【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种蒸发源,包括坩埚,用于产生蒸镀气体;坩埚喷嘴,用于使所述蒸镀气体从所述坩埚中喷出,其特征在于,所述蒸发源还包括堵塞加热器,用于对所述坩埚喷嘴进行加热处理。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:胡海兵,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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