基板处理装置以及器件制造方法制造方法及图纸

提供一种能够以高生产性来生产高质量基板的基板处理装置、器件制造方法以及光罩。具备：光罩支承部件，其在照明区域内以沿着按规定曲率弯曲成圆筒面状的第一面的方式支承光罩的图案；基板支承部件，其在投影区域内以沿着规定的第二面的方式支承所述基板；以及驱动机构，其以使光罩的图案向规定的扫描曝光方向移动的方式使光罩支承部件旋转，且以使基板向扫描曝光方向移动的方式使基板支承部件移动，光罩支承部件在将第一面的直径设为φ、将第一面在与扫描曝光方向正交的方向上的长度设为L的情况下，满足1.3≤L/φ≤3.8。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及将光罩的图案投影至基板，并在该基板上曝光出该图案的基板处理装 置、器件制造方法以及用于此的圆筒光罩。
技术介绍
有一种制造液晶显示器等显示器件、半导体等各种器件的器件制造系统。器件制 造系统具备曝光装置等基板处理装置。专利文献1所记载的基板处理装置将配置在照明区 域内的光罩上所形成的图案的像投影至配置在投影区域内的基板等，并在基板上曝光出该 图案。用于基板处理装置的光罩有平面状光罩、圆筒状光罩等。 现有技术文献 专利文献 专利文献1 :日本特开2007-299918号公报 基板处理装置通过将光罩做成圆筒形状并使光罩旋转，而能够连续在基板上进行 曝光。另外，作为基板处理装置，还有一种将基板做成长条的薄片状并将其连续地送入至投 影区域下的卷对卷（roll to roll)方式。这样，基板处理装置就能使圆筒形状的光罩旋转， 并且，作为基板的搬送方法，通过使用卷对卷方式，能够连续输送基板和光罩双方。 在此，基板处理装置通常被要求高效地在基板上曝光出图案来提高生产性。使用 圆筒光罩作为光罩的情况下也是这样。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够以高生产性来生产高质量基板的基板处理装置、 器件制造方法以及圆筒光罩。 根据本专利技术的第一方式，提供一种基板处理装置，其具备：投影光学系统，其将来 自配置于照明光的照明区域内的光罩的图案的光束投射至配置有基板的投影区域；光罩 支承部件，其在照明区域内以沿着按规定曲率弯曲成圆筒面状的第一面的方式支承光罩的 图案；基板支承部件，其在投影区域内以沿着规定的第二面的方式支承基板；以及驱动机 构，其以使光罩的图案向规定的扫描曝光方向移动的方式使光罩支承部件旋转，且以使基 板向所述扫描曝光方向移动的方式使基板支承部件移动，光罩支承部件在将第一面的直径 设为Φ、将第一面在与扫描曝光方向正交的方向上的长度设为L的情况下，满足1. 3 < L/ Φ ^ 3. 8〇 根据本专利技术的第二方式，提供一种器件制造方法，其包括：使用第一方式所述的基 板处理装置在所述基板上形成所述光罩的图案；以及向所述基板处理装置供给所述基板。 根据本专利技术的第三方式，提供一种圆筒光罩，其沿着圆筒状的外周面形成有电子 器件用的光罩图案，且能够绕着中心线旋转，该圆筒光罩具有所述外周面的直径为Φ、所述 外周面在所述中心线的方向上的长度为La的圆筒基材，当将能够形成在所述圆筒基材的 外周面上的光罩图案在所述中心线的方向上的最大长度设为L时，在L < La的范围内，所 述直径Φ与所述长度L的比率L/ Φ设定为1. 3 < L/ Φ < 3. 8的范围。 根据本专利技术的第四方式，提供一种圆筒光罩，其沿着相对于规定的中心线具有固 定半径的圆筒面形成有光罩图案，且以能够绕着所述中心线旋转的方式安装在曝光装置 上，其中，在所述圆筒面上，以沿所述圆筒面的圆周方向隔开间隔Sx的方式排列形成有η个 (η多2)显示面板用的长方形的光罩区域，该光罩区域包括长边尺寸为Ld、短边尺寸为Lc、 且长宽比Asp为Ld/Lc的显示画面区域、和与其周边相邻地设置的周边电路区域，当将所 述光罩区域的长边方向的尺寸L设为所述显示画面区域的长边尺寸Ld的^倍（e 1)、 将所述光罩区域的短边方向的尺寸设为所述显示画面区域的短边尺寸Lc的％倍（e2> 1) 时，所述圆筒面的在所述中心线的方向上的长度设定为所述尺寸L以上，并且，当将所述圆 筒面的直径设为Φ、将圆周率设为π时，设定为π φ =n(e2*Lc+SX)，进一步地，以使所 述尺寸L与所述直径Φ的比率L/ Φ为1. 3 < L/ Φ < 3. 8的范围的方式设定所述直径Φ、 所述个数n、所述间隔Sx。 