一种背板的制作方法，包括：提供原材料；将所述原材料进行熔化处理形成液态材料；将所述液态材料浇注在挤压模具中进行挤压铸造，形成初始背板，且所述初始背板中具有贯穿所述初始背板的初始通孔；对所述具有初始通孔的初始背板进行成型处理，形成背板，且...

一种长寿命的靶材组件，包括：用于溅射的靶材，所述靶材的使用厚度大于所述靶材厚度的77％，所述靶材的使用厚度是指在溅射过程中可供消耗靶材的厚度。本发明技术方案中，所述靶材的使用厚度大于所述靶材厚度的77％。因此与使用厚度较小的技术方案相比...

一种靶材的加工方法，包括：提供靶材，所述靶材具有待加工面；提供刀具，所述刀具包括刀片，所述刀片上具有排削槽；采用所述刀具对所述待加工面进行车削加工以形成溅射面，车削过程中所产生的废削通过所述刀片上的排削槽排出。本发明技术方案的车削过程中...

本发明提供一种钼靶坯结构的制造方法以及钼靶材组件的制造方法，所述钼靶坯结构的制造方法包括：提供钼靶坯，所述钼靶坯具有焊接面；采用化学镀工艺，在所述钼靶坯焊接面上形成镍镀层。本发明采用化学镀工艺，在钼靶坯的焊接面上形成镍镀层，由于镍镀层材...

本发明提供一种钨靶坯结构的制造方法以及钨靶材组件的制造方法，所述钨靶坯结构的制造方法包括：提供钨靶坯，所述钨靶坯具有焊接面；采用化学镀工艺，在所述钨靶坯焊接面上形成镍镀层。本发明采用化学镀工艺，在钨靶坯的焊接面上形成镍镀层，由于镍镀层材...

本发明提供一种靶坯及靶材组件的制造方法，所述靶坯的制造方法包括：提供AlSc合金锭；对AlSc合金锭进行塑性变形加工，形成初始靶坯；以阶梯升温的方式，对初始靶坯进行热处理，形成靶坯。本发明以阶梯升温的方式，对初始靶坯进行热处理。由于在升...

一种靶材组件的制造方法，包括：提供碳化硅靶坯和背板，所述碳化硅靶坯具有用于与所述背板相连接的第一面，所述背板具有用于与所述碳化硅靶坯相连的第二面；提供铟焊料；采用铟焊料，通过钎焊的方式使所述第一面和所述第二面焊接相连。本发明技术方案采用...

本发明提供一种冲压加工装置和聚焦环凸台的加工方法，聚焦环凸台的加工方法包括：提供待加工件，所述待加工件包括相对的第一端部和第二端部；使所述滑块位于所述滑块孔中；将所述待加工件放置于所述凸台孔中，并使所述第一端部位于所述凸缘孔中，使所述第...

本发明提供一种滚花的检测方法，包括：提供设有滚花的待检测结构；对所述滚花进行三维扫描，获得所述滚花的形貌曲线图；完成所述三维扫描后，根据所述形貌曲线图中滚花的尺寸信息获得所述待检测结构上滚花的尺寸。本发明采用对所述待检测结构的滚花进行三...

本发明提供一种钛靶热等静压焊接方法及制备的靶材，属于靶材技术领域。钛靶热等静压焊接方法，包括如下步骤：将钛靶的钛焊接面进行粗加工。将铝背板的铝焊接面进行粗加工，在铝焊接面上设置铝槽。将粗加工后的钛靶和开设铝槽后的铝背板放入IPA液中进行...

本发明涉及半导体制作技术领域，尤其是涉及一种控制保持环平面度的方法及生产的保持环、半导体制作系统。该方法包括如下步骤：车削加工保持环的基盘面，然后对基盘面进行研磨；车削加工保持环的树脂面，然后对树脂面进行研磨。可见，本发明通过增加对保持...

本发明提供一种环形件断口滚花设备，包括加工平台，其上设置有用于装夹待滚花的环形件的夹具；用于对环形件断口的加工面多余材料和毛刺进行清除的毛刺清除刀；用于对加工面需要滚花的部分铣削成预设R角的成型刀；能够配合对加工面进行滚花的第一滚花刀和...

本发明提供一种背板的制造方法以及靶材组件，所述制造方法包括：提供背板坯料，所述背板坯料包括焊接面、以及与所述焊接面相对的背面；对所述背面进行粗加工，在所述背面内形成初始水道；对所述初始水道进行精加工，形成水道结构；在所述精加工过程中，采...

一种靶材及其形成方法、靶材组件及其形成方法，其中，靶材用于装载于溅射腔室内，靶材包括：溅射面，所述溅射面具有若干凸起，相邻凸起之间具有凹槽；所述溅射腔室内具有若干第一磁场区和若干第二磁场区，所述第一磁场区的磁场强度大于相邻的第二磁场区的...

一种螺纹检测装置，包括：螺纹检测工具，所述螺纹检测工具的轴向一端设有用于检测的通端螺纹；驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接所述螺纹检测工具的轴向另一端，以驱动所述螺纹检测工具旋转；控制电路，包括：供电的电源和开关单元；所述开关单元电...

一种移动存储推车，包括：至少一个存储腔，所述存储腔包括底板和与之垂直连接的背板；多个隔板，间隔且平行设置于所述存储腔内，所述隔板与所述背板倾斜连接，以防止放置于所述隔板上的物品滑落。使用本实用新型的移动存储推车，可避免放置在存储腔内的物...

本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供钨钛靶坯和铜背板，所述钨钛靶坯的待焊接面为第一焊接面，所述铜背板的待焊接面为第二焊接面；将所述第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，形成初始靶材组件；对所述初始靶材组件进行热等静压工艺，获得靶...

本发明提供一种合金的加工方法，包括：提供AlSc合金材料；提供高温砂；将所述AlSc合金材料埋入所述高温砂内，并在预设温度下对所述AlSc合金材料进行热处理。本发明将所述AlSc合金材料埋入所述高温砂内，并在所述预设温度下对所述AlSc...

一种靶材溅射面的加工方法，包括：提供靶材，所述靶材具有待加工面；采用植绒砂纸对所述待加工面进行抛光处理，以形成溅射面。本发明技术方案通过采用植绒砂纸对所述待加工面进行抛光处理，从而形成溅射面。由于植绒砂纸的抛光效果较好，所以采用植绒砂纸...

本发明提供一种铝合金产品的制造方法，包括：提供第一铝合金板和第二铝合金板，第一铝合金板的待焊接面为第一焊接面，第二铝合金板的待焊接面为第二焊接面；第一焊接面为平面，第二焊接面内具有凹槽；或者，第一焊接面和第二焊接面内均具有凹槽；将第一焊...