彩色滤光基板的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种彩色滤光基板的制备方法，其中，该方法具体包括步骤：S1、提供一玻璃基板，采用清洗剂清洗该玻璃基板；S2、采用常压等离子表面处理装置对清洗后的玻璃基板进行干燥；S3、应用光罩工艺在干燥后的玻璃基板上形成黑色矩阵；S4、应用光罩工艺在具有黑色矩阵的玻璃基板上形成彩色光阻。该方法通过采用常压等离子表面处理装置对清洗后的玻璃基板进行干燥，达到去除玻璃基板表面的超细微的水滴并且不会残留水痕，使得最终制备得到的彩色滤光基板中，黑色矩阵与玻璃基板之间具有更高的密着性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示器
，尤其涉及一种。
技术介绍
液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)，为平面超薄的显示设备，它由一定数量的彩色或黑白像素组成，放置于光源或者反射面前方。液晶显示器功耗很低，并且具有高画质、体积小、重量轻的特点，因此倍受大家青睐，成为显示器的主流。目前液晶显示器是以薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)液晶显示器为主，液晶面板是液晶显示器的主要组件。液晶面板通常由薄膜晶体管阵列基板、彩色滤光基板和液晶层组成。彩色滤光基板的作用是将通过液晶层的白光过滤为不同颜色的光束，各不同颜色的光束重新汇聚形成图像画面。彩色滤光基板通常包括玻璃基板以及通过光罩工艺(MASK)在玻璃基板上形成的黑色矩阵和彩色光阻。近年来，液晶面板的分辨率要求越来越高，其相应的每英寸所拥有的像素数目(Pixels Per Inch，PPI)值越高，特别是对于较小尺寸的液晶面板，这就要求玻璃基板上的黑色矩阵具有更细的线宽。当黑色矩阵的线宽更细时，例如从传统的ΙΟμπι以上减小到4?5 μπι，由此黑色矩阵与玻璃基板之间的密着性要求也本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种彩色滤光基板的制备方法，包括清洗并干燥玻璃基板的步骤，其特征在于，采用常压等离子表面处理装置对玻璃基板进行干燥。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐涛，熊燕军，徐先华，张简圣哲，龚雷，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42