【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于合金磨削加工，涉及一种硬质合金的表面加工方法。
技术介绍
1、硬质合金材料具有很高的硬度、强度、耐磨性和耐腐蚀性，其在半导体溅射靶材领域应用较为广泛，溅射靶材良好的表面状态是获得具有优异性能薄膜的前提，所得的薄膜均一性优异、异常放电少及粒子产生小。
2、硬质合金表面的处理在硬质合金生产中起到非常重要的作用，因此，对硬质合金表面处理的光洁度提出了很苛刻的要求。传统的硬质合金材料表面采用车床加工控制靶坯表面质量，由于硬质合金材料的硬脆特性，对于车削刀具质量有很高的要求且较费刀具，同时加工的过程中，易出现卡屑、崩角等问题，加工稳定性较差。
3、cn109848761a公开了一种硬质合金表面处理工艺，包括如下步骤：步骤一：将硬质合金放入超声波发生器中3min，进行除蜡和除油处理，步骤二：再检测磨床的工作状态，开启磨床工作2min，确定磨床工作正常后，关闭磨床，再将经过步骤一处理后的硬质合金放置在磨床打磨部位，开启磨床对硬质合金的表面进行打磨处理，使得硬质合金表面凸起点打磨干净。在步骤六中，合成液先将硬质合金表面的一部分杂质反应掉，然后再对硬质合金表面起到打光的作用。但所述处理工艺存在工艺复杂、流程长、效率低、成本高等缺点。
4、cn104400567b公开了一种金属板的超镜面抛光方法，包括如下步骤：(1)将金属板片经磨床磨削或精轧机冷轧获得平直的板面形状，上述冷轧的压下率为3～30％；(2)将水磨砂纸粘贴于金相磨抛机的转盘上，对经步骤(1)加工过的金属板片进行打磨；(3)将步骤(2)打磨
5、综上所述，提供一种硬质合金的表面加工方法，以改善其表面镜面效果及粗糙度，进而保证了后续靶材的溅射性能，成为了本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种硬质合金的表面加工方法，所述表面加工方法在保证加工稳定性的情况下，改善了硬质合金的表面镜面效果，从而保证了靶材的溅射性能。
2、为达到此专利技术目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、本专利技术提供了一种硬质合金的表面加工方法，所述表面加工方法包括对硬质合金依次进行第一磨削和第二磨削；
4、所述第一磨削和第二磨削均分为至少2步进行，例如可以是2步、3步、4步或5步等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
5、本专利技术中，所述硬质合金包括钨系硬质合金。
6、本专利技术通过采用不同目数的砂轮进行两次磨削处理，在保证加工稳定性的情况下，实现了硬质合金的高效、高精度磨削，改善了硬质合金的表面镜面效果，从而保证了靶材的溅射性能。
7、作为本专利技术优选的技术方案，所述硬质合金进行第一磨削前还包括：对硬质合金进行整平至平面度＜0.1mm，例如可以是0.09mm、0.08mm、0.07mm、0.05mm、0.04mm、0.02m或0.01mm等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
8、作为本专利技术优选的技术方案，所述第一磨削的砂轮目数为70#-100#，例如可以是75#、80#、85#、90#或95#等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
9、本专利技术中，所述砂轮的材质为金刚石；所述第一磨削和第二磨削均在自动磨床上进行加工。
10、优选地，所述第一磨削分为2步进行，包括依次进行的第一粗磨和第一精磨。
11、本专利技术中，所述第一磨削为依次进行的第一粗磨和第一精磨，其目的是保证加工稳定性，避免加工表面存在划痕，同时可以减小砂轮的冲击损伤，增加了砂轮的寿命。经过第一磨削后，硬质合金的粗糙度ra＜1μm。
12、作为本专利技术优选的技术方案，所述第一粗磨的砂轮转速为30-35m/s，例如可以是30.5m/s、31m/s、31.5m/s、32m/s、32.5m/s、33m/s、33.5m/s、34m/s或34.5m/s等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
13、优选地，所述第一粗磨的砂轮进给量为3-8mm/道次，例如可以是4mm/道次、5mm/道次、6mm/道次、7mm/道次或7.5mm/道次等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
14、优选地，所述第一粗磨的磨台移动速度为10-20m/min，例如可以是11m/min、12m/min、13m/min、14m/min、15m/min、16m/min、17m/min、18m/min或19m/min等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
