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本发明提供一种蒸镀机，所述蒸镀机包括：蒸发源组，包括至少两个蒸发源；气体通道，包括公共气体通道和至少两个子气体通道，阀门组，包括公共阀门和至少两个子阀门，每个所述子气体通道对应设置一所述子阀门，所述公共阀门用于控制所述公共气体通道的导通或者...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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