【技术实现步骤摘要】
拼版蒸镀掩模的制造方法及有机半导体元件的制造方法本申请是大日本印刷株式会社于2013年1月11日提交的名称为“拼版蒸镀掩模的制造方法及由此所得拼版蒸镀掩模以及有机半导体元件的制造方法”、申请号为201380005281.3的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及拼版蒸镀掩模的制造方法及由此所得拼版蒸镀掩模以及有机半导体元件的制造方法。
技术介绍
目前,在有机EL元件的制造中,有机EL元件的有机层或者阴极电极的形成中,例如使用由在要蒸镀的区域将多个微细缝隙以微小间隔平行排列而成的金属构成的蒸镀掩模。在使用该蒸镀掩模的情况下,在要蒸镀的基板表面载置蒸镀掩模,使用磁铁从背面进行保持,但由于缝隙的刚性极小,因此,在将蒸镀掩模保持在基板表面时,在缝隙容易产生变形,成为高精细化或者缝隙长度变大的产品的大型化的障碍。关于用于防止缝隙的变形的蒸镀掩模进行了各种研究,例如,在专利文献1提出有如下的蒸镀掩模,即,具备:具备多个开口部的兼具第一金属掩模的底板;在覆盖上述开口部的区域具备多个微细的缝隙的第二金属掩模;以在缝隙的长度方向拉伸第二金属掩模的状态而使其位于底板上的掩模拉伸保持装置。即,提出有组合两种金属掩模的蒸镀掩模。根据该蒸镀掩模,在缝隙不产生失真而能够确保缝隙精度。但是,最近,伴随使用有机EL元件的产品的大型化或者基板尺寸的大型化,对蒸镀掩模的大型化的要求也变高,由金属构成的蒸镀掩模的制造所使用的金属板也大型化。但是,在目前的金属加工技术中,难以在大型的金属板高精度地形成缝隙,即使通过上述专利文献1所提出的方法等可防止缝隙部的变形,但是不能够实现缝隙的高精细化 ...
【技术保护点】
一种拼版蒸镀掩模的制造方法,该拼版蒸镀掩模在框体内的开口空间配置多个掩模而构成,其特征在于,所述制造方法具有如下的工序:准备框体的工序;在所述框体上安装多个设有缝隙的金属掩模、及位于所述多个金属掩模的表面侧的树脂薄膜材料的工序;通过对所述树脂薄膜材料进行加工,形成与要蒸镀制作的图案对应的开口部,从而制作树脂掩模的工序。
【技术特征摘要】
2012.01.12 JP 2012-0044881.一种拼版蒸镀掩模的制造方法,该拼版蒸镀掩模在框体内的开口空间配置多个掩模而构成,其特征在于,所述制造方法具有如下的工序:准备框体的工序;在所述框体上安装多个设有缝隙的金属掩模、及位于所述多个金属掩模的表面侧的树脂薄膜材料的工序;通过对所述树脂薄膜材料进行加工,形成与要蒸镀制作的图案对应的开口部,从而制作树脂掩模的工序。2.如权利要求1所述的拼版蒸镀掩模的制造方法,其特征在于,作为所述框架,使用具有将其开口空间划分成多个的梁部的框架。3.如权利要求1所述的拼版蒸镀掩模的制造方法,其特征在于,在所述框体上安装所述金属掩模及所述树脂薄膜材料的工序中,(1)所述框体具有将其开口空间沿纵横方向划分成多个的梁部,并且,作为所述树脂薄膜材料,使用多张相对于所述各金属掩模分别具有相应的尺寸的树脂薄膜材料,在将所述多张树脂薄膜材料分别相对于所述框体的梁部安装前后,在各个所述树脂薄膜材料上的规定位置分别配置金属掩模,(2)所述树脂薄膜材料为覆盖所述框体内的开口空间的实质上整个面的一片树脂薄膜材料,所述多个金属掩模在将所述树脂薄膜材料安装在所述框体前后,分别配置在所述树脂薄膜材料上的规定位置,或者,(3)作为树脂薄膜材料,组合多张具有与所述框体内的开口空间的纵横方向的任一方向的尺寸对应的长度且在另一方向具有比开口空间的尺寸短的长度的树脂薄膜材料,所述多个金属掩模在将所述树脂薄膜材料安装在所述框体前后,分别配置在所述树脂薄膜材料上的规定位置。4.如权利要求1所述的拼版蒸镀掩模的制造方法,其特征在于,作为所述多个金属掩模,将该多个金属掩模中的几个作为一体形成的金属掩模集合体部件而形成并且使用多个这样的金属掩模集合体部件。5.如权利要求1所述的拼版蒸镀掩模的制造方法,其特征在于,在所述框体内配置所述金属掩模中,其设计上的配置位置与实际的配置位置之间的缝隙的宽度方向上的最大容许误差为所述开口部的间距的0.2倍以内,缝隙的长度方向上的最大容许误差为5mm以内,进行配置作业。6.如权利要求1所述的拼版蒸镀掩模的制造方法,其特征在于,对所述树脂薄膜材料进行激光加工,形成与所述要蒸镀制作的图案对应的开口部。7.如权利要求1所述的拼板蒸镀掩模的制造方法,其特征在于,在加工树脂薄膜材料,形成与要蒸镀制作的图案对应的开口部时,准备预先设有与所述开口部对应的图案的基准板,将该基准板贴合在树脂薄膜材料的未设有金属掩模的一侧的面上,经由树脂薄膜材料识别所述基准板的图案,同时,从金属掩模侧按照基准板的图案进行激光照射,在树脂薄膜材料形成开口图案。8.如权利要求1所述的拼板蒸镀掩模的制造方法,其特征在于,在所述金属掩模上设有多个所...
【专利技术属性】
技术研发人员:广部吉纪,松元丰,牛草昌人,武田利彦,小幡胜也,西村佑行,
申请(专利权)人:大日本印刷株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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