例如17.6mm、17.65mm或17.7mm等。优选地，所述实装锅上与所述柱状把手对应位置处的通孔的直径15.7mm-16.1mm，例如15.8mm、15.9mm或16mm等。第二方面，本专利技术提供了一种防松动的Ta环的设计方法，所述方法采用如第一方面所述的防松动的Ta环；其中，所述防松动的Ta环的端口对称设置的两个柱状把手的中轴线间的夹角的计算方法如下所示：其中，θ为所述两个柱状把手的中轴线之间的夹角，α值为所述实装锅上与所述两个柱状把手对应位置处的两个通孔间夹角角度，d为实装锅上与所述柱状把手对应位置处的通孔的直径，a为陶瓷圈的厚度，b为柱形把手内的圆柱的直径，D为所述防松动的Ta环的直径。优选地，陶瓷圈的厚度为2.83mm-2.96mm，例如2.84mm、2.86mm、2.88mm、2.9mm、2.92mm或2.94mm等。本专利技术所述陶瓷圈的厚度指的是陶瓷圈的内外直径间的差值，即陶瓷圈的厚度＝(陶瓷圈的外壁直径-陶瓷圈的内壁的直径)/2。相对于现有技术，本专利技术具有以下有益效果：(1)本专利技术所述防松动的Ta环的端口两侧的柱状把手的中轴线间的夹角由实装锅上与所述柱状把手对应位置处的通孔的直径、安装使用的陶瓷圈的厚度及柱状把手内的圆柱的直径共同计算得到，采用上述夹角的Ta环，将其安装在实装锅上后，所述柱状把手内的圆柱的外壁与所述陶瓷圈的内壁相互贴合，且实装锅的通孔内壁与所述陶瓷圈贴合，从而使得陶瓷圈被柱状把手和实装锅的通孔内壁夹紧，进而使得Ta环不会发生晃动；(2)本专利技术所述防松动的Ta环安装后，由于其不会发生松动，从而达到了避免本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防松动的Ta环，其特征在于，所述Ta环的端口两侧对称设置有两个柱状把手，所述两个柱状把手的中轴线之间的夹角：/n

【技术特征摘要】
1.一种防松动的Ta环，其特征在于，所述Ta环的端口两侧对称设置有两个柱状把手，所述两个柱状把手的中轴线之间的夹角：



其中，θ为所述两个柱状把手的中轴线之间的夹角，d为实装锅上与所述柱状把手对应位置处的通孔的直径，α值为所述实装锅上与所述两个柱状把手对应位置处的两个通孔间夹角角度，a为陶瓷圈的厚度，b为柱形把手内的圆柱的直径，D为所述防松动的Ta环的直径。


2.如权利要求1所述的防松动的Ta环，其特征在于，所述Ta环的直径为385.57～385.07mm。


3.如权利要求1或2所述的防松动的Ta环，其特征在于，所述柱状把手包括底座和设置在所述底座上的圆柱，所述圆柱的一周设置有圆环。


4.如权利要求3所述的防松动的Ta环，其特征在于，所述圆柱的外壁与所述圆环的内壁间的距离为4.25mm-4.51mm。


5.如权利要求3或4所述的防松动的Ta环，其特征在于，所述圆柱与所述圆环的中轴线重合。


6.如权利要求3-5任一项所述的防...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，冯周瑜，吴浩，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33