本发明提供了一种靶材及提高靶材利用率的方法与应用，所述方法包括如下步骤：使靶材的塑性变形量≥70％，然后对变形后的靶材进行第一热处理，自然冷却后得到经预处理的靶材；对经预处理的靶材的溅射最快区域进行第二热处理。本发明通过对靶材的溅射最快...

一种靶材轧制方法，包括：提供靶材坯料；将所述靶材坯料加热至第一温度；在将所述靶材坯料加热至第一温度后，对所述靶材坯料进行压延处理；在所述压延处理过程中，当所述靶材坯料温度降低至第二温度时，对靶材坯料进行加热处理，将所述靶材坯料加热至第一...

提供一种碳纤维增强塑料的加工方法及钻孔刀具，加工方法包括：形成待加工部件，所述待加工部件的材料为碳纤维增强塑料；提供钻孔刀具，所述钻孔刀具包括切削头和位于所切削头表面的涂覆层，所述涂覆层覆盖所述切削头的主切削刃，所述涂覆层的硬度大于所述...

一种晶圆托盘加工方法，包括：提供托盘，所述托盘具有适于承托晶圆的正面和背向晶圆的背面；提供铝合金车刀、氮化硼车刀和金刚石车刀，利用铝合金车刀对所述正面和背面分别进行粗加工；进行粗加工之后，利用氮化硼车刀对所述正面和背面分别进行半精加工；...

本发明提供了一种溅射机环件孔位检测工具及方法，涉及溅射机环件检测技术领域，本发明提供的溅射机环件孔位检测工具包括检具以及多个销子，检具具有一用于与待测环件内表面贴合的外圆周面，检具上还具有多个插装孔，每一个插装孔用于插装一个销子，任意相...

一种磁控溅射用环件支撑装置，包括：承载部，呈柱状；支架，位于所述承载部两侧；连接轴，连接所述承载部与支架。所述磁控溅射用环件支撑装置有助于提高在环件主体的外壁上焊接耳部的效率。

一种靶材制造方法，包括：提供锻件靶材，所述锻件靶材包括溅射面；采用压延工艺对所述锻件靶材进行压延处理，使得所述锻件靶材在垂直所述溅射面方向的压延厚度变形率为40％～60％，形成成品靶材；其中，所述压延厚度变形率为压延前后的厚度变化量与压...

一种靶材组件制造方法，包括：提供两套组件单元，组件单元包括第一基板和与第一基板表面相接触的第二基板，第一基板类型为靶材或背板，第二基板类型为靶材或背板，第一基板类型与第二基板类型不同；将一套组件单元放置在另一套组件单元上，并使得两套组件...

一种靶材组件的焊接方法及焊接装置，其中焊接方法包括：提供靶材、背板、载板、第一基台和第二基台，第一基台中具有加热装置；将靶材、背板和载板置于第一基台表面后，采用所述加热装置预热靶材、背板和载板至焊接温度；将预热后的背板或靶材置于预热后的...

一种靶材组件制造方法，包括：提供靶材，所述靶材具有靶材焊接面；提供背板，所述背板具有背板焊接面；将所述靶材焊接面镀铜，形成铜镀层；在所述铜镀层与所述背板焊接面之间放置钎料，对所述靶材以及所述背板进行焊接，形成靶材组件。由于所述钎料能够在...

一种用于制造碳纤维管的抽芯工具，适于将芯棒抽离碳纤维管，包括：适于固定安装的基座；卡板，具有贯穿所述卡板的通孔，所述通孔的径向尺寸在所述芯棒和碳纤维管的径向尺寸之间，所述卡板可拆卸的设置在所述基座上。因此，当需要将芯棒从碳纤维管中抽离时...

一种铜靶材加工方法，包括：提供铜靶材、铝合金盘刀和金刚石盘刀；利用铝合金盘刀对铜靶材的表面进行粗加工，再利用金刚石盘刀对铜靶材的表面进行精加工。通过利用铝合金盘刀加工铜靶材的表面，能够快速的去除作为毛坯件的铜靶材表面上的加工余量，使铜靶...

本发明提供一种准直器检具及其使用方法，准直器检具包括：底座，底座具有第一端面、与第一端面相对的第二端面、以及连接第一端面和第二端面的外壁；至少一个限位块，凸出设置于底座的第一端面上，沿垂直于外壁的方向上，限位块内具有贯穿限位块的第一固定...

一种靶材焊接方法，包括：提供靶材和背板，所述靶材具有第一焊接面，所述背板具有第二焊接面；将所述第一焊接面贴合于所述第二焊接面；利用第一激光周向焊接所述第一焊接面、第二焊接面，所述焊接起始位置为所述焊接结束位置；所述第一激光的功率密度控制...

本发明提供一种靶材组件及其制造方法，制造方法包括：提供靶材、以及与靶材实现焊接结合的背板，形成靶材组件，靶材厚度占靶材组件厚度的比例至少为60％。本发明靶材厚度占靶材组件厚度的比例至少为60％，与所占比例较小的方案相比，能够在保持靶材组...

一种背板制造方法及背板，所述背板制造方法包括：提供第一基板与第二基板，所述第一基板的顶部具有凹槽，所述第二基板的底部具有凸起部，且所述凸起部与所述凹槽相匹配；在所述凹槽底部放置焊料；装配所述第一基板与第二基板，使得所述凸起部嵌入所述凹槽...

本发明公开了用于溅射系统上提高薄膜均匀性的装置及其加工方法，涉及溅射设备技术领域。包括本体，所述本体包括与基板连接的圆柱体、以及圆台体；所述圆柱体具有第一原子通道；沿所述圆台体的窄面至所述圆台体的宽面的方向，所述圆台体上开设有若干个相互...

本发明提供了一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，涉及半导体的技术领域，包括在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。本发明的目的在于提供一种钽环滚花...

一种溅射环件用凸结体滚花方法，包括：提供凸结体；对所述凸结体的表面进行滚花。相较于现有技术中的喷砂处理，滚花操作能够使所述凸结体表面获得更高的粗糙度，增强凸结体表面吸附颗粒物的能力，避免发生颗粒物剥落现象。

本发明公开了夹具组件及钻床，涉及夹具设备技术领域。包括：平口钳和与平口钳连接的分度头，平口钳包括底座、设于底座的导轨部、第一活动钳身、丝杆、第二活动钳身、驱动部、气动开关、供气部、压力传感器和控制器；分度头包括基座以及安装在基座的分度头...