15、优选地，所述第一粗磨的下压磨削量为0.005-0.01mm/道次，例如可以是0.006mm/道次、0.007mm/道次、0.008mm/道次、0.009mm/道次或0.0095mm/道次等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
16、作为本专利技术优选的技术方案，所述第一精磨的砂轮转速为30-35m/s，例如可以是30.5m/s、31m/s、31.5m/s、32m/s、32.5m/s、33m/s、33.5m/s、34m/s或34.5m/s等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
17、优选地，所述第一精磨的砂轮进给量为3-8mm/道次，例如可以是4mm/道次、5mm/道次、6mm/道次、7mm/道次或7.5mm/道次等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
18、优选地，所述第一精磨的磨台移动速度为10-20m/min，例如可以是11m/min、12m/min、13m/min、14m/min、15m/min、16m/min、17m/min、18m/min或19m/min等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
19、优选地，所述第一精磨的下压磨削量为0.002-0.005mm/道次，例如可以是0.0025mm/道次、0.003mm/道次、0.0035mm/道次、0.004mm/道次或0.0045mm/道次等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用，优选为0.002-0.004mm/道次。
20、本专利技术中，所述第一精磨的下压磨削量＜所述第一粗磨的下压磨削量。
21、作为本专利技术优选的技术方案，所述第二磨削的砂轮目数为280#-320#，例如可以是285#、290#、295#、300#、305#、310#或315#等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
22、本专利技术中，采用目数较小的金刚石砂轮进行第一磨削，然后采用目数较大的金刚石砂轮本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硬质合金的表面加工方法，其特征在于，所述表面加工方法包括对硬质合金依次进行第一磨削和第二磨削；
2.根据权利要求1所述的表面加工方法，其特征在于，所述硬质合金进行第一磨削前还包括：对硬质合金进行整平至平面度＜0.1mm。
3.根据权利要求1或2所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一磨削的砂轮目数为70#-100#；
4.根据权利要求3所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一粗磨的砂轮转速为30-35m/s；
5.根据权利要求3或4所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一精磨的砂轮转速为30-35m/s；
6.根据权利要求1-5任一项所述的表面加工方法，其特征在于，所述第二磨削的砂轮目数为280#-320#；
7.根据权利要求6所述的表面加工方法，其特征在于，所述第二粗磨的砂轮转速为30-35m/s；
8.根据权利要求6或7所述的表面加工方法，其特征在于，所述第二精磨的砂轮转速为30-35m/s；
9.根据权利要求1-8任一项所述的表面加工方法，其特征在于，所述第二磨削结束后硬
10.根据权利要求1-9任一项所述的表面加工方法，其特征在于，所述表面加工方法包括对硬质合金依次进行整平、第一磨削和第二磨削；
...【技术特征摘要】
1.一种硬质合金的表面加工方法，其特征在于，所述表面加工方法包括对硬质合金依次进行第一磨削和第二磨削；
2.根据权利要求1所述的表面加工方法，其特征在于，所述硬质合金进行第一磨削前还包括：对硬质合金进行整平至平面度＜0.1mm。
3.根据权利要求1或2所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一磨削的砂轮目数为70#-100#；
4.根据权利要求3所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一粗磨的砂轮转速为30-35m/s；
5.根据权利要求3或4所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一精磨的砂轮转速为30-35m/s；
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【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，陈少辉，沈学峰，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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