本发明提供一种钽靶材组件及其制造方法，包括：提供钽靶材、背板和焊料，所述钽靶材包括第一焊接面，所述背板包括第二焊接面；在所述钽靶材第一焊接面上形成浸润层；形成浸润层之后，通过所述焊料对所述钽靶材第一焊接面与所述背板第二焊接面进行焊接，形...

本发明提供一种滚花加工装置及其使用方法，其中，滚花加工装置包括：滚轮、刀头、刀柄和固定部，所述刀头包括第一刀头端和第二刀头端，所述滚轮与所述第一刀头端通过第一铰轴铰接，所述第二刀头端与所述刀柄一端通过第二铰轴铰接，所述第一铰轴与所述第二...

本发明提供一种铝合金及其制备方法、靶材组件及其制造方法，所述铝合金的元素包括：铝、硅、镁和铜。硅在电子束焊接过程中可以提高铝合金的金属流动性，以及时填充焊接过程所带来的孔隙，从而可以避免焊接工艺中的收尾缺陷问题；镁用于提高所述铝合金的强...

本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供靶坯和背板，靶坯的待焊接面为第一焊接面，背板的待焊接面为第二焊接面，其中，与第一焊接面相对的为靶坯背面，位于第一焊接面和靶坯背面之间的为靶坯侧面，与第二焊接面相对的为背板背面，位于第二焊接面和...

本发明提供一种锡靶材的加工方法，包括：提供锡工件；对所述锡工件进行机械加工，且对所述锡工件进行机械加工时，采用喷雾冷却工艺对锡工件喷射切削液。由于在对所述锡工件进行机械加工时采用喷雾冷却工艺，降低了锡工件粘刀的程度，从而降低了形成的锡靶...

本发明提供一种金属粒的形成方法及制备金属粒的装置，其中金属粒的形成方法包括：提供金属原材料和保温容器，所述保温容器的底部具有开孔；将所述金属原材料熔化，形成金属熔化液；将所述金属熔化液浇注于所述保温容器中，使所述金属熔化液从所述开孔中滴...

本发明提供一种靶材金相组织的显示方法，所述方法包括：提供钨靶材；从所述钨靶材中切取一部分作为试样；随所述试样进行表面处理，形成至少一抛光面；采用双氧水和氨水构成的浸蚀剂对所述试样的抛光面进行腐蚀处理；采用金相显微镜对所述试样进行金相观察...

本发明提供一种溅射靶材的表面处理方法，所述方法包括：提供溅射靶材，所述溅射靶材已完成粗加工及半精加工，所述靶材的材料为纯铝或铝合金；采用车削工艺对所述溅射靶材进行精加工，并采用无水酒精作为所述精加工的切削液以起到润滑和冷却的作用。无水酒...

本发明提供一种聚焦环凸台的加工方法，包括：提供棒材；利用冲压法对所述棒材进行加工，使所述棒材一端受挤压而凸出棒材表面形成初始凸缘，另一端形成初始台体，所述初始凸缘和初始台体构成初始凸台，所述棒材受挤压的端部为第一端；对所述初始凸台进行加...

本发明提供一种钼钛靶坯的制造方法，其中所述方法包括：提供钼、钛混合粉末；对所述钼、钛混合粉末进行冷等静压工艺，形成钼、钛混合粉末坯料；将所述钼、钛混合粉末坯料装入包套并对所述包抽真空以形成真空包套后，对所述钼、钛混合粉末坯料进行热等静压...

一种用于靶材溅射工艺的压紧环，包括：基板，包括与衬底相对的第一表面与第一表面相对的第二表面，基板的形状为环面，包括位于第一表面和第二表面之间的内环面和外环面；内侧壁，凸出基板的第一表面且围绕基板的内环面，包括朝向所述内环面的内表面；沟槽...

本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供靶材、背板和缓冲层，所述缓冲层的热膨胀系数介于所述靶材的热膨胀系数与背板的热膨胀系数之间；将所述靶材、缓冲层和背板进行装配形成初始组件，在所述初始组件中，所述缓冲层位于所述靶材和背板之间且分别...

一种靶材热处理方法，包括：提供靶材，所述靶材待达到预定工艺温度；提供砂子，预热所述砂子到初始温度，所述初始温度比所述预定工艺温度至少低100摄氏度；将所述靶材埋入具有初始温度的砂子中；升温埋有靶材的所述砂子到预定工艺温度，对所述靶材进行...

本申请公开了一种靶材的焊接方法，包括以下步骤：在靶材本体和背板的连接面上设置预定数量的铜丝；通过人工操作将靶材本体和背板焊接为一体；对连接为一体的靶材本体和背板施加第二次压力。上述焊接靶材的焊接方法，利用人工操作的方式取代机械焊接的操作...

本发明提供一种镍铬靶材组件的制造方法，包括：将焊料放置于背板的和镍铬靶材的焊接面上；加热使焊料熔化；对背板和镍铬靶材的焊接面进行第一超声波处理，浸润所述焊接面；在背板的焊接面上再次放入焊料，对背板和镍铬靶材的焊接面进行第二超声波处理；将...

本发明提供一种聚焦环的包装方法和包装工具，其中，所述包装方法包括：提供聚焦环，所述聚焦环包括两个相对的端部，聚焦环端部相对的位置处形成有开口；在开口中放入保护塞；将带有保护塞的聚焦环放入真空袋；对所述真空袋进行抽真空和密封处理。本发明的...

本发明提供一种靶材组件及其制造方法，包括：提供氧化铟锡靶材、背板和焊料，所述氧化铟锡靶材用于焊接的面为第一焊接面，所述背板用于焊接的面为第二焊接面，所述焊料为铟焊料；通过所述铟焊料对所述氧化铟锡靶材的第一焊接面和背板的第二焊接面进行焊接...

本发明提供一种靶材侧面切槽刀具，所述刀具包括：刀杆，所述刀杆在延伸方向上包括第一端面和第二端面，以及位于所述第一端面和第二端面之间的侧面；刀头，凸出设置于一侧面靠近所述刀杆第一端面的位置处，设置有刀头的侧面为连接侧面，所述刀头包括设置于...

本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供靶材、背板和保护板，所述靶材用于焊接的面为第一焊接面，与第一焊接面相对的面为溅射面，所述背板用于焊接的面为第二焊接面；将所述保护板粘贴于所述靶材的溅射面上；焊接所述靶材的第一焊接面和所述背板的...

本发明提供一种铝铜合金表面镀膜方法，包括：先对铝铜合金坯料进行表面处理，以提高铝铜合金表面粗糙度；之后对经过表面处理的铝铜合金进行阳极氧化处理，在所述铝铜合金坯料表面形成氧化镀膜层。其中，在对铝铜合金坯料进行表面处理后，可有效提高铝铜合...