专利技术效果 根据本专利技术的方式，通过将由光罩支承部件保持的圆筒面状的光罩形状、或形成 于光罩上的图案的圆筒面状形状的直径Φ与长度L的关系设定成上述范围那样，能够以高 生产性高效地进行器件图案的曝光及转印。另外，通过将直径Φ与长度L的关系设定成上 述范围那样，即使在将多个显示面板用的图案沿着圆筒光罩的圆周面排列配置多面的情况 下，也能高效地配置各种显示尺寸的面板。【附图说明】 图1是表示第一实施方式的器件制造系统的整体结构的图。 图2是表示第一实施方式的曝光装置（基板处理装置）的整体结构的图。 图3是表示图2所示的曝光装置的照明区域和投影区域的配置的图。 图4是表示图2所示的曝光装置的照明光学系统和投影光学系统的结构的图。 图5是表示照射于圆筒光罩上的照明光束的状态、和从圆筒光罩产生的投影光束 的状态的图。 图6是表示构成圆筒光罩的圆筒轮与光罩的概要结构的立体图。 图7是表示在圆筒光罩的光罩面上将显示面板用的光罩配置一面的情况下的配 置例的展开图。 图8是表不在圆筒光罩的光罩面上将相同尺寸的光罩三个排成一列而配置三面 的配置例的展开图。 图9是表示在圆筒光罩的光罩面上将相同尺寸的光罩四个排成一列而配置四面 的配置例的展开图。 图10是表示在圆筒光罩的光罩面上将相同尺寸的光罩以两行两列的方式配置四 面的配置例的展开图。 图11是说明长宽比为2:1的显示面板用的光罩的配置两面的配置例的展开图。 图12是在特定的散焦容许量之下，模拟圆筒光罩的直径与曝光狭缝宽度的关系 的图表。 图13是表示将60英寸显示面板用的光罩配置一面的情况下的具体例的展开图。 图14是表示光罩的配置两面的配置例的展开图。 图15是表示32英寸显示面板用的光罩的配置两面的第一配置例的展开图。 图16是表示32英寸显示面板用的光罩的配置两面的第二配置例的展开图。 图17是表示将32英寸显示面板用的光罩配置一面的情况下的具体例的展开图。 图18是表示32英寸显示面板用的光罩的配置三面的具体配置例的展开图。 图19是表示37英寸显示面板用的光罩的配置三面的具体配置例的展开图。 图20是表示第二实施方式的曝光装置（基板处理装置）的整体结构的图。 图21是表示第三实施方式的曝光装置（基板处理装置）的整体结构的图。 图22是表示由器件制造系统进行的器件制造方法的流程图。【具体实施方式】 关于用以实施本专利技术的方式（实施方式），参照附图具体说明如下。本专利技术并不 受以下实施方式所记载的内容的限定。另外，以下记载的构成要素中，当然包含本领域技术 人员容易想到的要素、和实质上相同的要素。再者，以下记载的构成要素能够适当地进行组 合。另外，在不脱离本专利技术要旨的范围内，能够进行构成要素的各种省略、置换或变更。例 如，在以下实施方式中，作为器件虽然以制造柔性显示器的情况为例进行说明，但并不限于 此。作为器件，还能制造形成有以铜箱等构成的布线图案的布线基板、形成有多个半导体器 件（晶体管、二极管等）的基板等。 第一实施方式中，对基板施以曝光处理的基板处理装置为曝光装置。另外，曝光装 置组装在对曝光后的基板施以各种处理来制造器件的器件制造系统中。首先，对器件制造 系统进行说明。 〈器件制造系统〉 图1是表示第一实施方式的器件制造系统的结构的图。图1所示的器件制造系统 1是制造作为器件的柔性显示器的生产线（柔性显示器生产线）。作为柔性显示器，例如有 有机EL显示器等。该器件制造系统1从将挠性基板P卷绕成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，具备投影光学系统，所述投影光学系统将来自配置于照明光的照明区域内的光罩的图案的光束投射至配置有基板的投影区域，所述基板处理装置的特征在于，具备：光罩支承部件，其在所述照明区域内以沿着按规定曲率弯曲成圆筒面状的第一面的方式支承所述光罩的图案；基板支承部件，其在所述投影区域内以沿着规定的第二面的方式支承所述基板；以及驱动机构，其以使所述光罩的图案向规定的扫描曝光方向移动的方式使所述光罩支承部件旋转，且以使所述基板向所述扫描曝光方向移动的方式使所述基板支承部件移动，所述光罩支承部件在将所述第一面的直径设为φ、将所述第一面在与所述扫描曝光方向正交的方向上的长度设为L的情况下，满足1.3≤L/φ≤3.8。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：加藤正纪，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP