基板处理装置及元件制造方法制造方法及图纸

基板处理装置具备：基板支承部件，具有从规定轴以固定半径弯曲的曲面，且基板的一部分被卷绕于曲面而支承基板；处理部，从轴观察时配置在基板支承部件的周围，并对位于周向中特定位置的曲面上的基板实施处理；温度调节装置，对供给到基板支承部件之前的基板的温度进行调节。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种基板处理装置，其特征在于，具备：基板支承部件，其具有从规定的轴以固定半径弯曲而成的曲面，使基板的一部分卷绕于所述曲面而支承所述基板；处理部，其从所述轴观察时配置在所述基板支承部件的周围，并对位于周向中特定位置的所述曲面上的所述基板实施处理；温度调节装置，其对供给到所述基板支承部件之前的所述基板的温度进行调节。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木智也，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP