本发明提供了一种热等静压焊接钛靶与铝包套隔离方法，涉及铝包套焊接的技术领域，包括在铝包套焊接前，钛靶材与铝包套之间设有一层不与靶材反应的或反应不充分的隔离层；扩散焊接后，直接将隔离层和铝包套自钛靶材表面撕开。本发明的目的在于提供一种热等...

一种铝铜靶材的焊接方法，涉及溅射靶材领域，其先在铜合金背板上镀上钛膜或镍膜，通过钛膜或镍膜与高纯铝之间的良好扩散性能，来增加铜合金背板与高纯铝靶材之间的结合强度，实现了高纯铝靶材与铜合金背板在较低温度下的焊接。该焊接方法操作简单方便，在...

本发明实施例提供了一种检漏夹具及检漏系统，用于检测圆饼状靶材是否有裂缝，所述检漏夹具包括：夹具主体以及开设于所述夹具主体的夹具接口；当所述夹具主体与所述圆饼状靶材固定连接时，所述夹具接口与所述圆饼状靶材的进水孔相对应。夹具主体与圆饼状靶...

本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供钛靶材的坯料以及背板，所述坯料具有溅射面以及与所述溅射面相对的焊接面；对所述焊接面进行车削加工，在所述焊接面上形成螺纹；将所述钛靶材的坯料与所述背板采用热等静压工艺焊接在一起，形成靶材组件。本...

本发明提供一种靶坯及其加工方法，加工方法包括：提供靶坯，所述靶坯包括待加工面；对所述待加工面进行机械加工，在所述靶坯内形成凹槽和凸台，机械加工后的所述凹槽表面和凸台表面作为溅射面。通过所述凹槽和凸台，可以根据靶坯在溅射过程中的实际材料消...

本发明提供一种背板及其制造方法，所述制造方法包括：提供底板，所述底板具有第一凹槽；提供水道板，所述水道板具有第二凹槽；将所述底板与水道板通过搅拌摩擦焊接连接在一起，形成背板。本发明制造方法形成的背板质量得到提高。

本发明提供一种用于化学机械研磨的固定环车削方法，包括：提供环形本体和环形背板；将所述环形本体和环形背板通过胶水进行粘结，形成初始固定环，所述初始固定环具有加工表面；将所述初始固定环固定在夹具上；采用第一刀具对所述加工表面进行粗车削加工；...

一种用于GDMS检测的高纯钨样品及其制备方法，涉及高纯钨检测技术领域，其为圆形片状样品，包括80－90％的高纯钨与10－20％的碳粉。其制备方法包括将高纯钨与所述碳粉压制成型得到用于GDMS检测的高纯钨样品。使用高纯碳粉作为粘结剂，使高...

本发明提供了一种溅射靶材SB焊接喷砂后防护的方法，涉及半导体靶材机加工的技术领域，包括喷砂；对靶材SB焊接喷砂处进行保护；精加工。本发明的目的在于提供一种溅射靶材SB焊接喷砂后防护的方法，防止了在精加工车削中粉尘及酒精混合物渗入焊缝和吸...

一种高纯钽靶材的车削加工方法，涉及溅射靶材领域，其采用刀片沿高纯钽靶材的直径方向朝高纯钽靶材的中心进给的加工方式，并对车削速度进行了严格的限定。该车削加工方法的操作简单，对设备要求不高。经过发明人创造性劳动发现，针对钽靶材，当车削速度限...

本发明实施例提供了一种打胶机及胶水填充方法，打胶机包括多个胶水容器、气缸、多个导流管以及混合管；气缸包括多个压缩头，多个压缩头的数量与多个胶水容器的数量相同，多个压缩头可伸入对应的胶水容器中；多个导流管的数量与多个胶水容器的数量相同，多...

本发明提供一种靶材组件的车削方法，包括：提供特种塑料靶材的坯料和不锈钢背板；将所述特种塑料靶材的坯料和不锈钢背板焊接在一起，形成特种塑料靶材组件；采用第一刀具对所述特种塑料靶材组件进行粗车削；采用第二刀具对所述特种塑料靶材组件进行精车削...

本发明实施例提供一种研磨机台及研磨方法。所述研磨机台包括：研磨头；设置在所述研磨头下方的研磨台；放置在所述研磨台上的研磨垫；以及所述研磨垫上设置有沟槽。

本发明提供一种金靶材的车削方法，包括：提供金靶材的坯料；采用第一刀具对所述金靶材的坯料进行粗车削加工；采用第二刀具对所述金靶材的坯料进行精车削加工。本发明车削方法形成的金靶材质量得到提高。

本发明提供一种靶坯的加工方法，包括：提供含钨初始靶坯，所述初始靶坯包括第一焊接面、与所述第一焊接面相对的溅射面、以及位于所述第一焊接面与所述溅射面之间的第一侧面；对所述溅射面进行第一车削加工，在所述溅射面中心处形成中心孔；沿所述中心孔指...

本发明提供一种靶坯的加工方法，包括：提供材料为钛的初始靶坯，初始靶坯包括第一焊接面、与第一焊接面相对的溅射面、以及位于第一焊接面与溅射面之间的侧面；对溅射面进行第一车削加工，在溅射面中心处形成中心孔；沿中心孔指向侧面的方向，对溅射面进行...

本发明提供一种靶坯及其加工方法，加工方法包括：提供靶坯，靶坯具有溅射面以及与溅射面相对的焊接面；对焊接面进行机械加工，在焊接面上形成平面螺纹，平面螺纹的牙型为三角形。本发明对靶坯的焊接面进行机械加工，在焊接面上形成平面螺纹且平面螺纹的牙...

本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供背板以及焊接于背板上的初始靶坯，初始靶坯包括与背板和初始靶坯的焊接面相对的溅射面、以及位于焊接面和溅射面之间的第一侧面，且初始靶坯凸出于焊接面；沿背板指向初始靶坯的方向，对第一侧面进行车削加工...

本发明涉及机械加工技术领域，提供一种靶材组件及加工方法。该靶材组件包括靶材以及用于承载靶材的背板。其中靶材的表面包括正面、背面以及侧面，靶材的正面为靶材的溅射面，靶材的背面与靶材的正面位置相对，靶材的侧面分别与靶材的正面以及靶材的背面相...

本发明提供一种粉末冶金方法及靶材的形成方法，其中，粉末冶金方法包括：提供粉体；对所述粉体进行热等静压处理，形成坯料；对所述坯料进行退火处理，形成成品。其中，对所述粉体进行热等静压处理之后，进行所述退火处理。所述退火处理能够使所述坯料再结...