一种蒸镀机制造技术

本发明专利技术提供一种蒸镀机，所述蒸镀机包括：蒸发源组，包括至少两个蒸发源；气体通道，包括公共气体通道和至少两个子气体通道，阀门组，包括公共阀门和至少两个子阀门，每个所述子气体通道对应设置一所述子阀门，所述公共阀门用于控制所述公共气体通道的导通或者不导通；所述子阀门用于控制对应的所述子气体通道的导通或者不导通。本发明专利技术的蒸镀机，增加至少一个蒸发源，选定其中一个进行蒸镀，当蒸镀中断时，将该蒸镀的蒸发源蒸发的材料沉积在其余蒸发源中，在恢复蒸镀时，能够维持原有速率的同时，降低能源损耗。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】
本专利技术涉及液晶显示器
，特别是涉及一种蒸镀机。【
技术介绍
】有机发光二极管(0LED)显示技术较之当前主流的液晶显示技术，具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等优点。近年来0LED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及，发展势头强劲。0LED技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子0LED技术和以溶液制程为基础的高分子0LED技术。蒸镀机是当前已量产的小分子0LED器件生产的主要设备，其设备核心部分为蒸发源装置，分为点蒸发源、线蒸发源、面蒸发源等。线蒸发源为当前重要的0LED量产技术，主要分为一体式线蒸发源和输送式线蒸发源。图1为现有蒸镀机的结构示意图。如图1所示，现有输送式蒸发源装置包括蒸发源11，与蒸发源连接的气体通道12 ;与气体通道连接的输出部13。其中蒸发源11、气体通道12、输出部13均设有独立的加热装置、冷却装置及温度监控装置，通过温度控制装置精确控制各部分的温度。气体通道上还设有速率监测器15(Rate Monitor)及阀门16，输出部13设有若干蒸发喷咀14。输送本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀机，其特征在于，包括：蒸发源组，包括至少两个蒸发源，所述蒸发源具有一腔体，所述蒸发源用于对其腔体内的蒸发材料进行蒸发，以产生蒸发气体；气体通道，包括公共气体通道和至少两个子气体通道，所述公共气体通道用于将所述蒸发源产生的蒸发气体导出到基板表面；每个所述蒸发源对应设置一所述子气体通道；所述子气体通道的一端与所述公共气体通道连通；所述子气体通道的另一端与对应的所述蒸发源连通；阀门组，包括公共阀门和至少两个子阀门，每个所述子气体通道对应设置一所述子阀门，所述公共阀门用于控制所述公共气体通道的导通或者不导通；所述子阀门用于控制对应的所述子气体通道的导通或者不导通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沐俊应，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42