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本发明提供一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法，属于蒸镀设备技术领域，其可解决现有的蒸发源因喷嘴堵塞导致的所有有机蒸镀腔室停止使用、有机蒸镀材料浪费严重以及产量和器件性能降低的问题。本发明的蒸发源，包括坩埚，用于产生蒸镀气体；坩埚喷嘴，用于使所述...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司授权不得商用。