【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于合金磨削加工，涉及一种硬质合金的表面加工方法。
技术介绍
1、硬质合金材料具有很高的硬度、强度、耐磨性和耐腐蚀性，其在半导体溅射靶材领域应用较为广泛，溅射靶材良好的表面状态是获得具有优异性能薄膜的前提，所得的薄膜均一性优异、异常放电少及粒子产生小。
2、硬质合金表面的处理在硬质合金生产中起到非常重要的作用，因此，对硬质合金表面处理的光洁度提出了很苛刻的要求。传统的硬质合金材料表面采用车床加工控制靶坯表面质量，由于硬质合金材料的硬脆特性，对于车削刀具质量有很高的要求且较费刀具，同时加工的过程中，易出现卡屑、崩角等问题，加工稳定性较差。
3、cn109848761a公开了一种硬质合金表面处理工艺，包括如下步骤：步骤一：将硬质合金放入超声波发生器中3min，进行除蜡和除油处理，步骤二：再检测磨床的工作状态，开启磨床工作2min，确定磨床工作正常后，关闭磨床，再将经过步骤一处理后的硬质合金放置在磨床打磨部位，开启磨床对硬质合金的表面进行打磨处理，使得硬质合金表面凸起点打磨干净。在步骤六中，合成液先将硬质合金...
【技术保护点】
1.一种硬质合金的表面加工方法，其特征在于，所述表面加工方法包括对硬质合金依次进行第一磨削和第二磨削；
2.根据权利要求1所述的表面加工方法，其特征在于，所述硬质合金进行第一磨削前还包括：对硬质合金进行整平至平面度＜0.1mm。
3.根据权利要求1或2所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一磨削的砂轮目数为70#-100#；
4.根据权利要求3所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一粗磨的砂轮转速为30-35m/s；
5.根据权利要求3或4所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一精磨的砂轮转速为30-35m/s；
...【技术特征摘要】
1.一种硬质合金的表面加工方法，其特征在于，所述表面加工方法包括对硬质合金依次进行第一磨削和第二磨削；
2.根据权利要求1所述的表面加工方法，其特征在于，所述硬质合金进行第一磨削前还包括：对硬质合金进行整平至平面度＜0.1mm。
3.根据权利要求1或2所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一磨削的砂轮目数为70#-100#；
4.根据权利要求3所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一粗磨的砂轮转速为30-35m/s；
5.根据权利要求3或4所述的表面加工方法，其特征在于，所述第一精磨的砂轮转速为30-35m/s；
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【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，陈少辉，沈学峰，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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