一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法制造方法及图纸

技术编号:11695050 阅读:113 留言:0更新日期:2015-07-08 16:36
本发明专利技术提供一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法,属于蒸镀设备技术领域,其可解决现有的蒸发源因喷嘴堵塞导致的所有有机蒸镀腔室停止使用、有机蒸镀材料浪费严重以及产量和器件性能降低的问题。本发明专利技术的蒸发源,包括坩埚,用于产生蒸镀气体;坩埚喷嘴,用于使所述蒸镀气体从所述坩埚中喷出,所述蒸发源还包括堵塞加热器,用于对所述坩埚喷嘴进行加热处理。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种蒸发源,包括坩埚,用于产生蒸镀气体;坩埚喷嘴,用于使所述蒸镀气体从所述坩埚中喷出,其特征在于,所述蒸发源还包括堵塞加热器,用于对所述坩埚喷嘴进行加热处理。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:胡海兵
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
类型:发明
国别省市:北京;11

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