【技术实现步骤摘要】
一种光学塑料基板镀膜装置
本专利技术涉及一种镀膜装置,特别是涉及一种用于蒸镀光学塑料基板的镀膜装置。
技术介绍
光学塑料是指用作光学介质材料的塑料。主要用在光学仪器中,用于制造光学基板、透镜、隐形眼镜、有机光导纤维等。已获得应用的光学塑料主要有PMMA、PET、PC、PS等。未来塑料基板可取代玻璃基板成为次世代显示器材料,因为塑料基板拥有较玻璃基板之轻、薄、耐冲击、可卷曲等优势,可应用于许多可携式及穿戴式显示装置,以提高使用寿命并增加使用范围。目前塑料基板镀膜在光电产业作为性能优异的透明材料可应用于触控式面板屏幕、液晶显示面板(LCDpanel)、有机发光二极管(OLED)、电子书(e-book)、偏光板、光储存、各种灯具、照明器材、光导纤维等领域。在大气环境下,塑料基材比玻璃基板容易吸附水气,因此在镀膜过程中会因真空环境及受热的关系而有释气的现象。释气会造成镀膜时成膜不稳定,使得镀膜制程参数不易控制,而且也会影响成膜的牢固度。目前,一般常规使用真空蒸镀法进行成膜都会使用IAD辅助低温真空蒸镀工艺来提高膜层与基板间的结合率,这样的工艺生产设备成本较高,生产效率也不是很高。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种光学塑料基板镀膜装置,解决塑料基板蒸镀后膜层牢固度较差,易起泡剥离的问题。本专利技术的技术方案是这样的:一种光学塑料基板镀膜装置,包括置于真空炉内的镀膜伞具、蒸发源和导电棒,所述镀膜伞具设有侧板和伞面,所述侧板和伞面用于放置待镀膜基板,所述蒸发源设置在镀膜伞具内,所述导电棒设置在基板与蒸发源之间,所述导电棒与基板表面夹角为0~5°,所述导电棒与基板距离 ...
【技术保护点】
一种光学塑料基板镀膜装置,包括置于真空炉内的镀膜伞具(1)和蒸发源(2),所述镀膜伞具(1)设有侧板(1b)和伞面(1a),所述侧板(1b)和伞面(1a)用于放置待镀膜基板(3),所述蒸发源(2)设置在镀膜伞具(1)内,其特征在于,包括导电棒(4),所述导电棒(4)设置在基板(3)与蒸发源(2)之间,所述导电棒(4)与基板(3)表面夹角为0~5°,所述导电棒(4)与基板(3)距离20~40cm,所述导电棒(4)连接1.2~1.5kV电源(5)。
【技术特征摘要】
1.一种光学塑料基板镀膜装置,包括置于真空炉内的镀膜伞具(1)和蒸发源(2),所述镀膜伞具(1)设有侧板(1b)和伞面(1a),所述侧板(1b)和伞面(1a)用于放置待镀膜基板(3),所述蒸发源(2)设置在镀膜伞具(1)内,其特征在于,包括导电棒(4),所述导电棒(4)设置在基板(3)与蒸发源(2)之间,所述导电棒(4)与基板(3)表面夹角为0~5°,所述导电棒(4)与基板(3)距离20~40cm,所述导电棒(4)连接1.2~1.5kV电源(5)。2.根据权利要求1所述的光学塑料基板...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚裕,范辛,
申请(专利权)人:京浜光学制品常熟有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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