滚花加工装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种滚花加工装置及其使用方法，其中，滚花加工装置包括：滚轮、刀头、刀柄和固定部，所述刀头包括第一刀头端和第二刀头端，所述滚轮与所述第一刀头端通过第一铰轴铰接，所述第二刀头端与所述刀柄一端通过第二铰轴铰接，所述第一铰轴与所述第二铰轴垂直，所述固定部用于在垂直于所述第二铰轴的方向上固定所述刀头。所述滚花加工装置的刀头的方向可以调节，能够对表面具有不同切平面的待加工件进行加工。因此，所述滚花加工装置能够提高花纹的加工效率，降低生产成本。

Hobbing machine and its use method

The invention provides a knurling processing device and method of use thereof, wherein the knurling processing apparatus includes a roller, cutter head, the handle and the fixing part, the cutter head comprises a first end and a second blade knife head end, the roller and the first knife head end hinged through the first hinge shaft. The second head end and the end of the handle is hinged with second hinge axis, the first hinge and the second hinge axis, the fixed part used in perpendicular to the direction of the second hinge shaft is fixed on the cutter head. The direction of the cutter head of the hobbing processing device can be adjusted to process the processed parts with different cutting planes on the surface. Therefore, the hobbing processing device can improve the processing efficiency of the pattern and reduce the production cost.

【技术实现步骤摘要】
滚花加工装置及其使用方法
本专利技术涉及半导体溅射靶材制造领域，尤其涉及一种滚花加工装置及其使用方法。
技术介绍
溅射工艺是物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition,PVD)中的一种，是指以一定能量的粒子(离子或中性原子、分子)轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量逸出固体表面而到达基板的工艺。通常情况下，溅射镀膜过程中，金属离子从溅射靶材表面溅射出来，沿多个不同方向离开靶材表面，这样，到达基板上的靶材料很少，大部分靶材料被浪费了。为了避免这种问题，溅射设备中设置聚焦环，所述聚焦环用于将离子汇聚到基板上。在溅射过程中，为了防止掉落在聚焦环表面的溅射原子脱落，聚焦环表面具有花纹，所述花纹用于提高聚焦环的粗糙程度以增加聚焦环对溅射原子的吸附能力。聚焦环表面的花纹是通过安装在设备上的滚花刀具挤压材料表面产生的。然而，聚焦环表面花纹的加工方法具有效率较低，生产成本较高的缺点。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种滚花加工装置及其使用方法，能够提高聚焦环表面花纹的加工效率，降低生产成本。为解决上述问题，本专利技术提供一种滚花加工装置，包括：刀头，包括第一刀头端和第二刀头端；滚轮，所述滚轮与所述第一刀头端通过第一铰轴铰接；刀柄，所述刀柄一端与所述第二刀头端通过第二铰轴铰接，所述第二铰轴与所述第一铰轴垂直；固定部，用于使所述刀头和所述刀柄相对固定。