本发明提供一种靶材组件的形成方法，包括：提供背板和靶材，所述背板包括第一焊接面，所述靶材包括第二焊接面；对所述第一焊接面、或第二焊接面、或者第一焊接面和第二焊接面进行粗糙化处理；所述粗糙化处理之后，使所述第一焊接面和所述第二焊接面贴合，...

本发明提供一种锻造方法及靶材的形成方法，其中，锻造方法包括：提供铸锭，所述铸锭为柱体；对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造，形成锻锭，所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向，所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。其中，通过第一锻造和第二锻造细化铸锭的...

本申请实施例提供一种酒精喷雾装置、制作方法及机械加工机床，该酒精喷雾装置包括进气管、出气管及三位五通阀门，该三位五通阀门连接在酒精喷雾装置的进气管和出气管之间。如此，可以确保酒精喷雾装置均匀地喷洒出酒精，从而确保制作出的溅射靶材的表面具...

本发明涉及机械加工技术领域，提供一种靶材组件及加工方法。该靶材组件包括靶材以及用于承载靶材的背板。其中靶材的表面包括正面以及背面，靶材的正面为靶材的溅射面，靶材的背面与靶材的正面位置相对，靶材的背面凸出设置有的第一台阶，第一台阶的侧面为...

本申请实施例提供一种靶材控制变形加工方法，通过根据待加工钛溅射靶材的粗铣面的加工规则信息控制第一目标盘刀在待加工钛溅射靶材的待加工面通过多次切削以进行粗加工直至得到的待加工钛溅射靶材的粗铣面的尺寸满足第一预设尺寸。再根据待加工钛溅射靶材...

本发明提供了一种铬钽钛合金溅射靶材的制备方法、铬钽钛合金溅射靶材及应用，涉及溅射靶材技术领域，铬钽钛合金溅射靶材的制备方法包括如下步骤：提供铬粉、钽粉和钛粉的混合物，进行冷等静压，得到胚料，然后将胚料进行真空脱气，最后将真空脱气后的胚料...

本发明涉及一种孔位检具，属于检测技术领域。该孔位检具，包括：检测环，检测环上间隔设置有与标准SRH420靶材的螺纹孔相对应的多个检测孔，检测环的内径大于标准SRH420靶材的铝柱体的直径；以及，多个与检测孔相对应的固定件，固定件的数量大...

本发明涉及产品测量技术领域，提供一种定位装置及三坐标测量仪。该定位装置包括三个定位部，三个定位部均固定在工作台上，三个定位部在工作台上呈三角形分布且分布位置与产品的表面的形状相匹配，通过将产品的表面同时与三个定位部相接触，能够使产品被固...

本发明提供一种限位连接组件及抛光机，涉及半导体工艺设备技术领域。该限位连接组件可以包括连接件以及用于限定半导体晶片位置的限位件。连接件、限位件中的其中一个设置有卡接部，连接件、限位件中的另一个设置有与卡接部相匹配的卡槽，连接件与限位件通...

本发明实施例涉及溅射靶材加工技术领域，具体而言，一种溅射靶材毛刺去除方法、装置及电子设备。该方法包括：获得包含了待检测溅射靶材的图片，将包含了待检测溅射靶材的图片中的待检测溅射靶材与预设标准图片中的样本溅射靶材进行特征匹配，获得匹配率，...

本发明实施例提供一种O‑ring槽加工方法及装置。所述方法应用于加工设备，所述加工设备包括至少一个铣刀及至少一个燕尾槽刀。所述方法包括：确定待加工溅射靶材的加工点；根据O‑ring槽的加工规格信息利用目标铣刀在加工点进行加工，得到初始槽...

本发明涉及机械加工技术领域，提供一种铣刀及加工设备。该铣刀用于加工靶材上的凹槽，包括切削刃以及刀体。其中，刀体的第一端与切削刃的远离凹槽底部的第一端连接，刀体的不同于第一端的第二端与铣床连接。切削刃的外周面设置有至少一个刃口，切削刃的宽...

本发明提供了一种钨靶材焊接方法及钨靶材组件，涉及半导体制造技术领域。所述钨靶材焊接方法首先对钨靶材和铜背板进行焊接前加工及清洗，在所述钨靶材和所述铜背板中间放置焊料引流件，再利用钎焊工艺对所述钨靶材和所述铜背板进行钎焊接后获得钨靶材组件...

本发明涉及机械加工技术领域，提供一种靶材加工方法。在该方法中，首先通过安装在车床上的第一加工刀片在靶材的溅射面上车削出螺纹，然后通过安装在车床上的第二加工刀片对螺纹进行粗车，以车削掉螺纹，最后通过安装在车床上的第三加工刀片对螺纹进行精车...

本发明提供一种机械手及靶材加工装置，涉及装夹设备技术领域，机械手包括机械手本体和吸附组件；所述机械手本体用于装夹工件；所述吸附组件与所述机械手本体固定连接，且所述吸附组件用于吸附物体。在机械手本体装夹工件的同时，吸附组件能够将与工件对应...

本发明提供一种装夹装置及靶材加工装置，涉及装夹设备技术领域，包括移动组件和夹持组件；所述夹持组件固定在所述移动组件上，所述移动组件用于带动所述夹持组件移动至选定的位置；所述夹持组件包括多个夹持轮，多个所述夹持轮能够配合夹持工件，且多个所...

本发明提供一种焊接结构及半导体零件，涉及半导体设备技术领域，焊接结构包括盖板和底板；底板具有第一端面，第一端面上设有凹槽，且凹槽的两端分别与底板的侧壁贯穿设置，凹槽与第一端面形成开口；盖板具有第二端面，第一端面与第二端面相对设置，第二端...

本发明涉及一种孔位检具，属于检测技术领域。该检具包括：检测环，检测环上间隔设置有与标准ILC1060靶材的第一螺纹孔相对应的多个第一检测孔，以及与标准ILC1060靶材的第二螺纹孔相对应的多个第二检测孔；以及，多个与第一检测孔相对应的第...

本发明实施例提供一种靶材组件，属于机械加工领域。所述靶材组件包括：靶材以及托盘，所述托盘用于承载所述靶材，所述托盘上设置有凹槽，所述凹槽用于放置垫圈，所述垫圈用于使得所述靶材与所述托盘之间形成密封，从而在靶材与托盘之间放置垫圈，使得托盘...

本发明实施例提供一种靶材加工方法及数控车床。所述靶材加工方法包括：a.在所述靶材的设定位置打孔；b.从打孔位置车削圆弧端面粗车；以及c.从所述粗车工艺位置车削圆弧端面精车，以实现在所述靶材上钻孔。