【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于溅射靶材加工，涉及一种管靶的加工方法。
技术介绍
1、管状靶材即把靶材做成管子形状，管子里面装有静止不动的磁体。溅射过程中，管靶以一定的速度转动，所以也被称为旋转靶材。由于转动的旋转靶材和静止不动的磁体之间发生相对运动，使得整个旋转靶材表面均匀地发生溅射，靶材材料的利用率可以高达70％以上。与平面靶材相比，旋转靶材具有利用率高、镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点，是理想的溅射靶材，市场需求量巨大。随着镀膜行业从使用平面靶材向使用旋转靶材转变，旋转靶材正在成为磁控溅射设备的标准选材。
2、cn107267937a公开了一种溅射用高纯度无氧铜管靶材制备工艺，该方法主要包括以下步骤：预热、熔炼、铸造、加热、挤压、一次拉伸、退火、二次拉伸、光亮退火、精整、检查力学性能、入库。但该方法工序较为复杂，需要经过多次挤压、拉伸、退火过程，不利于批量化生产。
3、cn112846660a公开了一种厚壁大长径比高纯铜管靶加工方法，所述加工方法包括以下步骤：1)高纯铜铸锭制备；2)高纯铜管材制备；3)高纯铜管坯制备；4)高纯铜管靶的加工；并经过后续清洗烘干和包装过程得到成品高纯铜管靶。其采用同步支撑组件来对所述高纯铜管靶坯进行支撑，并且在加工过程中与所述高纯铜管靶坯同步旋转，保证所述高纯铜管靶坯的安全装夹，同时防止所述高纯铜管靶坯由于重力而产生变形。但其需设计专属夹具与管靶坯相配套，然而加工管靶工序较多，过程中难免出现异常，夹具配套尺寸也会随之变动，且夹具不能通用于所有尺寸类型的管靶。
4、现有技术中通
5、综上所述，开发一种长管靶材的加工方法，既能适用于各种尺寸的管体外圆加工，同时能避免机加工过程中靶材出现振刀问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种管靶的加工方法，所述加工方法解决现有管靶加工过程中出现振刀的难题，保障了加工的安全性，提高了加工效率及产品良率，同时可适用于管体外圆的各种尺寸加工，适合工业化推广。
2、为达到此专利技术目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、本专利技术提供了一种管靶的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：
4、(1)将待加工管靶的两端进行旋转车削，形成车削区域；
5、(2)将步骤(1)所述车削区域进行全周缠绕，形成缠绕区域；
6、(3)将带滚轮的中心架置于步骤(2)所述缠绕区域上，然后调节滚轮与缠绕区域相接触，之后对待加工管靶进行机加工。
7、本专利技术提供的加工方法适用于低硬度、长管靶材的加工，通过旋转车削车出要架中心架的位置，并使其表面光滑，然后对其进行全周缠绕，之后调节滚轮与缠绕区域相接触，避免了加工过程中滚轮陷入管靶表面的问题，从而避免了靶材加工过程中振刀现象的发生，保障了加工的安全性，提高了加工效率及产品良率，同时可适用于管体外圆的各种尺寸加工，适合工业化推广。
8、作为本专利技术优选的技术方案，所述待加工管靶的长度≥2800mm，例如可以是2850mm、2900mm、2950mm、3000mm、3050mm、3100mm、3200mm、3300mm或3500mm等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用，优选为2800-3200mm。
9、本专利技术中，因管靶的长度较长，加工过程需用到中心架支撑。
10、作为本专利技术优选的技术方案，所述待加工管靶的硬度为2-10hv，例如可以是3hv、4hv、5hv、6hv、7hv、8hv或9hv等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用，优选为2-5hv。
11、优选地，所述待加工管靶的材质包括铝。
12、作为本专利技术优选的技术方案，步骤(1)所述旋转车削的进给量为0.05-0.15mm/r，例如可以是0.06mm/r、0.07mm/r、0.08mm/r、0.09mm/r、0.1mm/r、0.11mm/r、0.12mm/r、0.13mm/r或0.14mm/r等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
13、优选地，步骤(1)所述旋转车削的转速为100-200r/min，例如可以是110r/min、120r/min、130r/min、140r/min、150r/min、160r/min、170r/min、180r/min或190r/min等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
14、优选地，步骤(1)所述旋转车削的背吃刀量为0.2-1mm，例如可以是0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.6mm、0.7mm、0.8mm或0.9mm等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
15、作为本专利技术优选的技术方案，步骤(1)所述车削区域的长度为55-60mm，例如可以是55.5mm、56mm、56.5mm、57mm、57.5mm、58mm、58.5mm、59mm或59.5mm等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
16、作为本专利技术优选的技术方案，步骤(2)所述全周缠绕为：采用耐压胶带绕着车削区域进行至少一圈的缠绕。
17、需要说明的是，本专利技术对耐压胶带的具体使用材料不作特殊限定，耐压胶带在本专利技术中的作用是滚轮位置能撑住外在的压力，防止产品表面压伤，避免加工过程中的振刀现象，对其具体使用材料在此不作限定。
18、优选地，所述耐压胶带的宽度为40-50mm，例如可以是41mm、42mm、43mm、44mm、45mm、46mm、47mm、48mm或49mm等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
19、优选地，所述耐压胶带的厚度为0.15-0.25mm，例如可以是0.16mm、0.17mm、0.18mm、0.19mm、0.2mm、0.21mm、0.22mm、0.23mm或0.24mm等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
20、作为本专利技术优选的技术方案，步骤(2)所述缠绕区域各点的厚度均相同。
21、需要说明的是，本专利技术需控制缠绕区域各个地方的厚度均相同，才能避免靶材加工过程中振刀现象的发生。若缠绕区域各个地方的厚度不一致，则加工过程中滚轮会陷入管靶表面，导致振刀现象发生，进而导致产品良率下降。
22、作为本专利技术优选的技术方案，步骤(3)所述滚轮的宽度为22-25mm，例如可以是22.2mm、22.5mm、22.7mm、23mm、23.2mm、23.5mm、23.7mm、24mm、24.2mm、24.5mm、24.7mm或24.9mm等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
23、需要说明的是，本发本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种管靶的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述待加工管靶的长度≥2800mm，优选为2800-3200mm。
3.根据权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，所述待加工管靶的硬度为2-10HV，优选为2-5HV；
4.根据权利要求1-3任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述旋转车削的进给量为0.05-0.15mm/r；
5.根据权利要求1-3任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述车削区域的长度为55-60mm。
6.根据权利要求1-5任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述全周缠绕为：采用耐压胶带绕着车削区域进行至少一圈的缠绕；
7.根据权利要求1-6任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述缠绕区域各点的厚度均相同。
8.根据权利要求1-7任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)所述滚轮的宽度为22-25mm；
9.根据权利要求1-8任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(3)
10.根据权利要求1-8任一项所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种管靶的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述待加工管靶的长度≥2800mm，优选为2800-3200mm。
3.根据权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，所述待加工管靶的硬度为2-10hv，优选为2-5hv；
4.根据权利要求1-3任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述旋转车削的进给量为0.05-0.15mm/r；
5.根据权利要求1-3任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述车削区域的长度为55-60mm。
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【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，姜钢锋，王学泽，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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