可选的，所述固定部包括：连接件和紧固件；所述连接件一端与所述刀头连接，所述连接件的另一端与所述刀杆连接，所述连接件包括条形孔；所述紧固件包括：紧固杆和位于所述紧固杆一端的紧固头，所述紧固头的直径大于所述条形孔的宽度，所述紧固杆的另一端穿过所述条形孔，且深入所述刀柄内。可选的，所述连接件与所述刀头固定连接；所述连接件为半圆形；所述连接件在圆心处与所述第二刀头端固定连接；所述条形孔为与所述连接件共圆心的圆弧形。可选的，所述第二铰轴与所述刀头固定连接；所述连接件与所述第二铰轴固定连接。可选的，所述刀柄具有第一孔，所述第一孔贯穿所述刀柄；所述第二铰轴贯穿所述第一孔。可选的，所述连接件与所述刀头通过第三铰轴铰接，所述第三铰轴一端连接所述连接件，所述第三铰轴的另一端连接所述刀头。可选的，所述连接件为长方形，所述连接件一端与所述刀头铰接；所述条形孔为长方形。可选的，所述紧固杆侧壁表面具有螺纹；所述刀柄包括螺纹孔，所述紧固杆与所述紧固头相对的一端位于所述螺纹孔中。可选的，所述紧固件为螺栓。相应的，本专利技术还提供一种滚花加工装置的使用方法，包括：提供待加工件和滚花加工装置，所述待加工件表面包括一个或多个待加工区，所述待加工区任一点处的切平面均相同；调节所述刀头的位置，使所述刀头带动所述滚轮绕所述第二铰轴转动，直至所述滚轮的母线与所述待加工区的切平面平行；调节所述刀头的位置之后，通过所述固定部固定所述刀头；固定所述刀头之后，通过滚轮对所述待加工区进行滚花处理。可选的，所述待加工件为环件结构，所述待加工件包括相对的两个端面，所述端面为圆柱面；所述端面一条母线为一个待加工区。可选的，调节所述刀头的位置的步骤包括：使所述滚轮母线与所述端面母线垂直；进行滚花处理的步骤包括：使所述滚轮与所述端面接触；使所述滚轮在所述端面上沿所述端面母线方向滚动，并与所述端面进行挤压。可选的，还包括：重复所述调节所述刀头的位置至进行滚花处理的步骤一次或多次至加工完成所有待加工区。可选的，所述待加工件包括相对的两个端面，所述端面为圆柱面；重复调节所述刀头的位置至进行滚花处理的步骤包括：对所述端面多条母线进行滚花处理。可选的，所述待加工件还包括侧面；重复调节所述刀头的位置至进行滚花处理的步骤还包括：对所述侧面进行滚花处理。可选的，所述固定部包括：连接件和紧固件，所述连接件包括条形孔，所述连接件与所述刀头连接，所述紧固件包括紧固头和与所述紧固头相连的紧固杆，所述紧固头的直径大于所述条形孔的宽度，所述紧固杆贯穿所述条形孔，所述紧固杆侧壁表面具有螺纹；所述刀柄包括螺纹孔，所述紧固杆一端位于所述螺纹孔中；调节所述刀头的位置的步骤中，所述刀头使所述连接件转动，带动所述条形孔相应移动，使所述紧固杆贯穿所述条形孔。可选的，通过所述固定部固定所述刀头的步骤包括：拧紧所述紧固件，使所述连接件与所述刀柄固定连接。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点：本专利技术的滚花加工装置中，所述刀头与所述刀柄通过所述第二铰轴铰接，所述第一铰轴与所述第二铰轴垂直，因此，所述刀头能够围绕所述第二铰轴轴线转动，使所述滚轮母线的方向发生变化。从而能够对具有不同切平面的待加工件表面进行加工，即能够在不更换刀头的情况下对表面为曲面的待加工件进行加工。因此，所述滚花加工装置能够提高花纹的加工效率，降低生产成本。本专利技术的滚花加工装置的使用方法中，所述刀头的位置能够调节，从而使所述刀头绕所述第二铰轴转动，而使所述滚轮的母线与所述待加工区的切平面平行。因此，在通过所述滚花加工装置对表面为曲面的待加工件进行加工时，可以通过调节所述刀头的位置，实现对具有不同切平面的多个待加工区进行加工，从而实现对所述待加工件的加工。因此，滚花加工装置的使用方法能够在不更换滚花加工装置的情况下对多个待加工区进行加工，从而提高加工效率，降低生产成本。附图说明图1为一种聚焦环表面花纹的加工方法的结构示意图；图2和图3是本专利技术的滚花加工装置一实施例的结构示意图；图4是本专利技术的滚花加工装置另一实施例的结构示意图；图5至图7是本专利技术的滚花加工装置的使用方法一实施例各步骤的结构示意图。具体实施方式现有的聚焦环表面花纹的加工方法存在花纹加工效率较低，生产成本较高的问题。