镀膜治具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种镀膜治具，涉及溅射镀膜技术领域，本实用新型专利技术提供的镀膜治具包括：承载组件和压片组件，承载组件设有外凸圆柱面，压片组件与承载组件可拆卸地连接；当压片组件与承载组件连接时，压片组件抵接外凸圆柱面，且沿外凸圆柱面的圆周方向弯曲；压片组件用于连接可弯曲变形的镀膜基片，并使镀膜基片沿外凸圆柱面的圆周方向弯曲，本实用新型专利技术提供的镀膜治具缓解了使用旋转式溅射镀膜机加工大尺寸镀膜基片的成片率低下的技术问题，能够使镀膜基片的镀膜面由平面转变为圆柱面，有利于降低镀膜散差，提高大尺寸镀膜基片的成片率。

Coating fixture

【技术实现步骤摘要】
镀膜治具
本技术涉及溅射镀膜
，尤其是涉及一种镀膜治具。
技术介绍
旋转式溅射镀膜是指将镀膜基片装载至能够旋转的加工架上，当加工架绕其旋转轴旋转时，能够使固定在加工架上的多个镀膜基片逐个被靶材溅射。在使用旋转式溅射镀膜机对大尺寸镀膜基片镀膜时，镀膜基片边缘区域的镀层厚度往往与镀膜基片中心处的镀层厚度不等。以对77mm×77mm的镀膜基片进行溅射镀膜为例，以镀层厚度达到预设厚度范围作为镀膜是否有效的评判标准，当镀膜基片完成镀膜时，镀膜基片的实际有效区域仅有35mm×35mm左右，因此成片率仅为21％左右。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种镀膜治具，以缓解现有技术中使用旋转式溅射镀膜机加工大尺寸镀膜基片的成片率低下的技术问题。第一方面，本技术提供的镀膜治具，包括：承载组件和压片组件，所述承载组件设有外凸圆柱面，所述压片组件与所述承载组件可拆卸连接；当所述压片组件与所述承载组件连接时，所述压片组件抵接所述外凸圆柱面，且沿所述外凸圆柱面的圆周方向弯曲；所述压片组件用于将可弯曲变形的镀膜基片固定在所述承载组件上，并使所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜治具，其特征在于，包括：承载组件(1)和压片组件(2)，所述承载组件(1)设有外凸圆柱面，所述压片组件(2)与所述承载组件(1)可拆卸连接；/n当所述压片组件(2)与所述承载组件(1)连接时，所述压片组件(2)抵接所述外凸圆柱面；/n所述压片组件(2)用于将可弯曲变形的镀膜基片固定在所述承载组件(1)上，并使所述镀膜基片沿所述外凸圆柱面的圆周方向弯曲。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀膜治具，其特征在于，包括：承载组件(1)和压片组件(2)，所述承载组件(1)设有外凸圆柱面，所述压片组件(2)与所述承载组件(1)可拆卸连接；
当所述压片组件(2)与所述承载组件(1)连接时，所述压片组件(2)抵接所述外凸圆柱面；
所述压片组件(2)用于将可弯曲变形的镀膜基片固定在所述承载组件(1)上，并使所述镀膜基片沿所述外凸圆柱面的圆周方向弯曲。


2.根据权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述压片组件(2)包括：第一板件(21)和第二板件(22)，所述第一板件(21)上设有凸沿部(211)，所述凸沿部(211)围设形成压片槽(212)；
所述第二板件(22)与所述第一板件(21)可拆卸连接；
当所述第二板件(22)与所述第一板件(21)连接时，所述第二板件(22)抵接所述凸沿部(211)，所述第二板件(22)与所述压片槽(212)的底面间形成夹片区。


3.根据权利要求2所述的镀膜治具，其特征在于，所述凸沿部(211)朝向所述压片槽(212)的一侧设有限位凸起(213)。


4.根据权利要求2所述的镀膜治具，其特征在于，所述第一板件(21)包括：第一圆环部(214)、第一侧沿部(215)和第二侧沿部(216)，所述第一侧沿部(215)和所述第二侧沿部(216)分别位于所述第一圆环部(214)同一直径的两端，且均与所述第一圆环部(214)连接。


5.根据权利要求4所述的镀膜治具，其特征在于，所述第一圆环部(214)的内侧连接有第一内沿部(...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆张武，徐征驰，黄敏，王迎，李恭剑，
申请(专利权)人：浙江晶驰光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33