现结合一种聚焦环表面花纹的加工方法，分析所述聚焦环表面花纹的加工方法的花纹加工效率较低，生产成本较高的原因：图1是一种聚焦环表面花纹的加工方法的结构示意图。所述聚焦环表面花纹的加工方法包括：提供环件结构20和滚花加工刀具。图1示出所述环件结构20的部分截面示意图。所述环件结构20包括肩部21，所述肩部21的端面为圆柱面；所述滚花加工刀具包括滚轮11、刀头12和与所述刀头12固定连接的刀柄。通过所述滚花加工装置对所述环件结构20端面进行滚花处理；更换滚花加工刀具对所述环件结构20端面进行滚花处理。所述聚焦环表面花纹的加工方法中，所述肩部21的端面为圆柱面，所述肩部21端面的不同位置处具有不同的切平面，此外，所述滚花加工刀具的所述刀头12不能转动。因此，在通过滚花加工刀具对所述肩部21的端面进行加工时，沿所述圆柱面的不同母线进行加工时，需要更换具有不同加工角度的滚花加工刀具。因此，所述聚焦环表面花纹的加工方法加工效率低，工序复杂。为解决所述技术问题，本专利技术提供了一种滚花加工装置，包括：滚轮、刀头、刀柄和固定部，所述刀头包括第一刀头端和第二刀头端，所述滚轮与所述第一刀头端通过第一铰轴铰接，所述第二刀头端与所述刀柄一端通过第二铰轴铰接，所述第一铰轴与所述第二铰轴垂直，所述固定部用于在垂直于所述第二铰轴的方向上固定所述刀头。本专利技术的滚花加工装置中，所述刀头与所述刀柄通过所述第二铰轴铰接，所述第一铰轴与所述第二铰轴垂直。因此，所述刀头能够围绕所述第二铰轴轴线转动，使所述滚轮母线的方向发生变化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滚花加工装置，其特征在于，包括：刀头，包括第一刀头端和第二刀头端；滚轮，所述滚轮与所述第一刀头端通过第一铰轴铰接；刀柄，所述刀柄一端与所述第二刀头端通过第二铰轴铰接，所述第二铰轴与所述第一铰轴垂直；固定部，用于使所述刀头和所述刀柄相对固定。

【技术特征摘要】
1.一种滚花加工装置，其特征在于，包括：刀头，包括第一刀头端和第二刀头端；滚轮，所述滚轮与所述第一刀头端通过第一铰轴铰接；刀柄，所述刀柄一端与所述第二刀头端通过第二铰轴铰接，所述第二铰轴与所述第一铰轴垂直；固定部，用于使所述刀头和所述刀柄相对固定。2.如权利要求1所述的滚花加工装置，其特征在于，所述固定部包括：连接件和紧固件；所述连接件一端与所述刀头连接，所述连接件的另一端与所述刀杆连接，所述连接件包括条形孔；所述紧固件包括：紧固杆和位于所述紧固杆一端的紧固头，所述紧固头的直径大于所述条形孔的宽度，所述紧固杆的另一端穿过所述条形孔，且深入所述刀柄内。3.如权利要求2所述的滚花加工装置，其特征在于，所述连接件与所述刀头固定连接；所述连接件为半圆形；所述连接件在圆心处与所述第二刀头端固定连接；所述条形孔为与所述连接件共圆心的圆弧形。4.如权利要求3所述的滚花加工装置，其特征在于，所述第二铰轴与所述刀头固定连接；所述连接件与所述第二铰轴固定连接。5.如权利要求1所述的滚花加工装置，其特征在于，所述刀柄具有第一孔，所述第一孔贯穿所述刀柄；所述第二铰轴贯穿所述第一孔。6.如权利要求2所述的滚花加工装置，其特征在于，所述连接件与所述刀头通过第三铰轴铰接，所述第三铰轴一端连接所述连接件，所述第三铰轴的另一端连接所述刀头。7.如权利要求6所述的滚花加工装置，其特征在于，所述连接件为长方形，所述连接件一端与所述刀头铰接；所述条形孔为长方形。8.如权利要求2所述的滚花加工装置，其特征在于，所述紧固杆侧壁表面具有螺纹；所述刀柄包括螺纹孔，所述紧固杆与所述紧固头相对的一端位于所述螺纹孔中。9.如权利要求2所述的滚花加工装置，其特征在于，所述紧固件为螺栓。10.一种滚花加工装置的使用方法，其特征在于，包括：提供待加工件和权利要求1所述的滚花加工装置，所述待加工件表面包括一个或多个待加工区，所述待加工区任一点处的切平面均相同；调节所述刀头的位置，使所述刀头带动所述滚轮绕所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，相原俊夫，大岩一彦，王学泽，杨其垚，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33